Особенности импульсного лазерного напыления пленок в фоновом газе

• Автор: Бобренок, Олег Филиппович
• Шифр специальности: 01.04.14
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2010
• Место защиты: Новосибирск
• Количество страниц: 145 с. : ил.

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ

ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ФОНОВОГО ГАЗА НА СТЕХИОМЕТРИЧЕСКИЙ СОСТАВ

МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ ПЛЕНОК ПРИ ИХ ОСАЖДЕНИИ МЕТОДОМ ИЛИ

ВВЕДЕНИЕ

ЛАЗЕРНАЯ АБЛЯЦИЯ

СХЕМА ИМПУЛЬСНОГО ЛАЗЕРНОГО НАПЫЛЕНИЯ ПЛЕНОК

ВОЗНИКНОВЕНИЕ НЕСТЕХИОМЕТРИИ В МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ ПЛЕНКАХ ПРИ ИЛИ, ЗАВИСИМОСТЬ ТОЛЩИНЫ ОТ УГЛА

ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ УСТАНОВКА

ЭКСПЕРИМЕНТ
МЕТОДЫ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СТЕХИОМЕТРИЧЕСКОГО СОСТАВА НАПЫЛЕННЫХ ПЛЕНОК
РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ИЗУЧЕНИЕ УСЛОВИЙ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОСТРУКТУРНЫХ ПЛЕНОК КРЕМНИЯ ЛЮМИНЕСЦИРУЮЩИХ В ВИДИМОМ ДИАПАЗОНЕ
ВВЕДЕНИЕ
КОНЦЕПЦИЯ НАНОМАТЕРИАЛОВ И НАНОСТРУКТУРНЫЕ

ПЛЕНКИ
РОЛЬ КЛАСТЕРОВ ПРИ ПОЛУЧЕНИИ НАНОСТРУКТУРНЫХ ПЛЕНОК НАПЫЛИТЕЛЬНЫМИ МЕТОДАМИ.
ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ УСТАНОВКИ
УСТАНОВКА ИЛН НАПЫЛЕНИЯ ПЛЕНОК
МЕТОДИКА ИЗМЕРЕНИЯ СПЕКТРОВ ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНЦИИ ПЛЕНОК
УСТАНОВКА МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКОЙ ДИАГНОСТИКИ ЛАЗЕРНОГО ФАКЕЛА
МЕТОДИКА АНАЛИЗА МОРФОЛОГИИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛЕНОК ЭКСПЕРИМЕНТ
ПОЛУЧЕНИЕ НАНОСТРУКТУРНЫХ ПЛЕНОК КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ИЛН И ИХ СВОЙСТВА
ИССЛЕДОВАНИЕ ЛАЗЕРНОГО ФАКЕЛА ПРИ АБЛЯЦИИ КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ВРЕМЯПРОЛЕТНОЙ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИИ
РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
НАПЫЛЕНИЕ МЕТАЛЛООКИДНЫХ ПЛЕНОК МЕТОДОМ ИЛН И ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ КИСЛОРОДНОГО ОБМЕНА В ЬаБгСиО ПЛЕНКАХ ПРИ ОКИСЛИТЕЛЬНОВОССТАНОВИТЕЛЬНЫХ РЕАКЦИЯХ НА ПОВЕРХНОСТИ.
ВВЕДЕНИЕ
ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ УСТАНОВКИ ЭКСПЕРИМЕНТ И ОБСУЖДЕНИЕ ГАЗОВЫЙ ДАТЧИК

СРАВНИТЕЛЬНЫЙ АНАЛИЗ МЕТОДОВ ИЛН и СУ О ИСПОЛЬЗУЕМЫХ ДЛЯ НАПЫЛЕНИЯ МЕТАЛЛООКИДНЫХ ПЛЕНОК
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ВЫВОДЫ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
лазерного излучения на мишени 6 Дж/см2 и 18 Дж/см2. Осаждение пленок проводилось при температуре Т = 400°С.
мишень
Держатель подложек с нагревателем
Рисунок 7. Схема эксперимента. Пять подложек находятся в плоскости перпендикулярной лазерному пучку под различными углами
В качестве фонового газа в экспериментах использовался кислород. В ходе экспериментов было получено четыре серии образцов:
1). Напыление с энергией лазерного излучения Е= 90 мДж в импульсе и давлением кислорода £=0,06 Topp - (серия I);
2). Напыление с энергией £=90 мДж и давлением кислорода £=0,3 Topp -(серия П);
3). Напыление с энергией Е= 30 мДж, давление кислорода Р = 0,06 Topp -(серия III);