Формирование наноструктурированных антифрикционных тонкопленочных покрытий MoSex(Ni,C) методом импульсного лазерного осаждения

• Автор: Романов, Роман Иванович
• Шифр специальности: 01.04.07
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2011
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 130 с. : ил.

Содержание
ВВЕДЕНИЕ
1. СТРУКТУРООБРАЗОВАНИЕ И ТРИБОЛОГИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ ДИХАЛЬКОГЕНИДОВ ПЕРЕХОДНЫХ МЕТАЛЛОВ ПРИ ИОННО-ПЛАЗМЕННОМ ОСАЖДЕНИИ. ОСОБЕННОСТИ ЛАЗЕРНЫХ МЕТОДОВ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ
1.1. Тенденции развития и совершенствования антифрикционных и износостойких покрытий для высокотехнологичных отраслей промышленности
1.2. Особенности ионно-плазменного осаждения, реализуемые наноструктуры и свойства тонкопленочных покрытий дихалькогенидов переходных металлов
1.3. Особенности импульсного лазерного осаждения покрытий дихалькогенидов переходных металлов, влияние газовой среды на свойства эрозионного факела
1.4. Обоснование выбора объекта и направления исследований
2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЙ ЛАЗЕРНЫЙ МЕТОД ФОРМИРОВАНИЯ КОМПОЗИТНЫХ ПОКРЫТИЙ, МЕТОДИКИ ИССЛЕДОВАНИЯ ЛАЗЕРНО-ИНИЦИИРОВАННОГО ПОТОКА ВЕЩЕСТВА И СВОЙСТВ ПОКРЫТИЙ
2.1. Введение
2.2. Экспериментальная установка для импульсного лазерного осаждения композитных покрытий на основе диселенида молибдена
2.3. Исследование динамических характеристик потока вещества при абляции мишеней МоБе2 и графита
2.4. Измерение сечений рассеяния атомов Мо и Бе на атомах аргона
2.5. Методики исследования состава, структурно-фазовых характеристик и трибологических свойств сформированных покрытий
3. ИМПУЛЬСНОЕ ЛАЗЕРНОЕ ОСАЖДЕНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ

Мове,ПОКРЫТИЙ
3.1. Введение
3.2. Химический состав МоБех покрытий и его распределение по поверхности подложки при варьировании условий ИЛО
3.3. Структурно-фазовое состояние тонкопленочных МоБех покрытий
3.4. Свойства тонкопленочных Мо8ех покрытий
3.5. Выводы
4. ИМПУЛЬСНОЕ ЛАЗЕРНОЕ ОСАЖДЕНИЕ МНОГОСЛОЙНЫХ И

КОМПОЗИТНЫХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИИ Мо8ех(№)-С
4.1. Введение
4.2.Трибологические свойства многослойных и композитных

Мо8ех(1Чі)-С покрытий
4.3. Структурно-фазовые характеристики композитных Мо8ех(ЕЛ)-С

покрытии
4.4. Выводы
5. МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ИМПУЛЬСНОГО ЛАЗЕРНОГО ОСАЖДЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ ДИСЕЛЕ НИ ДА
МОЛИБДЕНА
5.1. Введение
5.2. Описание математической модели движения лазерного факела из Мо8е2 мишени в газовой среде заданного состава и давления
5.3. Расчет основных физических характеристик осаждаемого атомарного потока при формировании Мо8ех(№)-С покрытий
5.4. Анализ процессов, определяющих формирование химического состава и структурного состояния покрытий на основе диселенида
молибдена при импульсном лазерном осаждении
5.5. Выводы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

МоБеДТОКРЫТИЙ
3.1. Введение
3.2. Химический состав Мо8ел. покрытий и его распределение по поверхности подложки при варьировании условий ИЛО
3.3. Структурно-фазовое состояние тонкопленочных МоБе, покрытий
3.4. Свойства тонкопленочных Мо8ех покрытий

3.5. Выводы
4. ИМПУЛЬСНОЕ ЛАЗЕРНОЕ ОСАЖДЕНИЕ МНОГОСЛОЙНЫХ И КОМПОЗИТНЫХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ Мо8ех(№)-С
4.1. Введение
4.2.Трибологические свойства многослойных и композитных

Мо8ех(~№)-С покрытий
4.3. Структурно-фазовые характеристики композитных Мо8ех(№)-С

покрытии
4.4. Выводы
5. МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ИМПУЛЬСНОГО ЛАЗЕРНОГО ОСАЖДЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ ДИСЕЛЕНИДА
МОЛИБДЕНА
5.1. Введение
5.2. Описание математической модели движения лазерного факела из МоБег мишени в газовой среде заданного состава и давления
5.3. Расчет основных физических характеристик осаждаемого атомарного потока при формировании Мо8ех(№)-С покрытий
5.4. Анализ процессов, определяющих формирование химического состава и структурного состояния покрытий на основе диселенида
молибдена при импульсном лазерном осаждении
5.5. Выводы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

распределением по скоростям, но все они двигались в хвосте ЛП. Скорость их была меньше 4-106 см/с, в то время как скорость ионов алюминия от 2 до 16-106 см/с.
1.4. Обоснование выбора объекта и направления исследований.
Легирование ДПМ-материалов металлами (Л, №, Сг) или углеродом позволяет увеличивать твердость и износостойкость покрытий, уменьшать влияние окружающей среды. Однако влияние режимов ИЛО на состав, структуру и свойства таких покрытий почти не изучены.
Можно заключить, что процесс ИЛО в буферном/фоновом газе изучался как экспериментально, так и теоретически. Для математического моделирования процесса применялась либо теория газодинамики, либо статистические методы Монте-Карло в зависимости от давления газа. Однако влияние буферного газа на процесс ИЛО ДПМ-пленок глубоко не изучено, несмотря на то, что этот метод позволяет получать пленки с хорошими свойствами. Для детального изучения импульсного лазерного испарения данных материалов необходимо совершенствование экспериментальных методов. А для определения характеристик атомов в потоке осаждающегося вещества, таких как энергетические и угловые распределения, необходимо привлечение моделирования. Эти данные позволят рассчитать процесс распыления, который, вероятно, определяет химический состав покрытия, и отношение числа смещений на атом - важный параметр, определяющий структуру. Это даст возможность оценить факторы, влияющие на трибологические свойства покрытий ДПМ.