Исследование объемной и контрагированной форм высокочастотного емкостного разряда

• Автор: Матюхин, Владимир Дмитриевич
• Шифр специальности: 01.04.08
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1984
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 198 c. : ил

Глава I. Экспериментальная установка, методики измерений

1.1. Экспериментальная установка. Типы газоразрядных систем

1.2. Измерение электрических полей, токов и ВЧ потенциалов в плазме

1.3. Измерение температуры в разряде

1.4. Измерение продуктов плазмохимических реакций

Глава II. Объемный разряд при средних давлениях

2.1. Основные характеристики объемного разряда

2.2. Структура электрического поля в объемном

разряде

2.3. Влияние толщины диэлектрических покрытий

на параметры разряда

2.4. Переход объемной формы ВЧЕ разряда в состояние
с пространственно-неоднородной структурой
2.5. Роль структуры электрического и теплового
поля в поведении ВЧЕ разряда
2.5.1. Модель свободной границы ВЧЕ разряда
2.5.2. Профили электрического поля в объемной
форме разряда
2.5.3. Профили температуры в объемной форме
ВЧЕ разряда
Глава III. Контрагированный разряд при средних давлениях
3.1. Контрагированный разряд на молекулярных и
инертных газах
3.2. Механизм развития канала
3.3. Анализ нелинейных уравнений, описывающих
поведение контрагированного разряда
Глава ІУ. ВЧЕ разряд как плазмохимический реактор . . . J56
4.1. Особенности плазмохимического реактора
на основе ВЧЕ разряда
4.2. Реактор с поперечным продувом контрагированного разряда
4.3. Модель канала разряда как генератора
продуктов реакции
4.4. Реактор с продувом объемного разряда вдоль электрического поля
Заключение
Литература

Низкотемпературная плазма газового разряда широко использует ся для проведения химических реакций, получения потоков активных частиц, создания инверсной заселенности в молекулярных газах и многих других целей. Это связано прежде всего с благоприятными возможностями, которое открываются при плазменном способе активации молекулярной среды. Значительно возрастает эффективность и сокращается многостадийность процессов. Неравновесные условия плазмы газового разряда дают в руки исследователя дополнительные параметры управления, позволяющие улучшить выходные характеристики процесса. Стелет неравновесности плазмы, определяемая отклонением температуры электрс нов Те от газовой температуры Тр будет тем выше, чем больше л относительная величина электрического поля E/N ( KI - концентрация частиц в см3) и чем меньше частота столкновений электронов с молекулами. Отсщда следует, что давление газа будет наиболее существенным параметром, разграничивающим области неравновесноети плазш газового разряда. Условно шжно выделить три таких области. Область сильной

неравновесноети (р=10 - 10 торр) реализуется в плазменно-пучковых разрядах, имеющих степень неравновесноети Те/Тр ~ 10 при степени ионизации плазмы ности Те/Тг~3-5 характерна для разрядных систем, работающих в диапазоне р=30-ь300 торр (гранипц названы условно), степень ионизации Х^ЗЛГГ7 -г ЗЛО-^ - Разряды на атмосферном и выше давлени
имеют слабую степень неравновесноети (Те -*■ Тг, дуговые разряды), которая однако может усиливаться за счет высоких электрических поле: (коронированный разряд, барьерный разряд, объемный ВЧЕ разряд)/5>6/ В каждой из названных областей по давлению преобладает тот или ино: механизм активации молекул газа электронами разряда. В плазменно-пучковом разряде внешний поток электронов возбуждает интенсивные

Рис. 1.23. Схема индикации степени разложения-СО^ с помощью диэлектрической ячейки. I - диэлектрическая ячейка, 2 -колебательный контура 3 - насос, 4 - частотомер, 5 -самописец, б - термостат.
Рис. 1.24. Схема автогенератора.

Рис. 1.25. Зависимость частоты автогенератора от изменения состава газа в диэлектрической ячейке.
Рис. 1.26. Зонд локального отбора проб прдуктов реакции. I - капилляр, 2 - медная трубкаЗзакуумное уплотнение.