Термическая диссоциация газообразных гидридов и металлоорганических соединений и реакции продуктов их распада

• Автор: Смирнов, Владимир Николаевич
• Шифр специальности: 01.04.17
• Научная степень: Докторская
• Год защиты: 2008
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 490 с. : ил.

Введение
СОДЕРЖАНИЕ

Глава 1. Экспериментальная установка и методики измерений
Введение
1.1. Ударная труба
1.1.1. Общее описание
1.1.2. Составление рабочих смесей
1.2. Абсорбционные измерения в сплошном спектре
1.3. Атомно-абсорбционные измерения
1.4. Двухлучевая абсорбционно-эмиссионная методика
1.5. Лазерный шлирен-метод
/ 1.5.1. Общая характеристика
1.5.2. Схема измерений лазерным шлирен-методом
1.5.3. Теория метода. Рабочие формулы
1.5.4. Измерения. Обработка экспериментальных данных
1.6. Расчет параметров состояния газа за ударной волной
1.7. Заключительные замечания к главе
1.8. Список таблиц и рисунков к главе
Глава 2. Термический распад гидридов полупроводниковых элементов
Введение

2.1. Экспериментальное исследование распада дисилана
2.1.1. Введение
2.1 .Экспериментальная процедура и обработка данных б
2.1.3. Интерпретация экспериментальных данных по
распаду дисилана
2.2. Анализ двуканального распада дисилана
2.2.1. Введение
2.2.2. Описание модели
2.2.3. Оценка константы скорости реакции 812Н6 -» 8Ш2 + 8Ш4 в пределе высоких давлений
2.2.4. Оценка константы скорости реакции 812Нб -> Н2 + Н3818Щ в пределе высоких давлений

2.2.5. Вычисление числа состояний для переходных комплексов
в реакциях БьНй -» 8Щ2 + ЭНгЦ и 812Нб -» Н2 + Н3818Ш и плотности состояний 812Нб
2.2.6. Вычисление соотношения к5б/к5а
2.2.7. Вычисление переходных кривых для реакций
812Н6 81Н2 + 81Н4 и 812Нб Н2 + Н38181Н
2.2.8. Результаты и обсуждение
2.3. Экспериментальное исследование реакции 8Ш4 «-* 8Щ2 + Н2
2.3.1. Введение
2.3.2. Получение и обработка экспериментальных данных
2.3.3. Экспериментальные результаты
2.4. Анализ реакций 8Ш4 «-► 81Н2 + Н2 и 81Н2 -» + Н2 в
рамках теории РРКМ
2.4.1. Расчет константы равновесия и константы скорости
для реакции 8Ш4 <-» Б1Н2 + Н2

2.4.2. Расчет константы скорости распада 8Ш2

2.5. Образование атомов водорода при распаде силана
2.5.1. Введение
2.5.2. Экспериментальные процедуры
2.5.3. Интерпретация экспериментальных результатов. Возможный механизм образования атомов водорода
2.6. Экспериментальное и теоретическое исследование
распада германа
2.6.1. Введение
2.6.2. Эксперимент
2.6.3. Обработка и интерпретация экспериментальных данных по выходу атомов германия
2.6.4. Интерпретация экспериментальных данных по эмиссии электронновозбужденной окиси германия ОеО*
2.6.5. Расчет распада германа в рамках теории РРКМ
2.6.6. Сопоставление константы скорости распада германа с литературными данными
2.6.7. Термохимические характеристики распада германа
2.6.8. Заключительные замечания
2.7. Распад селеноводорода
2.7.1. Введение
2.7.2. Эксперимент
2.7.3. Анализ результатов
2.8. Заключение к главе
2.9. Список таблиц и рисунков к главе

2.4. Двухлучевая абсорбционно-эмиссионная методика
Измерение температуры газа за фронтом ударной волны пирометрическим методом осуществляется, как правило, путем регистрации излучения и поглощения специально добавляемых примесей к основному газу [14], например, атомов натрия. В основу этого метода положены предположения о тепловом равновесии между возбужденными атомами примеси и основным газом, о применимости закона Кирхгофа и малости нарушения равновесия вследствие выхода излучения из нагретого газа. Одновременные измерения излучательной и поглощательной способностей газа за фронтом ударной волны позволяют в случае выполнения указанных предположений измерить распределение температуры вдоль потока за фронтом волны.
В настоящей работе эта методика была использована для измерения температуры конденсированных частиц железа. Введения специальных спектрально-активных добавок не требовалось, так как частицы металлов поглощают и, следовательно, излучают свет в широком спектральном интервале [22]. В отличие от традиционной организации пирометрических измерений, когда используется только один источник света (калиброванная ленточная лампа или черное тело), и поэтому излучение от лампы и газа и только от газа проходят по двум параллельным каналам и попадают в один и тот же монохроматор (разделенные по высоте), в настоящей работе наряду с калиброванной ленточной лампой СИ-10-300 использовалась дуговая лампа высокого давления ДКСШ-200: Схема измерений показана на рис. 1.4.1. Как видно, используются два канала -для регистрации излучения и поглощения. Яркостная температура дуговой лампы составляет -5000 К, что намного превышает температуры за ударной волной, использованные в наших измерениях. Поэтому излучением от исследуемого газа в канале поглощения можно пренебречь. Таким образом, сигнал, получаемый от этого канала, дает информацию о