Изменения оптических свойств халькогенидных стеклообразных полупроводников системы мышьяк-селен, стимулированные внешними воздействиями

• Автор: Колобов, Александр Владимирович
• Шифр специальности: 01.04.10
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1983
• Место защиты: Ленинград
• Количество страниц: 185 c. : ил

Глава I. ХАЛЬКОГЕНИДНЫЕ СТЕКЛООБРАЗНЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ

(ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР)

1.1. Стеклообразование в халькогенидных системах

и физико-химические свойства ХОД

1.2. Электрические свойства

1.3. Оптические свойства

1.4. Энергетический спектр электронов в ХСП

1.5. Изменения физических и физико-химических свойств ХСП, стимулированные внешними воздействиями

1.6. Заключение. Постановка задачи диссертационной работы

Глава 2. МЕТОДИКА ПРИГОТОВЛЕНИЯ И ОСНОВНЫЕ МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ ЭКСДЕРШЕНТАЛЬНЫХ ОБРАЗЦОВ

2.1. Выбор и синтез стеклообразных материалов и методика приготовления образцов

2.2. Методика исследования процесса фотостимули-рованного изменения свойств ХСП
2.3. Методика исследования влияния давления на величину фотопотемнения
2.4. Методика исследования плазмоструктурных превращении
Глава 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ВОССТАНОВЛЕНИЯ ИСХОДНЫХ СВОЙСТВ В ОБЛУЧЕННЫХ ПЛЕНКАХ ХСП СИСТЕ -МЫ
3.1. Термостимулированное восстановление исходного пропускания в ХСП стехиометрического состава и в ХСП с повышенным содержанием мышьяка

5.4. Термостимулированное потемнение
5.5. Импульсное световое воздействие
Глава 6. СТРУКТУРНЫЕ ПРЕВРАЩЕНИЯ В ХСП, СТИМУЛИРОВАННЫЕ
ГАЗОВЫМ РАЗРЯДОМ
6.1. Изменения свойств ХСП под действием газового разряда
6.2. Экспериментальное изучение воздействия различных энергетических компонент плазмы разряда
на пленки ХСП
6.3. Обсуждение результатов
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА

ния тщательно оточенного образца, образец делился на две части, и обе они нагревались до температуры порядка и выдеркива -лись при этой температуре несколько часов. Затем один из образцов резко охлаждался (закалкой до температуры жидкого азота), а второй охлаждался медленно (за несколько часов), после чего сравнивались спектральные характеристики пропускания закаленно -го и медленно охлажденного образцов.
Важным структурночувствительным параметром является ско -рость растворения материала в различных травителях. йсследова -ние скоростей растворения проводилось на лабораторной установке, принципиальная схема которой приведена на рис.14. Принцип измерения толщины - интерференционный. Зная показатель преломления материала, по положению интерференционных экстремумов можно определить скорость растворения. Для примера на том же рисунке приведена временная зависимость интерсивности света ( = 633 нм),
проходящего через образец , находящийся в 0,5-процентном растворе А'ОН . Образец предварительно был облучен сильно-поглощаемым светом (длина поглощения значительно меньше толщины пленки). Видно, что в начале травления интерференционные экстремумы расположены чаще, затем реже, что соответствует уменьшению скорости травления по мере того, как стравливается облученный слой ХСП и начинает травиться необлученный. На том же рисунке показана зависимость скорости растворения образца от времени, полученная из предыдущего графика.
Представлялось интересным сравнить Ж-спектры свежеприготовленных, отожженных и облученных образцов. Эксперименты проводились с пленками, напыленными на подложки из полистирола, прозрачного в Ж-области спектра. Спектральные характеристики снимались на Ж спектрофотометре ЖС-22 в диапазоне длин волн от 20 мкм до 50 мкм.