Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13,5 нм)
- Автор:
Малыхин, Евдоким Михайлович
- Шифр специальности:
01.04.08
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2011
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
128 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Численная модель DOL и расчеты параметров осесимметричной открытой ловушки | Юров, Дмитрий Викторович | 2016 |
| Вторично-эмиссионная неустойчивость при плазменно-поверхностном взаимодействии | Визгалов, Игорь Викторович | 2017 |
| Магнитное удержание плазмы в ловушках со спадающим полем при самосогласованном поддержании конвективно-устойчивого распределения давления | Цвентух, Михаил Михайлович | 2009 |