Формирование огранки и кристаллической структуры кремния, выращенного методом бестигельной зонной плавки

• Автор: Фрицлер, Константин Бернгардович
• Шифр специальности: 01.04.07
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2012
• Место защиты: Новосибирск
• Количество страниц: 149 с. : ил.

Содержание
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА1. Анализ моделей роста и механизмов формообразования кристаллов кремния, полученных методом БЗП

1.1. Метод бестигельной зонной плавки

1.2. Морфология монокристаллов кремния, полученных методом бестигельной зонной плавки

1.3. Обзор некоторых теорий роста кристаллов

1.4. Кристаллохимическая модель роста кристаллов С. А Строителева

Формулировка задач диссертации

ГЛАВА 2. Морфологические признаки форм роста

2.1 Реберные выступы октаэдра, ромбического додекаэдра и тетрагонтриоктаэдра

2.2 Раздвоение и криволинейная форма реберных выступов
2.3 Взаимодействие основных морфологических элементов, одновременная реализация различных гранных форм
2.4 Воздействие вибрации на форму реберных выступов
Выводы по главе
ГЛАВА 3. Взаимосвязь между формами роста и структу рным состоянием
монокристаллов
3.1. Переогранка в процессе роста на конической части монокристалла
3.2. Факторы, способствующие введению дислокаций
3.3. Двойникование кристаллов БЗП кремния
3.4. Генерация дислокаций по механизмам скольжения и переползания. Влияние дислокаций на форму реберных выступов
Выводы по главе
ГЛАВА 4. Влияние условий роста на морфологию поверхности и
электрофизические параметры монокристаллов БЗП кремния
4.1. Образование наростов на поверхности монокристаллов

4.2. Методика исследования распределения времени жизни неравновесных носителей заряда
4.3. Измерение времени жизни неравновесных носителей заряда т на кристаллах с наростами
4.4. Модель возникновения осцилляций времени жизни неравновесных носителей заряда
Выводы по главе
Основные результаты и выводы по диссертации
Список литературы

Основные использованные сокращения
БЗП - бестигельная зонная плавка ПК - поликристалл МК - монокристалл
ПНГ - полосы наклонных граней {111}
РВ - реберный выступ
ННЗ -неравновесные носители заряда
Основные использованные обозначения
а - критерий устойчивости Джексона;
ДНщ - удельная теплота плавления;
Тт - температура плавления;
ДБ - энтропия плавления;
И - газовая постоянная;
Кт5- критерий морфологической устойчивости Маллинза- Секерки; к] - теплопроводность жидкой фазы;
V - скорость кристаллизации;
в - температурный градиент на фронте кристаллизации
К - критерий устойчивости плоского идеального гладкого фронта роста Салли - Фалькевича; Р - давление, обусловленное силой поверхностного натяжения; о - коэффициент поверхностного натяжения;
Н - высота реберного выступа;
Б - ширина реберного выступа;
Я) и Кг - радиусы кривизны двух взаимно перпендикулярных нормальных сечений поверхности жидкости;
Яокт - радиус кривизны криволинейных поверхностей, ограниченных плоскостями {111};
Брд - радиус кривизны криволинейных поверхностей, ограниченных плоскостями {НО};
Расплав
Рис.1.10. Расположение фасеток на фронте кристаллизации [20].