Наноразмерная модификация поверхности полупроводников и металлов зондом атомно-силового микроскопа

• Автор: Щеглов, Дмитрий Владимирович
• Шифр специальности: 01.04.07
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2004
• Место защиты: Новосибирск
• Количество страниц: 149 с.

1. СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ- МЕТОД ИССЛЕДОВАНИЯ И МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ

1.1. Высокоразрешающие методы анализа и модификации структуры поверхности

1.1.1. Методы диагностики и модификации поверхности корпускулярными пучками

1.1.2. Фотоиндуцированная модификация поверхности

1.1.3. Изменение свойств поверхности направленными пучками заряженных частиц

1.2. Диагностика свойств поверхности твердотельным зондом

1.2.1. Профилометрия и туннельная микроскопия

1.2.2. Сканирующая микроскопия регистрации атомных сил

1.3. Преобразование структуры поверхности твердотельным зондом

1.3.1. Изменение свойств поверхности полупроводников и металлов посредством вызванного зондом локального анодного окисления

1.3.2. Общая модель окисления Вагнера и процессы естественного окисления

1.3.3. Модели Кабреры и Мотта
Выводы и постановка задач
2. АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ
2.1. Основные принципы метода атомно-силовой микроскопии
2.2. Режимы взаимодействия иглы атомно-силового микроскопа с исследуемой поверхностью
2.2.1. Вибрационные и модуляционные методики
2.2.2. Система позиционирования зонда и система детектирования сигнала
2.2.3. Кантилевер - зонд атомно-силового микроскопа
2.3. Методы математического анализа изображений поверхности,
полученных атомно-силовой микроскопией
2.3.1. Тір-зффект
Результаты и выводы
3. ЛОКАЛЬНОЕ АНОДНОЕ ОКИСЛЕНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ЗОНДОМ АТОМНО-СИЛОВОГО МИКРОСКОПА
3.1. Локальное анодное окисление поверхности Бі, ОаАэ
3.2. Особенности локального анодного окисления зондом СЗМ
3.3. Особенности зондового окисления тонких пленок титана и тонких
пленок кремния в системе кремний-на-изоляторе
Выводы
4. ОПТИМИЗАЦИЯ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ЗОНДОМ АТОМНО-СИЛОВОГО МИКРОСКОПА
4.1. Физические аспекты взаимодействия иглы с поверхностью в
присутствии воды
4.2. Электрическое поле в системе зонд-поверхность
4.3. Латеральные размеры
4.4. Влияние механического напряжения
4.5. Механическая модификация поверхности зондом атомно-силового
микроскопа
4.6. Модификация поверхности ваАв иБі
4.7. Локальное анодное окисление поверхности при повышенном анодном
потенциале
4.8. Комплексная модификация поверхности полупроводников
Выводы
5. ОСОБЕННОСТИ ЗОНДОВОЙ НАНО ЛИТОГРАФИИ
5.1. Режимы зондовой нанолитографии
Режим ручного управления зондом во время окисления
5.2. Артефакты и погрешности изображений атомно-силовой микроскопии
5.2.1. Механические и электронные шумы
5.3. Влияние шероховатости
5.4. Наноразмерные структуры на поверхности гетероструктур АЮаАз/ОаАз
5.5. О совершенстве наноструктур, полученных локальным анодным окислением иглой АСМ
Выводы
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ
Список использованной литературы:

Рис. 9. Сила взаимодействия зонда АСМ с поверхностью в зависимости от расстояния [63].