Динамика и интенсивность плазменных процессов при воздействии импульсного электронного пучка на газофазные галогениды

• Автор: Сосновский, Сергей Александрович
• Шифр специальности: 01.04.08
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2007
• Место защиты: Томск
• Количество страниц: 154 с. : ил.

ГЛАВА 1. МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОДИСПЕРСНЫХ ПОРОШКОВ И ПЕРСПЕКТИВЫ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ ДЛЯ ЭТИХ ЦЕЛЕЙ СИЛЬНОТОЧНЫХ ПУЧКОВ ЭЛЕКТРОНОВ
1.1. Получение нанодисперсных порошков (литературный
обзор)
1.1.1. Химические методы
1.1.2. Метод электрического взрыва
1.1.3. Плазмохимический метод
1.1.4. Методы синтеза нанодисперсного диоксида кремния
1.2. Перспективы использования сильноточных пучков
электронов
ГЛАВА 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ УСТАНОВКА И ИСПОЛЬЗУЕМОЕ ДИАГНОСТИЧЕСКОЕ
ОБОРУДОВАНИЕ
2.1. Ускоритель ТЭУ-500, конструкция и основные параметры
2.2. Плазмохимический реактор
2.3. Диагностическое оборудование установки
2.3.1. Масс-спектроскопия реагентной смеси и продуктов
реакции
2.3.2. Методы исследования характеристик нанодисперсных
оксидов
2.3.3. Акустический метод контроля реакции

ГЛАВА 3. ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ВОССТАНОВЛЕНИЯ СЕРЫ ИЗ ГЕКСАФТОРИДА СЕРЫ В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЕ ИНИЦИИРУЕМОЙ ИМПУЛЬСНЫМЭЛЕКТРОННЫМ ПУЧКОМ
3.1. Термодинамическое моделирование процесса
восстановления серы из гексафторида серы в условиях низкотемпературной плазмы водорода и азота
3.2. Экспериментальное исследование процесса разложения гексафторида серы в смеси с водородом в условиях плазмы импульсного электронного пучка
3.3. Экспериментальные исследования разложения
гексафторида серы в смеси с азотом в условиях плазмы импульсного электронного пучка
ГЛАВА 4. ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ВОССТАНОВЛЕНИЯ ВОЛЬФРАМА ИЗ ГЕКСАФТОРИДА ВОЛЬФРАМА В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЕ ИНИЦИИРУЕМОЙ ИМПУЛЬСНЫМ ЭЛЕКТРОННЫМ ПУЧКОМ
4.1. Термодинамическое моделирование процесса
восстановления вольфрама из гексафторида вольфрама в условиях низкотемпературной плазмы водорода и азота
4.2. Экспериментальное исследование диссоциации гексафторида вольфрама импульсным электронным пучком
4.3. Измерение энергозатрат электронного пучка на
восстановление вольфрама

4.4. Анализ возможных процессов восстановления вольфрама из \^6 при воздействии электронного пучка
4.5. Модель плазмохимического процесса разложения гексафторида вольфрама импульсным электронным пучком
ГЛАВА 5. ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ВОССТАНОВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА КРЕМНИЯ И УГЛЕРОДА ИЗ ЧЕТЫРЁХХЛОРИСТОГО УГЛЕРОДА В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЕ ИНИЦИИРУЕМОЙ ИМПУЛЬСНЫМ ЭЛЕКТРОННЫМ
ПУЧКОМ
5.1. Термодинамическое моделирование процесса разложения тетрахлорида кремния и четырёххлористого углерода в условиях низкотемпературной плазмы водорода и кислорода
5.2. Разложение тетрахлорида кремния в смеси водородом при воздействии импульсного электронного пучка
5.3. Разложение тетрахлорида кремния в смеси с кислородом и водородом при воздействии имйульсного электронного пучка
5.4. Экспериментальное исследование диссоциации четыреххлористого углерода в смеси с кислородом и водородом под действием импульсного электронного
пучка
Выводы. Заключение

линий масс-спектра, не менее
Чувствительность по аргону, мА/Ра , не менее

Масс-спектрометр использовался для определения состава исходной смеси газов и продуктов реакции при исследовании диссоциации тетрахлорида кремния, гексафторида серы и углеводородов. Гексафторид вольфрама имеет молекулярную массу больше, чем верхний предел масс МХ-7304 и поэтому эксперименты по разложению WF6 проводили без использования масс-спектрометра. Выходной сигнал масс-спектрометра передавался на компьютер через АЦП JIa-7 с гальванической развязкой. Изменение содержания компонент газовой смеси оценивали по изменению площади соответствующего пика.
Для определения состава исходной реагентной смеси углеводородов и продуктов обработки также использовали газовый хроматограф - масс-спектрометр TRACE DSQ (рис.2.10).
Рис. 2.10 Фотография хромато-масс-спектрометра TRACE DSQ