Исследование нестационарного режима откачки адсорбированных паров в вакуумных машинах и установках

• Автор: Акимов, Юрий Дмитриевич
• Шифр специальности: 05.04.06
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1984
• Место защиты: Ленинград
• Количество страниц: 197 c. : ил

Глава I. ОТКАЧКА АДСОРБИРОВАННЫХ ПАРОВ ВОДЫ ИЗ ВАКУУМНЫХ
СИСТЕМ
1.1. Основные закономерности десорбвдонного газовыде-ления паров воды
1.2. Методы расчета времени откачки вакуумной системы без учета газовыделения
1.3. Методы расчета времени откачки вакуумной системы с учетом газовыделения
1.4. Влияние адсорбированных паров воды на время откачки в нестационарном режиме и способы его уменьшения
1.5. Постановка задачи исследований
Глава 2. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ВРЕМЕНИ ОТКАЧКИ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ С УЧЕТОМ ВЛИЯНИЯ АДСОРБИРОВАННЫХ ПАРОВ ВОДЫ
2.1. Расчет времени откачки при нестационарном режиме
2.2. Основы теоретического подхода к расчету времени откачки при квазистационарном режиме
2.3. Определение времени откачки при адсорбции паров воды по полимолекулярной и мономолекулярной теориям адсорбции
2.4. Время откачки для линейной изотермы адсорбции
паров воды
2.5. Определение времени откачки с учетом влияния адсорбированных паров воды по теории Дубинина-Ра-душкевича
2.6. Графо-аналитический метод расчета времени откачки по экспериментальной изотерме адсорбции

Глава 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ АДСОРБЦИЙ ПАРОВ
ВОДЫ НА МЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ
3.1. Обзор экспериментальных данных об адсорбции паров воды на твердых поверхностях
3.2. Методика экспериментального исследования адсорбции паров воды на металлической поверхности
3.3. Изучение и обработка экспериментальной изотермы адсорбции паров воды на поверхности стаж І0ХІ8НІ0Т по существующим теориям адсорбции
3.4. Шероховатость поверхности вакуумных камер и соотношение между истинной и геометрической поверхностями
3.5. Погрешность методики экспериментального исследования адсорбции паров воды на поверхности нержавеющей стали
Глава 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ВЛИЯНИЯ АДСОРБИРОВАННЫХ ПАРОВ ВОДЫ НА БРЕЛЯ ОТКАЧКИ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ В КВАЗИСІАЦИ0НАРНШ РЕЖИМЕ
4.1. Измерение газовых потоков при низком вакууме
4.2. Анализ методов измерения быстроты откачки вакуумных насосов
4.3. Исследование времени откачки низковакуумных систем
4.4. Исследование времени откачки высоковакуумных систем в нестационарном режиме
4.5. Оценка точности предложенных методик расчета времени откачки с учетом влияния адсорбированных паров воды
Глава 5. РАЗРАБОТКА СПОСОБОВ УМЕНЬШЕНИЯ ВЛИЯНИЯ АДСОРБИРОВАННЫХ ПАРОВ ВОДЫ НА ВРЕМЯ ОТКАЧКИ И ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ ВАКУУМНЫХ МАШИН И УСТАНОВОК

5;1. Технология нанесения лакокрасочных покрытий и
их технические характеристики
5.2. Применение лакокрасочных покрытий для уменьшения времени откачки низковакуумных систем
5.3. Использование лакокрасочных покрытий даю уменьшения влияния адсорбированных паров воды на
время откачки высоковакуумных систем
5.4. Анализ влияния времени откачки в нестационарном режиме на производительность вакуумных машин и установок
5.5. Эффективность применения лакокрасочных покрытий
в вакуумном оборудовании
ВЫВОДЫ
ЛИТЕРАТУРА
ПРИЛОЖЕНИЕ

уменьшение времени откачки [зо].
В настоящее время применяются в основном способы, пригодные для прогреваемых вакуумных систем, где нагревом камеры удаляются уже адсорбированные пары воды. Методы, препятствующие адсорбции паров воды при разгерметизации непрогреваемых камер, еще не получили распространение и почти не описаны в литературе.
1.5. ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЙ
На основании проведенного анализа литературных и патентных источников можно сделать следующие выводы: время откачки кроме зависимости от характеристик вакуумной системы зависит еще от времени воздействия и влажности атмосферного воздуха, температуры поверхности системы при разгерметизации, шероховатости поверхности и теплоты адсорбции паров воды на поверхности камеры. В отдельных случаях пренебрежение влиянием адсорбированных паров воды может привести к увеличению времени откачки в несколько раз сравнительно с расчетным. Существующие методы расчета времени откачки при ква-зистационарном режиме применимы для прогреваемых вакуумных систем, а для непрогреваемых систем основной составляющей газовыделения является десорбция паров воды с поверхности камеры, которая не учитывается в методиках расчета времени откачки.
Первой попыткой описать процесс откачки с учетом влияния адсорбированных паров воды является теоретическая работа Венемы [12з] имеющая однако ряд недостатков: нельзя согласиться с допущением о ' том, что адсорбция паров воды может быть описана только теорией Ланшюра; нет данных по экспериментальной проверке разработанной теории. Для дальнейшего углубления и развития этой идеи необходимо провести теоретические исследования времени откачки вакуумных систем в нестационарном режиме. Для квазистационарного режима разра-