Повышение эффективности операции разрезания заготовок из хрупких неметаллических материалов путем активации элементов технологической системы

• Автор: Дормушев, Антон Емилевич
• Шифр специальности: 05.03.01
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2004
• Место защиты: Ульяновск
• Количество страниц: 224 с. : ил.

Список основных сокращений и символов

ГЛАВА 1. ТЕХНОЛОГИЯ И ТЕХНИКА РАЗРЕЗАНИЯ СЛИТКОВ И ЗАГОТОВОК ИЗ ХРУПКИХ НЕМЕТАЛЛИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ. ЦЕЛЬ И ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЙ
1Л. Место операции разрезания в современных технологических процессах изготовления изделий из хрупких неметаллических материалов
1.2. Технология и техника разрезания слитков и заготовок из хрупких неметаллических материалов на
пластины

1.2.1. Многолезвийное разрезание

1.2.2. Разрезание бесконечной ленточной пилой

1.2.3. Разрезание абразивом с помощью проволоки

1.3. Разрезание слитков и заготовок из хрупких неметаллических материалов алмазными отрезными кругами с наружной режущей кромкой
1.4. Разрезание заготовок на пластины алмазными отрезными кругами с внутренней режущей кромкой

1.5. Способы повышения эффективности разрезания отрезными кругами АКВР

1.6. Выводы. Цель, задачи исследований
ГЛАВА 2. ТЕОРЕТИКО-ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА РАЗРЕЗАНИЯ ЗАГОТОВОК АЛМАЗНЫМИ ОТРЕЗНЫМИ КРУГАМИ
2.1. Математическая модель формирования параметров качества пластин на операции разрезания заготовок кругами АКВР

2.1.1. Формирование прогиба пластин
2.1.2. Математическая модель формирования нарушенного
слоя на операции разрезания слитков кругами ЛКВР
2.2. Аналитическое решение задачи теплообмена при разрезании неметаллических заготовок отрезными
кругами АКВР
2.3. Численное решение задачи теплообмена при разрезании неметаллических заготовок отрезными
кругами АКВР
2.4. Численное моделирование тепловой напряженности
процесса разрезания с применением устройств активации
2.5. Выводы
ГЛАВА 3. МЕТОДИКА ПРОВЕДЕНИЯ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ. НАУЧНАЯ АППАРАТУРА И ^ ОБОРУДОВАНИЕ
3.1. Показатели эффективности процесса разрезания
3.2. Контролируемые параметры. Методы и средства
измерения
3.3. Условия проведения исследований и техника эксперимента
3.4. Метрологическая оценка показателей эффективности
процесса разрезания
3.5. Планирование экспериментов, состав и количество опытов
ГЛАВА 4. ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ
ЭФФЕКТИВНОСТИ ОПЕРАЦИИ РАЗРЕЗАНИЯ ЗАГОТОВОК ИЗ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ. ОПЫТНО-ПРОМЫШЛЕННЫЕ ИСПЫТАНИЯ
4.1. Влияние состава и способа подачи СОТС на микро-и макрогеометрию пластин и производительность разрезания заготовок кругами АКВР

4.2. Исследование влияния наложения УЗ-колебаний на заготовку на качество отрезанных пластин и производительность операции разрезания кругами АКВР
4.3. Исследование влияния наложения УЗ-колебаний на заготовку на производительность разрезания и качество отрезанных пластин при одновременной подаче аэрозоли перед
зоной резания
4.4. Опытно-промышленные испытания технологии разрезания заготовок из хрупких неметаллических материалов кругами АКВР с наложением УЗ-колебаний на заготовку и подачей в зону резания аэрозоли
4.5. Источники и методика расчета экономической эффективности
4.6. Выводы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
ПРИЛОЖЕНИЯ

1.5. Способы повышения эффективности разрезания отрезными кругами АКВР
В настоящее время, в связи с увеличением диаметров слитков полупроводниковых материалов до (150 - 300) мм возникли проблемы при их разделении на пластины кругами АКВР. Значительное увеличение длины дуги контакта инструмента и слитка увеличивает силу трения, тепловую напряженность и ухудшает условия транспортировки СОЖ в зону резания. Увеличение размеров кругов АКВР неизбежно повлекло бы за собой снижение качества отрезанных пластин - прежде всего увеличение прогиба, отклонения от плоскостности.
Основные способы повышения эффективности разрезания слитков и заготовок из неметаллических материалов показаны на рис. 17. Так в патенте [189] для снижения прогиба пластин предложено использовать отрезные круги АКВР с асимметричной режущей кромкой (рис. 18). Такая форма режущей кромки позволяет перераспределить силы резания таким образом, чтобы предотвратить ее увод в процессе разрезания.

Рис. 18. Поперечное сечение режущей кромки отрезного круга АКВР [189]