Исследование электрической проводимости наноструктур, образованных адсорбатами I,III групп на поверхности кремния

• Автор: Рыжкова, Мария Валерьевна
• Шифр специальности: 01.04.10
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2008
• Место защиты: Владивосток
• Количество страниц: 127 с. : ил.

Содержание

Введение
Глава 1. Наноструктуры на поверхности кремния и их
влияние на электрические свойства образца
Введение
1.1 Кристаллические и электронные свойства 8і(111)7x7 и 85(100)2x1
1.1.1. 8і(111)7x7
1.1.2. 8і( 100)2x1
1.2 Исследования электрической проводимости нанообъектов
на поверхности
1.2.1. Электрическая проводимость поверхностных фаз на кремнии
1.2.2. Электрическая проводимость при различных перестройках структуры поверхности. Зависимость электрической проводимости от температуры
1.2.3. Электрическая проводимость при наличии дефектов
на поверхности
1.2.4. Проблема сохранения поверхностных фаз при внешних воздействиях
1.2.5. Анизотропия электрической проводимости структур
на поверхности
1.2.6. Электрическая проводимость нанообъектов на поверхности
Выводы

Глава 2. Экспериментальная установка, методы
исследования
Введение
2.1 Экспериментальная установка
2.1.1. Сверхвысоковакуумная камера, термопара и источники
2.1.2. Приготовление образцов
2.2 Методы исследования
2.2.1. Метод дифракции медленных электронов
2.2.2. Четырехзондовый метод измерения электрической проводимости
2.2.3. Другие методы исследования: ДОБЭ, СТМ
Выводы
Глава 3. Электрическая проводимость системы А§-81(111) при понижении температуры. Влияние дефектов на изменения электрической проводимости
поверхностной фазы 81(100)с(4х12)-А1
Введение
3.1 Исследование электрической проводимости поверхностных фаз в системе Ag-Si(l 11) при низкой температуре
3.2 Зависимость электрической проводимости от наличия на
поверхности центров рассеяния носителей заряда
Выводы

Глава 4. Анизотропия электрической проводимости
наноструктур на кремнии
Введение
4.1 Анизотропия электрической проводимости поверхностных фаз индий-кремний(111) при низкой температуре
4.2 Исследование анизотропии электрической проводимости в
системе Си/81(111)
Выводы
Глава 5. Исследование изменений структуры и
электрической проводимости поверхностных фаз при захоронении их слоем неупорядоченного
кремния
Введение
5.1 Влияние состава поверхностных фаз на их стабильность- Ю2
5.2 Электрическая проводимость захороненных
поверхностных фаз
Выводы
Заключение
Библиография

в области пространственного заряда, т.к. нет данных УФЭС об изменениях в электронной структуре при таких перестройках поверхности.
Рис. 1.18 Относительные изменения сопротивления поверхностной фазы Si( 100)2x3 - Na при 180 К по отношению к первоначальному сопротивлению Si(100)2xl как функция от количества предварительно напыленного кремния [35].
1.2,4. Проблема сохранения поверхностных фаз при внешних воздействиях
С исследованием влияния дефектов на проводимость поверхности связана проблема сохранения поверхностных структур при формировании сверху слоев аморфного или эпитаксиального кремния, для того, чтобы сохранить созданную в сверхвысоком вакууме поверхностную структуру при выносе её в атмосферу. Сохранение и разрушение поверхностных фаз изучалось при экспозиции на воздухе [39], при выращивании сверху эпитаксиального кремния [40, 41], при захоронении аморфным кремнием [42 - 45]. Кроме того, предполагается, что со временем удастся создать слоевые структуры, где слой с поверхностной фазой был бы электрически изолирован от слоя с другой поверхностной структурой при помощи буферного слоя вещества, например, аморфного или эпитаксиального кремния. Для решения задачи захоронения поверхностных