Тлеющий разряд с электростатическим удержанием электронов для генерации плазмы и пучков ускоренных частиц

• Автор: Метель, Александр Сергеевич
• Шифр специальности: 01.04.08
• Научная степень: Докторская
• Год защиты: 2005
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 267 с. : ил.

# Глава 1. Основные результаты исследований тлеющих разрядов

с осциллирующими электронами

1.1. Область и количественная мера эффекта полого катода

1.2. Энергетический спектр электронов, оптические характеристики, влияние температуры катода и неравновесность разрядной плазмы

1.3. Вторичные процессы возбуждения и ионизации

в разряде и в послесвечении, влияние катодного распыления

® 1.4. Отличия разряда с полым катодом в магнитном поле

от магнетронного и отражательного разрядов

1.5. Процессы в катодном слое разряда и его реакция на инжекцию

в полый катод электронов и ионов

1.6. Разряд с разнопотенциальными катодами, роль различных видов электронной эмиссии и пучково-плазменных взаимодействий
1.7. Переход тлеющего разряда в дугу, сверхплотный тлеющий разряд
и колебания в плазме разряда
1.8. Выводы
Глава 2. Влияние потерь энергии эмитированных катодом электронов на характеристики и нижнее рабочее давление разряда
2.1. Столкновительная релаксация энергии быстрых электронов в газе
2.2. Зависимость потерь катодных электронов от геометрических параметров электростатической ловушки
2.3. Анализ траекторий катодных электронов в магнитном поле
2.4. Визуализация траекторий катодных электронов
2.5. Инверсия разряда с цилиндрическим полым катодом в магнитном поле 95 ® 2.6. Электростатические ловушки с переменной толщиной катодного слоя

2.7. Многостержневые электростатические ловушки
2.8. Снижение рабочего давления газа в разряде с катодом-лабиринтом
2.9. Снижение рабочего давления газа в разряде с полым катодом
2.10. Снижение рабочего давления ТРЭУЭ в магнитном поле
ф 2.11. Выводы
Глава 3. Зависимость характеристик ТРЭУЭ от расположения анода, размеров ловушки и ее выходной апертуры
3.1. Положительное анодное падение и двойной электростатический
слой в ТРЭУЭ
3.2. Распад анодной плазмы двойного слоя
® 3.3. Зависимость формы и площади поверхности двойного слоя
от геометрических параметров отверстия ловушки
3.4. Стабилизация эмитирующей электроны поверхности плазмы ТРЭУЭ вблизи отверстия ловушки
3.5. Большие и малые электростатические ловушки
3.6. Выводы
Глава 4. Размножение быстрых электронов в катодном слое разряда
4.1. Отбор быстрых электронов из полого катода закрытой формы
® 4.2. Доля ионизации в катодном слое разряда с цилиндрическим
полым катодом
4.3. Специфические свойства ТРЭУЭ
4.4. Ионизация газа электронами, образованными в катодном слое
4.5. Вольтамперные характеристики и подобие ТРЭУЭ
в среднем диапазоне давления области ЭЭЛ
4.6. Выводы
Глава 5. ТРЭУЭ при значительных потерях энергии эмитированных ® катодом электронов

5.1. Нижнее граничное давление области ЭЭЛ
5.2. Снижение разрядного напряжения при увеличении эмиссии
электронов на катоде
5.3. Сильноточный ТРЭУЭ в нижнем диапазоне давления области ЭЭЛ
# 5.4. Зависимость ТРЭУЭ от состояния газа и катодного распыления
5.5. Особенности ТРЭУЭ с катодным падением потенциала до 30 кВ
5.6. Выводы
Глава 6. Практическое использование результатов исследований
6.1. Электронные пушки с широким плазменным эмиттером
6.2. Плазменно-иммерсионная обработка проводящих подложек
® 6.3. Источники широких пучков быстрых нейтральных молекул
6.4. Универсальные источники широких пучков электронов и быстрых молекул, совмещенных с потоком металлического пара
Заключение
Литература

и, В
І, А
Рис. 32. Вольтамперные характеристики разряда в парах меди с полым катодом-тиглем при температуре тигля 1340 °С (1) и 1480 °С (2).
т,к
Рис. 33. Зависимости температуры Т никелевого полого катода диаметром 8 мм и длиной 50 мм и тока 1 разряда в гелии при давлении 50 Па и постоянном напряжении от времени /.