Разработка и исследование агрегатов для проведения процесса газофазного осаждения эпитаксиальных слоев кремния на подложки большого диаметра
- Автор:
Каблуков, Андрей Леонидович
- Шифр специальности:
05.02.13
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2003
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
157 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Разработка и исследование агрегатов для проведения процесса газофазного осаждения эпитаксиальных слоев кремния на подложки большого диаметра», автор — Каблуков, Андрей Леонидович, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.02.13. Работа подготовлена в городе Москва в 2003 году. Объем работы: 157 с. : ил.. Внутренний код товара: 01002620605. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Исследование контактных напряжений при холодной прокатке тонких полос на основе упругопластической модели очага деформации для совершенствования процессов и оборудования листовых станов | Шадрунова, Ирина Александровна | 2002 |
| Исследование динамических характеристик раскройных прессов с учетом влияния стабилизированных ПВХ плит | Атанов, Михаил Федорович | 1984 |
| Совершенствование механического дискового бункерного загрузочного устройства с радиальными гнездами | Давыдова, Елена Викторовна | 2008 |