Разработка и исследование агрегатов для проведения процесса газофазного осаждения эпитаксиальных слоев кремния на подложки большого диаметра
- Автор:
Каблуков, Андрей Леонидович
- Шифр специальности:
05.02.13
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2003
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
157 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Исследование межоперационных транспортирующих агрегатов с колесными носителями на пространственной трассе для процесса производства электронной техники | Андренюк, Вадим Анатольевич | 2003 |
| Конструктивные и технологические методы повышения энергетических характеристик и долговечности героторных механизмов винтовых забойных двигателей | Шулепов, Валерий Андреевич | 2011 |
| Повышение эффективности работы теплообменника воздушного охлаждения компрессорных станций буровых установок | Шарипов, Марсель Ильгизович | 2010 |