Структурообразование и свойства слоев MoS x и a-C, формируемых лазерным импульсным осаждением в условиях низко- и среднеэнергетического ионного облучения

• Автор: Прокопенко, Виталий Борисович
• Шифр специальности: 01.04.07
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1996
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 162 с. : ил.

ГЛАВА I. ОСОБЕННОСТИ СТРУКТУРЫ ОБЪЕМНЫХ МАТЕРИАЛОВ И ТОНКИХ ПЛЕНОК ДИСУЛЬЩЦА МОЛИБДЕНА И УГЛЕРОДА

1.1 Равновесные и метастабшгьные модификации дисульфида молибдена и углерода

1.2 Структура пленок дисульфида молибдена и углерода, формируемых физическим вакуумным осаждением
1.3 Основные физические процессы, протекающие при низко- и среднеэнергетическом ионном облучении пленок

1.4 Особенности метода лазерного импульсного осаждения пленок

1.5 Выводы по обзору литературы и постановка задачи....

ГЛАВА 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ МЕТОДЫ ФОРМИРОВАНИЯ ПЛЕНОК И

МЕТОДИКИ ИССЛЕДОВАНИЯ ИХ ХАРАКТЕРИСТИК..'

2.1. Экспериментальная установка и методы формирования пленок

2.2. Методики исследования сформированных поверхностных структур

ГЛАВА 3. СТРУКТУРООБРАЗОВАНИЕ И СВОЙСТВА ПЛЕНОК МоБ ,

ФОРМИРУЕМЫХ МЕТОДОМ ЛАЗЕРНОГО ИМПУЛЬСНОГО ОСАЖДЕНИЯ В ВЫСОКОМ ВАКУУМЕ
3.1. Влияние плотности энергии лазерного излучения
на скорость осаждения и состав пленок
3.2. Время-пролетные спектры ионов лазерной
плазмы МоЭ2
3.3. Зависимость состава пленок МоЗк от скорости осаждения
3.4. Влияние температуры подложки на состав пленок
3.5. Микроструктура пленок
3.8. Трибологические свойства
3.7. Химическое состояние элементов
3.8. Исследование процессов распыления пленок MoSx ионами лазерной плазмы
3.9. Обсуждение результатов по лазерному импульсному осаждению пленок в высоком вакууме
3.10. Вывода
ГЛАВА 4. СТРУКТУР00БРА30ВАНИЕ И СВОЙСТВА ЕЛЕНОК MoS

ПРИ ЛАЗЕРНОМ ИМПУЛЬСНОМ ОСАЖДЕНИИ В АТМОСФЕРЕ БУФЕРНОГО ГАЗА
4.1. Влияние давления аргона на скорость осаждения
и элементный состав пленок MoS

4.2. Микроструктура пленок
4.3. Трибологические свойства
4.4. Химическое состояние элементов
4.5. Время-пролетные спектры ионов лазерной плазмы
MoSz при ее разлете в буферный газ
4.8. Моделирование процесса лазерного
осаждения в газе
4.7. Обсуждение полученных результатов для пленок MoSx, сформированных в буферном газе
4.8. Выводы
ГЛАВА 5. ИОННОЕ ПЕРЕМЕШИВАНИЕ АТОМОВ И ФОРМИРОВАНИЕ
ХИМИЧЕСКИХ СВЯЗЕЙ НА ГРАНИНЕ ПЛЕНОК MoS/Fe
5.1. Среднеэнергетическое ионное облучение
пленок MoS
5.2 Ионно-стимулированное перераспределение элементов
на границе пленок МоБуГе
5.3 Структуро- и фазообразование на границе МоБх/Ге
5.4. Обсуждение полученных результатов
5.5. Вывода
ГЛАВА 8. СРЕДНЕЭНЕРГЕТИЧЕСКОЕ ИОННОЕ ОБЛУЧЕНИЕ АМОРФНЫХ
УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК, ОСАЖДАЕМЫХ ИЗ ЛАЗЕРНОЙ ПЛАЗМЫ
6.1. Влияние среднеэнергетического ионного облучения
на микроструктуру и оптические свойства а-С пленок
6.2. Механические свойства а-С пленок
6.3. Обсуждение полученных результатов
6.4. Выводы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА

Таблица 3
Расст. от мишени 5 см 15 см
х = S/Mo 1,1 2,2
-2 -1 v, мкг-см -мин 10,5 2,2
следовательно, в интенсивности энерговыделения в тонком поверхностном слое при конденсации. Такие параметры лазерного сгустка, как энергетический спектр и состав потока частиц, можно считать примерно равными. Поэтому процессы физического распыления конденсата высокоэнергетичной составляющей потока должны протекать одинаково на подложках, расположенных на удалении 5 и 15 см от мишени.
3.4. ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ ПОДЛОЖКИ НА СОСТАВ ПЛЕНОК
Если формирование состава пленок контролируется параметрами макроуровня, то можно ожидать температурной зависимости этого состава. Для исследования влияния температуры провели лазерное осаждение пленок MoSx при различных температурах подложки - выше и ниже комнатной. Расстояние от испаряемой мишени MoS2 до кремниевых подложек составляло 5 см. Плотность энергии лазерного излучения выбиралась с учетом реализации следующих режимов ЛЙО: с
наивысшими скоростями осаждения