Технологическое обеспечение показателей качества пластин-подложек ИМС на основе совершенствования доводочных операций

• Автор: Аникин, Андрей Владимирович
• Шифр специальности: 05.11.14
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2006
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 280 с. : ил.

ГЛАВА 1. СОВРЕМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ПРОИЗВОДСТВА ПЛАСТИН-ПОДЛОЖЕК ИНТЕГРАЛЬНЫХ МЖРОСХЕМ
1.1. Конструкции пластин-подложек интегральных микросхем и предъявляемые к ним требования

1.2. Типовые технологические процессы изготовления пластин

из кремния и сапфира

1.3. Формирование показателей качества пластин-подложек интегральных микросхем при их механической обработке и химико-механическом полировании

1.4. Основные направления совершенствования технологических процессов изготовления

пластин-подложек интегральных микросхем

1.5. Выводы по 1-й главе

1.6. Задачи исследований

ГЛАВА 2. АНАЛИТИЧЕСКОЕ ОБОСНОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ ПОКАЗАТЕЛЕЙ КАЧЕСТВА ПЛАСТИН СОВЕРШЕНСТВОВАНИЕМ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ОПЕРАЦИЙ ДОВОДКИ
2.1. Исследование кинематики доводочных станков для повышения показателей точности формы плоских
поверхностей пластин-подложек
2.2. Компьютерное моделирование операции шлифовки пластин подложек ИМС
2.3. Разработка методики выбора и расчета геометрических параметров каблучного инструмента для шлифования пластин-подложек ИМС

2.4. Компьютерное моделирование алмазно-абразивного каблучного инструмента
2.5. Определение рациональных припусков для технологического процесса изготовления пластин-подложек
2.6. Выводы по 2-й главе
ГЛАВА 3. МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ
3.1. Описание работы программы компьютерного моделирования износа поверхности притира
3.2. Описание работы программы компьютерного моделирования каблучного алмазно-абразивного инструмента
3.3. Методика определения отклонений от плоскостности притиров
3.4. Методика определения износостойкости каблучного инструмента
3.5. Методика определения свойств поверхностного слоя на основе анализа приповерхностных нарушений
в пластинах-подложках
3.6. Выводы по 3-й главе
ГЛАВА 4. РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ И ОБСУЖДЕНИЕ ПОЛУЧЕННЫХ РЕЗУЛЬТАТОВ
4.1. Экспериментальные исследования неравномерности
износа поверхности притиров
4.2. Экспериментальные исследования износостойкости алмазно-абразивного инструмента
4.3. Разработка каблучного алмазно-абразивного инструмента
4.4. Исследования операции доводки пластин-подложек

4.5. Исследования приповерхностных нарушений
после различных видов обработки
4.6. Выводы по 4-й главе
ГЛАВА 5. ПРАКТИЧЕСКАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ РЕЗУЛЬТАТОВ РАБОТЫ
5.1. Технологический процесс изготовления пластин сапфира 0 100 мм с применением на операции двусторонней доводки связанного каблучного алмазно-абразивного инструментом
5.2. Разработка технологам обработки пластин кремния
0 150 мм свободным абразивом
5.3. Выводы по 5-й главе
ОБЩИЕ ВЫВОДЫ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
ПРИЛОЖЕНИЯ
‘fo
нение операции двусторонней шлифовки неизбежно, и именно этот способ обработки следует подвергать совершенствованию.
Реальным путем резкого повышения эффективности процесса точного формообразования поверхностей является использование связанного алмазного инструмента. Это обеспечивает повышение производительности на операции шлифовки. Кроме того, появляется возможность управления формообразованием поверхностей детали в связи с увеличением размерной стойкости инструмента.
Применение связанного алмазного инструмента взамен абразивных суспензий при шлифовании обеспечивает достижение следующих преимуществ:
- резкое повышение производительности шлифования при съеме равных припусков обрабатываемого материала;
- снижение глубины нарушенного при обработке слоя материала, в первую очередь, глубины трещиноватого слоя;
- снижение более чем на порядок шероховатости поверхности при обработке связанным алмазным инструментом и свободным абразивом равной зернистости.
B.C. Кондратенко, Ю.В. Котляровым [103] разрабатывается способ доводки с применением алмазно-абразивного инструмента на органической связке в виде таблеток. Данный вид обработки позволяет: 1) повысить производительность доводки при съеме равных припусков обрабатываемого материала на один - два порядка по сравнению со свободным абразивом; 2) снизить глубину нарушенного слоя материала; 3) снижение шероховатости поверхности; 4) снижение относительного объема износа связанного инструмента [108].
Но не понятным остается распределение для данного инструмента таблеток по поверхности диска притира, что создает неудобство при использовании алмазно-абразивного инструмента. В настоящее время ал-