Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13,5 нм)
- Автор:
Малыхин, Евдоким Михайлович
- Шифр специальности:
01.04.08
- Научная степень:
Кандидатская
- Год защиты:
2011
- Место защиты:
Москва
- Количество страниц:
128 с. : ил.
Стоимость:
700 р.250 руб.
до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы
Рекомендуемые диссертации данного раздела
| Название работы | Автор | Дата защиты |
|---|---|---|
| Ограничение возбуждённых атомных состояний и столкновительная рекомбинация в неидеальной плазме | Ланкин, Александр Валерьевич | 2010 |
| Численное моделирование физических процессов в инжекторах отрицательных ионов | Соколов, Вячеслав Георгиевич | 1982 |
| Экспериментальное исследование динамики плазменной оболочки в Z-пинчах | Мокеев, Александр Николаевич | 1998 |