Разработка методов и средств контроля параметров технологии водоподготовки в производстве изделий микроэлектроники

• Автор: Жирков, Михаил Васильевич
• Шифр специальности: 05.11.13
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2003
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 270 с. : ил

СОДЕРЖАНИЕ

ВВЕДЕНИЕ
Глава 1 СРАВНИТЕЛЬНЫЙ АНАЛИЗ МЕТОДОВ И СРЕДСТВ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ВЫСОКОЧИСТОЙ ВОДЫ В ПРОИЗВОДСТВЕ ИЗДЕЛИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ

1.1. Методы и средства контроля интегральных характеристик

1.1.1. Величина удельной электропроводности

1.1.2. Величина pH

1.2. Методы и средства контроля неорганических загрязнений

1.2.1. Эмиссионные и абсорбционные методы пламенной фотометрии

1.2.2. Спектрофотометрические и флуорометрические методы анализа

1.2.3. Методы масс-спекгрального анализа

1.2.4. Методы эмиссионного рештеноспекгрального анализа
1.2.5. Электрохимические методы анализа
1.3. Сравнительные характеристики методов и средств контроля органических загрязнений
1.3.1. Жидкофазное окисление
1.3.2. Разложение органических веществ под действием УФ-излучений
1.3.3. Определение общего органического углерода «сухим» сожжением
1.3.4. УФ-спектрофотометрия
1.3.5. Флуорометрические методы анализа
1.3.6. Электрохимические методы анализа
1.5. Выводы и постановка задач исследований
Глава 2 ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ АСПЕКТЫ
СОЗДАНИЯ МЕТОДОВ КОНТРОЛЯ ВЫСОКОЧИСТОЙ ВОДЫ
2.1. Особенности технологических схем получения высокочистой
воды на предприятиях электронной промышленности

2.1.1. Ионообменная деионизация в технологии получения высокочиетой воды
2.1.2. Источники примесей и загрязнений в воде, полученной методами ионообменной деионизации
2.2. Теория аналитического сигнала в методе контроля органических загрязнений - методе ИВ
2.2.1. Исследование влияния органических загрязнений на
величину аналитического сигнала в методе ИВ
2.2.2. Исследование влияния механизма и кинетики
электродных процессов на величину аналитического сигнала в присутствии органических загрязнений
2.2.3. Методология расчета адсорбционных параметров
органических поверхностно-активных веществ по
электрокапиллярным измерениям
Выводы
Глава 3 ПРИНЦИПЫ СОЗДАНИЯ СРЕДСТВ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ
ТЕХНОЛОГИИ ВОДОПОДГОТОВКИ ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА
ИЗДЕЛИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
3.1. Анализ модификаций блоков глубокой очистки воды от органических загрязнений
3.1.1. Исследования по идентификации и определению
органических загрязнений в высокочистой воде,
полученной ионообменной деионизацией на
предприятиях ЭП г. Зеленограда
3.1.2. Исследования по глубокой очистке воды от органических
загрязнений на предприятиях ЭП
3.2. Анализ модификаций блоков аналитического контроля
неорганических загрязнений
3.2.1. Средства экспрессного высокочувствительного
контроля неорганических загрязнений

3.2.2. Обобщенные структурные схемы многоканального
вольгамперометрического анализатора МВА-РК
3.3. Анализ модификаций блоков аналитического контроля
органических загрязнений
3.3.1. Средства экспрессного высокочувствительного контроля органических загрязнений
3.3.2. Методология экспрессного высокочувст-вительного контроля органических загрязнений
Выводы
4. ОПЫТНО-ПРОМЫШЛЕННЫЕ ИСПЫТАНИЯ МЕТОДОВ И
СРЕДСТВ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ВОДОПОДГОТОВКИ В
ПРОИЗВОДСТВЕ ИЗДЕЛИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
4.1. Результаты опытно-промышленных испытаний методов и средств определения неорганических загрязнений в
высокочистой воде
4.1.1. Средства контроля неорганических загрязнений
4.1.2. Методика метрологической оценки результатов определений
4.1.3. Результаты опытно-промышленных испытаний методик КХА неорганических загрязнений
4.2. Результаты опытно-промышленных испытаний методов и средств определения органических загрязнений в
высокочистой воде
4.2.1. Особенности методологии контроля органических загрязнений
4.2.2. Методика КХА контроля органических загрязнений
4.2.3. Расчеты экономической эффективности новой технологии ВОДОПОДГОТОВКИ
Выводы

Колориметром называют простейший визуальный или фотоэлектрический прибор для работы в видимой области спектра. Фотометры - те же колориметры, охватывающие, кроме видимой, ультрафиолетовую и инфракрасную области спектра.
Спектрофотометры отличаются от фотометров только тем, что в них для исследования при помощи монохроматора выделяется более узкая полоса спектра. Поэтому для определения следов элементов рекомендуется применение спектрофотометров.
Спектрофотофлуорометр или спектрофлуорометр - приборы, в которых длина волны света, возбуждающего флуоресценцию, и выделяемые участки спектра флуоресценции можно непрерывно менять при помощи двух монохроматоров. Полученный спектр флуоресценции записывается на регистрирующем приборе.
Спектрофотометры. В продаже имеется много различных спектрофотометров. В качестве примеров приведены характеристики спектрофотометров Кери (модель 14); Бекмана (модель Эи-2) и спектроник 20.

Первое синелетное состояние

состояние
Основное состояние
} Колебательные уровни
Рис. 1.5. Возникновение электронно-колебательных полос флуоресценции, фосфоресценции и поглощения [26].
Для измерения флуоресценции применяется простой флуорометр.