Исследование межоперационных транспортирующих агрегатов с колесными носителями на пространственной трассе для процесса производства электронной техники

• Автор: Андренюк, Вадим Анатольевич
• Шифр специальности: 05.02.13
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2003
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 212 с.

СОДЕРЖАНИЕ

Введение

Г лава 1. Состояние вопроса и постановка задач исследования

1.1. Научно-технические проблемы и особенности производства полупроводниковых структур

1.2. Обзор работ по теме исследования

1.2.1. Транспортирование пластин при помощи СМИФ-контейнеров

1.2.2. Туннельно-трековые системы транспортирования

1.2.3. Транспортирование пластин при помощи пассиковых конвейеров (сверхлегкие ленточные конвейеры)

1.2.4. Автоматические тележки

1.3. Выбор рационального межоперационного транспортирующего средства для перемещения изделий ЭТ. Формирование требований к транспортирующему средству, предназначенному для
работы на современных предприятиях микроэлектроники
1.4. Объект исследования
1.5. Цели и задачи исследования
Г лава 2. Исследование геометрических и кинематических параметров транспортирующего агрегата
2.1. Общие замечания
2.2. Выбор геометрических параметров криволинейных участков направляющей в горизонтальной плоскости
2.3. Параметры криволинейного участка направляющей в вертикальной плоскости, определяемые габаритными размерами носителя
2.4. Зависимости между геометрическими и кинематическими параметрами системы “колесный носитель - направляющая”
2.5. Выбор геометрических параметров криволинейных участков в вертикальной плоскости, определяющих оптимальный контакт ведущего звена с направляющей
2.6. Итоги и выводы

Г лава 3. Исследование силового взаимодействия колесного носителя с пространственной направляющей
3.1. Общие замечания
3.2. Определение усилий при взаимодействии носителя с направляющей без учета податливостей обрезиненных колес
3.3. Определение усилий при конечных значениях податливостей обрезиненных колес
3.4. Определение усилий при конечных значениях податливостей обрезиненных колес и зазора между опорными колесами и элементами направляющей при действии веса бокса с переменной массой
3.5. Анализ влияния величин податливостей и зазора на параметры силового взаимодействия
3.6. Анализ влияния жесткости пружины на параметры силового взаимодействия
3.7. Определение суммарных сил сопротивления передвижению носителя
3.8. Выбор мощности двигателя для колесного носителя
3.9. Итоги и выводы
Глава 4. Исследование элементов динамики привода колесного носителя.
Экспериментальное исследование параметров транспортирующего
агрегата
4.1. Приведение массовых и силовых параметров
4.2. Составление уравнения движения колесного носителя
4.3. Решение дифференциальных уравнений движения носителя
4.4. Экспериментальное исследование параметров транспортирующего агрегата
4.4.1. Описание экспериментального макета транспортирующего агрегата
4.4.2. Определение реакций в опорах колес и усилия в пружине для трех случаев положений носителя относительно направляющей. Определение величин жесткости обрезиненных ободов колес носителя и анализ влияния реакции на

переменность жесткости
4.4.3. Определение приведенных коэффициентов трения для опорных
колес и ведущего звена носителя
4.4.4. Определение сопротивлений передвижению носителю на участках направляющей
4.5. Итоги и выводы
Глава 5. Разработка методики и технических норм для проектирования и эксплуатации транспортирующих агрегатов с колесными носителями на пространственной трассе
5.1. Расчет интенсивности выброса загрязнений элементами транспортирующего агрегата с колесными носителями
5.2. Методика и технические нормы для выбора рациональных параметров транспортирующих агрегатов с колесными носителями
на пространственной трассе
5.3. Итоги и выводы
Результаты исследования и общие выводы но работе
Список литературы
Приложение
Приложение

Табл. 1.4.
Технические характеристики конвейерно-адресного комплекса ІІТК-150-002 [48]
Максимальное число участков
Максимальное число участков на одном этаже
Емкость партии пластин в контейнере 25...50 шт.
Максимальный диаметр транспортируемых пластин 150 мм
Масса транспортируемого контейнера 1... 3 кг
Минимально допустимое время интервала между автоматическими посылками партий пластин на различные участки обработки Юс
Скорость транспортирования на горизонтальных участках 0,2...0,5 м/с
Скорость транспортирования на вертикальных участках 0,1 ...0,2 м/с
Максимальная потребляемая мощность не более 1000 В-А
Наработка на отказ не менее 240 ч
Коэффициент готовности не менее 0,
Средний срок службы не менее 6 лет
трассы, поворотным устройствам и блокам управления подается по жгутам, проложенным под участками направляющей.
Трасса способна связывать технологические участки, расположенные на различных этажах производственного здания. Межэтажные участки трассы монтируются из двухколейного пути (рис. 1.4.2, В-В), и транспортирование по ним проходит в противоположных направлениях. В пределах одного этажа трасса образует замкнутый кольцевой контур, движение по которому осуществляется всегда в одном направлении. Для движения по вертикальным (прямолинейным и радиусным) участкам трасса оснащена зубчатой рейкой. Одновременно на трассе могут находиться несколько тележек, транспортирующих партии изделий по разным адресам.
Перед технологическими участками, расположенными на производственных этажах и связанными между собой трассой, оборудованы этажные посты приема-отправления изделий (рис. 1.4.1, вид А). На каждом производственном этаже здания монтируются также посты приема-отправления