Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13,5 нм)
- Автор:
Малыхин, Евдоким Михайлович
- Шифр специальности:
01.04.08
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2011
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
128 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Исследование временных характеристик нейтронного излучения вблизи земной коры | Сигаева, Екатерина Александровна | 2004 |
| Теоретическое изучение нестандартных явлений переноса в плазме | Забурдаев, Василий Юрьевич | 2003 |
| Многоканальный осветитель на основе наносекундного разряда в азоте при атмосферном давлении для диагностики быстропротекающих плазменных процессов | Вовченко, Евгений Дмитриевич | 2004 |