Исследование и разработка технологии и конструкции новых пьезоэлектрических устройств на основе монокристаллов лантангаллиевого силиката

• Автор: Медведев, Андрей Валерьевич
• Шифр специальности: 05.11.14
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2009
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 180 с. : ил.

СОДЕРЖАНИЕ
Введение
Глава 1 Применение матричного метода описания ориентировки пластин для рентгендифракционных измерений одно-и двухповоротных срезов лантангаллиевого силиката
1.1 Вывод унифицированной матрицы ориентировки
среза типаухЬ£з/у°/р°/а0
1.2 Расчет индексов Бравэ атомных плоскостей, пригодных для рентгеновских измерения граней пластины среза ухЬ£з/у0/р°/а0
1.3 Расчет исходных установок для рентгенконтроля
пластин
Выводы
Глава 2 Свойства монокристаллов лантангаллиевого силиката
2.1 Физические свойства материальных констант
монокристаллов лангасита
2.1.1 Диэлектрические константы
2.1.2 Коэффициенты теплового расширения
2.1.3 Пьезоэлектрические коэффициенты
2.1.4 Константы упругости
2.2 Пьезоэлектрические свойства монокристаллов
лангасита
2.2.1 Частотная постоянная
2.2.2 Коэффициент электромеханической связи
2.2.3 Температурный коэффициент частоты
Выводы

Глава 3 Особенности конструкции резонаторов и монолитных
фильтров на монокристаллах лантангаллиевого силиката
3.1 Определение оптимальных размеров электродов лангаситовых резонаторов и фильтров
3.2 Определение оптимального направления передачи в кристаллических элементах из лангасита для
монолитных фильтров
3.3 Обратные меза-структуры на кристаллических
элементах из лангасита
Выводы
Глава 4 Экспериментальные исследования характеристик резонаторов и монолитных фильтров на основе монокристаллов лантангаллиевого силиката
4.1 Элементы технологического процесса изготовления резонаторов и монолитных фильтров на основе лангасита
4.1.1 Изготовление кристаллических элементов
4.1.2 Изготовление кристаллических элементов
с обратной меза-структурой
4.1.3 Изготовление резонаторов и монолитных фильтров
4.2 Одноповоротный термостабильный срез лангасита
4.3 Двухповоротные термостабильные срезы лангасита
4.4 Миниатюрные резонаторы на лангасите
4.5 Монолитные фильтры на лангасите
4.5.1 Низкочастотные монолитные фильтры
4.5.2 Монолитные фильтры на обратной меза-структуре
Выводы
Заключение
Список литературы

Список литературы, в которой изложены
материалы диссертации
Приложение А Методика выбора атомных плоскостей и расчета
угловых параметров для рентгеновских измерений пластин лангасита
Приложение Б Программа для выбора атомной плоскости и расчета угловых параметров для рентгеновских измерений основного среза лангасита

Выводы
В первой главе на основе матричного способа выражения ориентировки пластины:
- предложен выбор первоначальной ориентировки пластины и последовательность поворотов относительно граней пластины наиболее полно отвечающий современным задачам акустоэлектроники;
- разработан метод нахождения атомной плоскости для контроля ориентации граней пластины без применения стереографической косинусной поверхности;
- уточнены формулы для расчета рентгенконтроля пластины;
- разработаны методика и программы выбора атомных плоскостей и расчета угловых установок в условиях промышленного производства КЭ из монокристаллов лангасита.