Исследование механизма взаимодействия плазмы тлеющего разряда с политетрафторэтиленом. Изучение свойств плазмомодифицированных материалов

• Автор: Байдаровцев, Юрий Павлович
• Шифр специальности: 01.04.17
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1984
• Место защиты: Черноголовка
• Количество страниц: 146 c. : ил

ГЛАВА I. ЯВЛЕНИЯ НА ГРАНИЦЕ ПЛАЗМЫ НЕРАВНОВЕСНОГО ГАЗОВОГО РАЗРЯДА. НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ С ПОВЕРХНОСТЬЮ ТВЕРДОГО ТЕЛА (ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ)
1.1. Функции распределения электронов по энергиям
1.2. Потоки тяжелых частиц на поверхность образца
1.3. Воздействие светового излучения плазмы на полимеры
1.4. Особенности плазменной обработки полимеров
1.5. Методы исследования поверхностей твердых тел, подвергшихся плазменной обработке
1.6. Травление поверхности полимеров под действием плазмы тлеющего разряда
1.7. Плаэмохимическое получение органических пленок
1.8. Р е з ю м е
Глава II. МЕТОДИКИ ИССЛЕДОВАНИЙ
П.1. Исследование действия разряда постоянного
тока (РПТ) на политетрафторэтилен (ПТФЭ)
П. 1.1. Приготовление образцов
П.1.2. Описание экспериментальных установок
ПЛ.З. Методика зондовых измерений
П.2. Измерение спектров излучения плазмы
П.З. ЭПР - спектроскопия
П.4. ИК - спектроскопия
П.5. Оптическая и электронная микроскопия

Глава III. ИССЛЕДОВАНИЕ ДЕЙСТВИЯ РАЗРЯДОВ ПОСТОЯННОГО ТОКА В РАЗЛИЧНЫХ ПЛАЗМООБРАЗУЩИХ ГАЗАХ НА ПМЭ.
СРАВНЕНИЕ ВУФ-Ф0Т0ЛИЗА 1ГШЭ И ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ
111.1. Экспериментальное исследование характеристик
ВУФ излучения РПТ и выбор разрядных условий
Ш.1.1. Идентификация спектров излучения РПТ в
диапазоне ВУФ
Ш.1.2. Актинометрия потоков ВУФ излучения
111.1.3. Исследование особенностей РПТ, возбуждаемых
в различных плазмообразующих газах
111.2. Идентификация радикалов, образующихся в ПТФЭ
под действием РПТ и ВУФ-излучения
Ш.З. Кинетические зависимости накопления радикалов
при плазменной обработке ПТФЭ
III.4. Накопление радикалов в ПТФЭ под действием ВУФ излучения
10.5. Особенности деструкции ПТФЭ и травления поверхности образца в условиях ВУФ-фотолиза и
плазменной обработки
Ш.6. Исследование механизма травления ПТФЭ в плазме азота. Роль заряженных частиц
01.7. Исследование образования стабильных продуктов.
Механизмы плазмохимических превращений в ПТФЭ
Глава IV. ГЕОМЕТРИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И СТРУКТУРА ПЛАЗМОМОДИФИЦИРОВАННЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ПОЛИМЕРОВ И ПОЛИМЕРНЫХ КОМПОЗИЦИЙ
IV.1. Микрорельеф плазмообработанной поверхности
ПТФЭ
ТУ.2. Исследование поверхностей плазмомодифициро-

ванных резинотехнических изделий (РТИ).,.,
1У.З. Электронномикроскопические исследования поверхности нанесенных катализаторов, содержащих комплексы никеля и кобальта на плазмомодифицированной полиэтиленовой подложке
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ВЫВОДЫ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

Для целей оперативного контроля усиленный сигнал с ФЭУ выводился на двухкоординатный самописец, а при идентификации спектров запись производилась на КСП^4. Точность измерения длины волны на нашей установке была определена по воспроизводимости спектральных линий молекулярного водорода и составила +0,05 нм. Откалиброванная таким образом развертка оставалась неизменной, а определение длины волны производилось по величине напряжения, измеряемого на эталонном сопротивлении цифровым вольтметром В7-22А с точностью "I” в четвертом знаке.
П.З. ЭПР - спектроскопия
В имеющихся работах по плазменной обработке ПТФЭ авторы обычно наблюдали образование перекисных радикалов [69,70]. Однако, такая информация недостаточна при исследовании механизма действия плазмы на полимер, т.к. из спектров ЭПР, полученных на стандартных приборах 3-см диапазона, можно получить только суммарную кон-

центрацию двух типов перекисных радикалов: концевых ~ С£-и серединных ~ CF& ~ СFOO - CF^ л- . в связи с этим нами проводилась идентификация спектров, образующихся непосредственно в плазменном реакторе (рис.1), а также анализ спектров в процессе фото и термопревращений.
На основании приведенных в литературном обзоре (п.1.5) данных удобно реакции термо- и фотопревращений представить в схеме (рис.6), которая позволяет ориентироваться при анализе ЭПР спектров. Так, например, для разделения спектров ЭПР смеси двух типов лероксидных радикалов можно произвести облучение УФ светом в вакууме при пониженной температуре. При этом на фоне несимметричной линии серединного перекисного радикала будет наблюдаться спектр