Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13,5 нм)
- Автор:
Малыхин, Евдоким Михайлович
- Шифр специальности:
01.04.08
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2011
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
128 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Влияние элементарных процессов с участием метастабильных частиц на характеристики плазмы тлеющего разряда | Раковец, Александр Александрович | 1985 |
| Формирование долгоживущих светящихся образований при помощи эрозионных плазменных генераторов | Бычков, Андрей Владимирович | 2002 |
| Ионизация и рекомбинация в кластерной плазме при взаимодействии с мощными фемтосекундными лазерными импульсами | Софронов, Алексей Васильевич | 2010 |