Доставка любой диссертации в формате PDF и WORD за 499 руб. на e-mail - 20 мин. 800 000 наименований диссертаций и авторефератов. Все авторефераты диссертаций - БЕСПЛАТНО
Шипицын, Дмитрий Святославович
01.04.10
Кандидатская
1999
Москва
132 с. : ил
Стоимость:
499 руб.
ГЛАВА 1. ПРЕДПОСЫЛКИ ДЛЯ СОЗДАНИЯ КВАНТОВОГО
АНАЛОГА КМОП- ТРАНЗИСТОРА
1.1. Гетероструктуры на основе влАя
/. 1.1. Приборы с резонансным туннелированием электронов
1.1.2. Приборы на сверхрешетках
1.1.3. Гетероструктуры с селективным легированием и двумерным
электронным газом
1.2. Омические контакты к гетерострукт урам с квантовыми ям а ми. ..,
1.2.1. Омические контакты к структурам на С а Ах
1.2.2. Омические контакты к отдельным квантовым ямам
1.3. Латеральный транспорт в одноямных структурах
1.4. Эффекты трансформации волновой функции электронов в многоямных
структурах
1.5. Выводы ПО Г ЛАВЕ
ГЛАВА 2. МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ
ГЕТЕРОСТРУКТУР СА(11Ч)А8/АЬСАА8
2.1. Описание установки молекулярно-лучевой эпитаксии ЦНА
2.2. Получение сверхвысокого вакуума
2.3. Материалы для МЛЭ
2.4. Подготовка подложек
(зависит от качества кристалла и его обработки), причем они могут быстро диффундировать в активный слой, выращенный на подложке (например, при 800°С постоянная диффузии достигает 410'^ см^/с).
В настоящее время для изготовления гетероструктур наиболее часто используются подложки с поверхностью в вицинальных плоскостях. Минимальная энергия такой поверхности соответствует серии террас в точной низкоиндексной плоскости, разделенных моноатомными или мономолекулярными ступенями. Основное свойство вицинальной поверхности -это совершенно определенная плотность ступеней или ширина террасы, то есть вицинальная поверхность - это регулярная решетка ступеней и террас. Такая регулярная решетка является закономерной предпосылкой воспроизводимого двумерного роста, который обычно контролируют с помощью метода дифракции отраженных быстрых электронов. Амплитуда осцилляций интенсивности электронного пучка отражает переход от стадии двумерного зарождения к полностью заполненному слою. Если электронный луч направлен вдоль террасы, осцилляции будут наблюдаться только в том случае, если длина миграции адатомов достаточно мала но сравнению с шириной террасы. В связи с этим для каждой ориентации поверхности существует своя критическая температура, при которой длина миграции адатомов достигает ширины террасы. Разориентацию от плоскости (100) можно делать в направлении [110], [110] или [010]. При этом формируются различные структуры ступеней. В результате различаются и критические температуры Тс[ 110]>ТС[010]>ТС[ НО].
Название работы | Автор | Дата защиты |
---|---|---|
Исследование процессов разогрева и ударного размножения носителей заряда, возбуждаемых ИК излучением в полупроводниковых контактных структурах | Амосова, Лариса Павловна | 1999 |
Исследование свойств светоизлучающих эпитаксиальных GaAs структур, содержащих ферромагнитные слои | Дорохин, Михаил Владимирович | 2007 |
Нестехиометрия и дефекты структуры в монокристаллах и пленках ферритов-гранатов, легированных ионами Ca2+ | Читанов, Денис Николаевич | 2013 |