Количественная катодолюминесцентная микроскопия прямозонных материалов полупроводниковой оптоэлектроники

• Автор: Степович, Михаил Адольфович
• Шифр специальности: 01.04.07
• Научная степень: Докторская
• Год защиты: 2003
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 351 с. : ил

СОДЕРЖАНИЕ

ВВЕДЕНИЕ

1. КАТОДОЛЮМИНЕСЦЕНТНАЯ МИКРОСКОПИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ

И ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ

1.1. Расчет пространственного распределения потерь

^ энергии электронами пучка в твердом теле

1.2. Распределение генерированных электронным

пучком неосновных носителей заряда

1.3. Моделирование процесса генерации катодолюминесцентного излучения

1.4. Экспериментальная реализация методов катодолюминесцентной микроскопии
и их использование для изучения полупроводников
1.5. Выводы и постановка задачи исследования
2. РАССЕЯНИЕ ЭНЕРГИИ ЭЛЕКТРОННЫМ ЗОНДОМ В КОНДЕНСИРОВАННОМ ВЕЩЕСТВЕ
2.1. Физические принципы, положенные в основу математической модели рассеяния энергии электронным зондом в конденсированном веществе
2.2. Некоторые возможности уточнения модели
2.3. Аппроксимация распределений потерь энергии широким электроным пучком в конденсированном веществе
2.4. Выводы
РАСПРЕДЕЛЕНИЕ НЕОСНОВНЫХ НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА В РЕЗУЛЬТАТЕ ИХ ДИФФУЗИИ В ПОЛУПРОВОДНИКЕ
3.1. Модель коллективного движения неосновных носителей заряда
3.1.1. Основы спектрального метода решения уравнения диффузии при использовании классических многочленов Лагерра
3.1.2. Матричный метод решения уравнения диффузии при использовании
модифицированных функций Лагерра
3.1.3. Некоторые возможности интегрального метода наименьших квадратов при численном решении уравнения диффузии
3.2. Модель независимых источников
3.3. Сравнение результатов расчетов, проведенных
с использованием различных моделей
3.4. Выводы
МОДЕЛИРОВАНИЕ ЗАВИСИМОСТИ ИНТЕНСИВНОСТИ МОНОХРОМАТИЧЕСКОЙ КАТОДОЛЮМИНЕСЦЕНЦИИ ОТ ЭНЕРГИИ ЭЛЕКТРОНОВ ПУЧКА
4.1. Линейная рекомбинация неосновных носителей заряда .
4.2. Катодолюминесценция полупроводников в условиях высокого уровня возбуждения
4.3. Общий подход к описанию катодолюминесценции прямозонных полупроводников
4.4. Выводы
МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ КАТОДОЛЮМИНЕСЦЕНЦИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ
5.1. Экспериментальная установка
5.2. Оптимизация измерений и обработки
экспериментальных данных. Теоретические
основы метода
5.2.1. Алгоритм решения задачи
5.2.2. Подавление грубых ошибок измерения
5.2.3. Сглаживание случайных погрешностей измерения и построение приближенной непрерывной функции
5.2.4. Точность метода
5.2.5. Устранение систематической погрешности измерений. Оценка точности
5.3. Оптимизация измерений и обработки
спектров катодолюминесценции
5.4. Применение разработанного метода
в катодолюминесцентной микроскопии
5.5. Выводы
ОБ ИСПОЛЬЗОВАНИИ ИНТЕРПОЛИРОВАНИЯ
С НАИМЕНЬШЕЙ ПОГРЕШНОСТЬЮ
В КАТОДОЛЮМИНЕСЦЕНТНОЙ МИКРОСКОПИИ
6.1. Идея метода
6.2. Оценка возможностей метода в задаче
идентификации диффузионной длины
неосновных носителей заряда
6.2.1. Решение задачи при отсутствии ограничений на значения погрешностей измеряемых величин
6.2.2. Определение диффузионной длины в условиях ограничений на значения погрешностей экспериментальных точек
) 9 статей опубликовано в изданиях, не указанных в перечне ВАК:
— 2 статьи опубликовано в журнале ’’Электронная техника. Материалы” — это журнал министерства электронной промышленности СССР, издавался до 1992 г.;
— 5 статей опубликовано в различных российских периодических научно-технических сборниках (’’Труды МГТУ им. Н.Э.Баумана” и др.);
— 2 статьи опубликовано в зарубежных изданиях.