Лазерно-стимулированные микроструктурные процессы в конденсированных средах

• Автор: Банишев, Александр Федорович
• Шифр специальности: 01.04.21
• Научная степень: Докторская
• Год защиты: 2004
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 285 с. : ил.

Глава I. ОБРАЗОВАНИЕ ДЕФЕКТОВ И УПОРЯДОЧЕННЫХ СТРУКТУР ДЕФЕКТОВ В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ ПРИ ЛАЗЕРНОМ ОСАЖДЕНИИ
§1.1. Дефекты в тонких пленках
§1.2. Взаимодействие дефектов с полями упругих напряжений и температуры. Основные уравнения описывающие движение дефектов
§1.3. Лазерное пиролитическе осаждение металлических пленок на неоднородно нагретую подложку. Образование упорядоченных структур пор
§1.4. Методика эксперимента и результаты
§1.5. Интерпретация результатов образования кольцевых структур пор с позиций пористо-деформационной неустойчивости (ПДН)
§1.6. Сравнение теории с экспериментом
§1.7. Влияние дефектов на свойства ВТСП-пленок полученных методом импульсного лазерного испарения мишени
1.7.1. Особенности лазерного напыления ВТСП пленок
1.7.2. Методика диагностики продуктов испарения ВТСП керамики
§1.8. Экспериментальные результаты и их обсуждение
§1.9. Исследование влияния отжига в вакууме и облучения ионами на свойства ВТСП-пленок
Приложение I
Приложение II
Выводы к главе I

Глава II. ГЕНЕРАЦИЯ УПОРЯДОЧЕННЫХ СТРУКТУР ДЕФЕКТОВ НА ПОВЕРХНОСТИ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ ПРИ ЛАЗЕРНОМ ВОЗДЕЙСТВИИ
§2.1 Поглощение лазерного излучения в поверхностном слое полупроводников. Основные факторы определяющие генерацию высокой концентрации дефектов
§2.2. Формирование структур дефектов и рельефа поверхности при воздействии лазерного излучения
§2.3. Генерация обратимых и необратимых структур дефектов и локальное плавление поверхности кремния при воздействии миллисекундных лазерных импульсов
2.3.1. Методика проведения эксперимента
2.3.2. Экспериментальные результаты
§2.4. Формирование упорядоченных структур на поверхности кремния в результате неоднородного плавлении поверхности на дислокациях. Суперпозиция когерентных и некогерентных структур
§2.5. Качественное обсуждение экспериментальных результатов
§2.6. Дефектно-деформационная неустойчивость и образование поверхностной решетки дефектов
§2.7. Образование одномерной и двумерной поверхностной решетки дефектов
§2.8. Возможность управления диффузионными и деформационно-индуцированными потоками дефектов в ковалентных полупроводниках с помощью мощного линейно-поляризованного лазерного излучения
§2.9. Генерация дислокаций и структур дислокаций на поверхности кремния при квазистационарном режиме лазерного воздействия
2.9.1. Краткое описание экспериментальных результатов
§2.10. Интерпретация наблюдаемых структур дислокаций с позиций модели ДиД упорядочения дислокаций
Выводы к главе II
Глава III. РАЗРУШЕНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДЫХ ТЕЛ ПРИ ИМПУЛЬСНОМ И ИМПУЛЬСНО-ПЕРИОДИЧЕСКОМ ВОЗДЕЙСТВИИ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
§3.1. Генерация и накопление дефектов в поверхностном слое кремния при воздействии лазерных импульсов в вакууме
§3.2. Экспериментальная установка и результаты исследований
§3.3. Обсуждение результатов
§3.4. Генерация дефектов в поверхностном слое кремния при воздействии лазерных импульсов в газовой атмосфере. Ускоренная диффузия газа в обогащенном дефектами приповерхностном слое
§3.5. Исследование изменений рельефа поверхности на воздухе
§3.6. Формирование неоднородностей рельефа поверхности при воздействии лазерных импульсов в атмосфере различных газов
§3.7. Разрушение поверхности кремния и меди при импульснопериодическом воздействии субмикросекундных лазерных импульсов на воздухе
Выводы к главе III:
Глава IV. ЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛАСТИН И ПЛЕНОК, ВОЗБУЖДАЕМАЯ ПЛАСТИЧЕСКИМИ ДЕФОРМАЦИЯМИ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ ЛАЗЕРНЫХ ИМПУЛЬСОВ
§4.1. Состояние исследований по деформационно-стимулированной люминесценции металлов
§4.2. Механолюминесценция хрупких металлов возбуждаемая воздействием миллисекундных мпульсов Nd: YAG лазера

Рис.1.7. Радиальное распределение плотности кольцевых пор N(1), (мм’1)
Рис. 1.8. а) Рельеф поверхности, прописанный вдоль координаты г на профилометре “Та1уз1ер”. Выбранный участок поверхности соответствует значениям г в окрестности максимума Ы(г) (см. рис. 1.6). б) Концентрическая пора, прописанная на профилометре “Та^ер”.