Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13,5 нм)
- Автор:
Малыхин, Евдоким Михайлович
- Шифр специальности:
01.04.08
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2011
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
128 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Диссертационная работа «Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13,5 нм)», автор — Малыхин, Евдоким Михайлович, относится к типу: кандидатская диссертация по специальности 01.04.08. Работа подготовлена в городе Москва в 2011 году. Объем работы: 128 с. : ил.. Внутренний код товара: 01004988664. На странице представлены основные сведения о диссертации, включая название, автора, год, город, тип работы и шифр специальности.
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Исследование каталитически активного импульсного СВЧ-разряда атмосферного давления | Смирнов, Роман Викторович | 1999 |
| Структуры и динамика ударных волн в слабоионизированной плазме | Теселкин, Сергей Федорович | 1984 |
| Исследование эрозии катода в отрицательном коронном разряде | Петров, Алексей Алексеевич | 2010 |