Нелокальная кинетика электронов и возбужденные атомы в стратах

• Автор: Козаков, Руслан Вячеславович
• Шифр специальности: 01.04.08
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2002
• Место защиты: Санкт-Петербург
• Количество страниц: 107 с. : ил

Оглавление

1 Обзор литературы

2 Кинетика электронов в Б- и Р- стратах

2.1 Кинетическое уравнение Больцмана

2.2 Релаксация ФРЭ в однородном поле

2.3 Эффект бунчировки электронов в пространственно периодических резонансных стратоподобных полях

2.4 ФРЭ в экспериментально измеренных профилях поля в Б- и

Р-стратах

3 Кинетика возбужденных атомов в стратах

3.1 Метастабильные атомы

3.2 Резонансные атомы

3.3 Сечения прямых и ступенчатых, процессов
3.4 Анализ механизмов возбуждения и ионизации в Б- и Р-стратах.
3.4.1 Прямые процессы
3.4.2 Ступенчатые процессы
3.5 Методы измерений
3.5.1 Поглощающие атомы
3.5.2 Излучающие атомы
3.6 Результаты измерений
3.6.1 Р-страты
3.6.2 Б-страты
3.7 Сопоставление теории и эксперимента . . . .'

4 Экспериментальное исследование двумерной структуры страт
4.1 Экспериментальная установка
4.2 Параметры страт
4.3 Результаты измерений
4.4 Колебаниях плазмы положительного столба при распространении ионизационной волны
5 Заключение

Введение
Исследования неоднородной газоразрядной плазмы приобрели в последнее время особую актуальность в научном и прикладном аспектах ввиду ее широкого применения в разнообразных технологиях и устройствах. Пространственная неоднородность плазмы возникает из-за присутствия в ней электродов, зондов, анализаторов. Неоднородность также может быть связана с наличием поверхностей, ограничивающих плазму, возникновением в ней пространственных структур волнового и колебательного характера.
Разряды такого типа широко применяются в источниках света, лазерах и других газоразрядных устройствах. Подобные разрядные условия используются в емкостных и индукционных высокочастотных разрядах, широко применяющихся в современных плазменных технологиях обработки материалов, травления микросхем и т.п. Пространственно-временные плазменные структуры, наблюдаемые в разряде постоянного тока, характерны и для других типов разрядов и осуществляются в них одновременно с неоднородностями, связанными с наличием внешних высокочастотных полей.
Спецификой разрядов низкого давления является то, что вследствие большого различия длин релаксации электронов по импульсу и энергии при движении электрона в пространственно неоднородном электрическом потенциальном поле его полная энергия почти не изменяется, если размер пространственной неоднородности не превышает длину энергетической релаксации. Структура термов инертных газов с большим энергетическим зазором между основным и первым возбужденным состояниями, и всей совокупностью воозбужденных уровней, прижатой к потенциалу ионизации, приводит к тому, что ускоренные электрическим полем электроны могут пройти большое расстояние прежде, чем они наберут энергию, равную порогу возбуждения
Р-эМайоп
Рис. 2.9: Функция распределения электронов в экспериментально измеренном профиле поля. Случай Р-страг. а - профиль электрического поля; Ь - ФРЭ в плоскости |,ж); с -ФРЭ в плоскости (У, х). Стрелками обозначены резонансные траектории.