Граничные эффекты емкостного высокочастотного разряда

• Автор: Савинов, Владимир Павлович
• Шифр специальности: 01.04.08
• Научная степень: Докторская
• Год защиты: 2001
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 331 с. : ил

ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение

Глава I Электрическое поле в граничных областях разряда

1.1 Распределение ВЧ напряжения в разрядном промежутке

1.1.1 Электрическая эквивалентная схема разряда

1.1.2 Методика измерений

1.1.3 Экспериментальные результаты и их анализ

1.1.4 Специфика распределения ВЧ напряжения в асимметричном разряде

1.2 Экспериментальные методы изучения квазистационарного электрического поля

1.2.1 Особенности экспериментального изучения

квазистационарного электрического поля в емкостном ВЧ разряде
1.2.2 Зондовая методика
1.2.3 Бесконтактный метод
1.2.4 Методика управления приэлектродными скачками квазистационарного потенциала
1.3 Зависимость приэлектродного квазистационарного скачка потенциала ГГ , от параметров разряда
1.3.1 Зависимость и, от амплитуды ВЧ напряжения
1.3.2 Зависимость и (от давления газа
1.3.3 Зависимость ГГ. от материала электродов

и рода газа
1.3.4 Частотная зависимость и,( Г)
1.3.5 Скачок потенциала и, в емкостном ВЧ разряде
с внешними электродами
1.4 Характер результирующего электрического полт в
граничных областях емкостного ВЧ разряда
Выводы из главы I
Глава II Транспорт зарядов в приэлектродной области
2.1 Характер движения ионов
2.2 Электронные потоки от электродов в плазму
2.2.1 О присутствии электронов в приэлектродном
слое пространственного заряда
2.2.2 Методика измерения плотности п,„
эмитшрованных электродом электронов
2.2.3 Зависимость концентрации п,0 от ВЧ напряжения У.и тока I, разряда
2.2.4 Экспериментальное изучение приэлектродных
электронных потоков
2.3 Свойства границы “приэлектродный слой пространст венного заряда - плазма”
2.4 Перенос электронов из плазмы на электроды
2.5 Зависимость механизма емкостного ВЧ разряда от транспорта зарядов на электроды
Выводы из главы II

Г лава III Вольт - амперная характеристика емкостного ВЧ
разряда .Одно - и двухэлектродный разряды
3.1 Методика определения и физический смысл во льт-амперной характеристики емкостного ВЧ разряда
3.2 Зависимость вольт-амперной характеристики
от параметров разряда
3.3 “Батарейный эффект” в емкостном ВЧ разряде
3.4 Вольт-амперная характеристика одноэлектродного емкостного ВЧ разряда
Выводы из главы III
Глава IV Приграничные электронные пучки
4.1 Явление возникновения приграничных электронных пучков в емкостном ВЧ разряде
4.1.1 Приэлектродные электронные пучки
4.1.2 Пристеночные электронные пучки
4.2 Методы диагностики электронных пучков
в емкостном ВЧ разряде
4.3 Параметры электронных пучков емкостного ВЧ
разряда низкого давления
4.4 Процессы пространственной и временной релаксации приэлектродных электронных пучков
4.5 Роль электронов пучка в балансе заряженных частиц приэлектродной плазмы
Выводы из главы IV

«горячих» электронов, который в случае разряда в Хе был аномально большим и обусловлен проявлением эффекта Рамзауэра.
С достижением высоких концентраций пс, распределения С (г) приобретали квазимаксвелловский характер. Сравниваются результаты с экспериментами других авторов в центре ЕВЧР, поскольку 1,>с1.
Обсуждаются механизмы, ответственные за формирование полученных ЭЭС.
С учетом больших значений температуры группы «медленных» электронов Т„>1 эВ, следует предположить, что не происходит переход от а - к у -разряду. Последнее объясняется использованными низкими частотами поля, при которых не обеспечивались плотности токов проводимости, аналогичные значениям для «нормального» режима ТРПТ.
Представлены экспериментальные результаты исследования квази-стационарных ЭЭС ранее не изученной плазмы, создаваемой высокоэнер-гетичным электронным пучком от активного электрода в окрестности заземленного электрода асимметричного ЕВЧР. Благодаря значительному увеличению плотности ПЭП в АЕВЧР, удалось зарегистрировать всю вы-сокоэнергетичную часть ЭЭС, вплоть до значений энергии ~ 3 кэВ.
Прослежена эволюция характера ЭЭС данной плазмы при монотонном увеличении приложенного ВЧ напряжения, включая изменение пучкового пика от квазимоноэнергетичного до многократно расплывшегося по полуширине амплитуды. С помощью экспериментально определенных ЭЭС получены плотности электронов, образующих высокоэнергетичную часть спектра.
Приводятся результаты экспериментальных исследований временного хода физических процессов в приэлектродной плазме и его влияния на характер ЭЭС. С помощью энергоанализатора изучено поведение потоков заряженных частиц на заземленный электрод внутри периода ВЧ поля.