Гетероструктуры поликристаллический алмаз/кремний: тепловые свойства структуры и модификация кремния при осаждении алмаза

• Автор: Аминев, Денис Фагимович
• Шифр специальности: 01.04.07
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2010
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 96 с. : ил.

Содержание.
Введение
Глава 1. Химическое осаждение алмаза из газовой фазы. Характеризация гетероструктур СУО-алм аз/кремний.

§1.1. Принципы осаждения алмаза из газовой фазы

§1.2. Плазмо-химическое осаждение алмаза

§1.3. Подготовка поверхности кремниевой подложки перед

осаждением алмаза

§ 1.4 Характеризация гетероструктуры СУВ-алмаз/кремний

при помощи электронной микроскопии

§1.5. Рентгеноструктурный анализ пленок

§1.6. Выводы

Глава 2. Тепловые свойства структуры СУВ-алмаз/кремний. §2.1. Теоретические представления о тепловых свойствах
твердых тел; фононы
§2.1.1 Теплоемкость и теплопроводность; понятие фонона.
§2.1.2. Граничное тепловое сопротивление

§2.2. Некоторые методы экспериментального определения коэффициента теплопроводности
§2.2.1. Метод стационарного теплового потока
§2.2.2. Лазерный флеш метод
§2.2.3. Метод определения тепловых параметров многослойных структур
§2.3. Экспериментальные исследования тепловых параметров структуры СТ)-алмаз/
§2.3.1. Предварительные измерения граничного теплового сопротивления при
комнатной температуре
§2.3.2. Тепловые параметры слоев и границ раздела в структурах кремний-на-
алмазе
§2.3.3. Тепловое сопротивление границы в структуре кремний-на-алмазе при температуре 80 К
§2.4. Выводы
Глава 3. Фотолюминесценция подложек кремния до и после осаждения СУБ-алмазных пленок.
§3.1. Введение
§3.2. Краткие сведения о технике эксперимента в методике тепловых импульсов

§3.3. Отражение акустических фононов от границы кремний/
СУ1)-алмаз
§3.4. Фотолюминесценция кремниевых подложек
§3.5. Выводы
Заключение
Благодарности
Приложение
Список публикаций по теме диссертации
Список цитируемой литературы

чем со стороны более холодного. При этом в дебаевском приближении при малых потоках тепла можно показать, что скачок температуры на границе сред есть [2.10]:
АТ = — (2.9)

Где АТ - скачек температуры, <2 - поток тепловой энергии
(2.10)
і * 'ч~
Л лу,-2.г 15 Й3 4" 1,1 м ,
Г 1,з вычислены численно и в виде таблиц приведены в работе [2.11 ]
В настоящее время выполнено большое количество измерений граничного теплового сопротивления между твердыми телами (см. например обзор [2.10]). Оказалось, что реально наблюдаемые значения граничного теплового могут заметно отличаться от величин, даваемых (2.10). Это объясняется в значительной степени рассеянием фононов на интерфейсе двух тел, которое становится особенно существенным при высоких температурах.
§2.2. Некоторые методы экспериментального определения коэффициента теплопроводности.
§2.2.1. Метод стационарного теплового потока.
Этот метод является самым наглядным и простым в интерпретации. На торец образца прикрепляется источник тепла (например, резистор), своими размерами близкий к. площади поперечного сечения образца, мощность источника постоянна. Таким образом, в образце создается стационарный однородный поток тепла. Для отвода тепла противоположный нагревателю торец образца закреплен на термостате. Прн помощи термометров, закрепленных на одной грани образца, определяется температурный градиент (Тг - ТО/Ь , где Ь - расстояние между термометрами. И в соответствии с