Структура и свойства функциональных слоев нитрида кремния на различных стадиях их формирования в технологии устройств нано- и микросистемной техники
- Автор:
Обижаев, Денис Юрьевич
- Шифр специальности:
05.02.01
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2008
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
151 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Структура и свойства функциональных слоев нитрида кремния на различных стадиях их формирования в технологии устройств нано- и микросистемной техники», автор — Обижаев, Денис Юрьевич, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 05.02.01. Работа подготовлена в городе Москва в 2008 году. Объем работы: 151 с. : ил.. Внутренний код товара: 01003417885. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Формирование структуры и свойств покрытий на основе композиционного материала сталь Р6М5 - тугоплавкий карбид | Гнюсов, Константин Сергеевич | 2009 |
| Исследование перспективности применения полиэтиленовых газопроводов в Республике Саха (Якутия) | Иванов, Валерий Иосифович | 1999 |
| Разработка физико-химических и технологических основ переработки вольфрамокобальтового твердого сплава электроэрозионным диспергированием | Дворник, Максим Иванович | 2006 |