Нанотекстурированные пленки дисульфида и диселенида вольфрама с фотоактивными свойствами

• Автор: Божеев, Фараби Есимович
• Шифр специальности: 01.04.07, 05.17.11
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2014
• Место защиты: Томск
• Количество страниц: 141 с. : ил.

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ПОЛУЧЕНИЕ, СТРУКТУРА И ФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК ДИСУЛЬФИДОВ И ДИСЕЛЕНИДОВ ВОЛЬФРАМА
1.1 кристаллическая структура
1.2 Оптические и электронные свойства
1.3 Фотоактивные свойства
1.4 Получение нанокристаллических пленок дисульфидов и диселенидов вольфрама
1.4.1 Магнетронное напыление
1.4.2 Реактивное магнетронное напыление
1.4.3 Кристаллизация аморфных пленок
1.4.4 Модель кристаллизации аморфной пленки с участием промоутера
Заключение по первой главе
ГЛАВА 2. ПРИБОРЫ И МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТОВ
2.1 Установка реактивного магнетронного напыления
2.2 Рентгеновский анализ
2.3 Сканирующая электронная микроскопия
2.4 Энергодисперсионный анализ
2.5 Просвечивающая электронная микроскопия
2.6 Резерфордовское обратное рассеяние
2.7 Оптические измерения
2.8 Измерение напряжения пленки методом кантилевера
2.9 Измерение фотопроводимости
2.10 Измерение электрических свойств
2.11 Метод Холла
2.12 Фотоэлектрохимическая ячейка
Заключение по второй главе
ГЛАВА 3. КРИСТАЛЛИЗАЦИЯ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК ДИСУЛЬФИДА ВОЛЬФРАМА
3.1 Влияние давления газа на напряжение пленки вольфрама и сульфида вольфрама
3.2 Кристаллизация пленок дисульфида вольфрама с Ьй-промоутером
3.2.1 Рентгеновский анализ структуры пленок АУ82:№
3.3.2 Морфология поверхности пленок АУ82:1АЙ
3.3 Кристаллизация пленок дисульфида вольфрама с Рй-промоутером
3.3.1 Рентгеновский анализ структуры пленок АУ82:Рй
3.3.2 Морфология пленок АУ82:Рй
3.3.3 Элементный анализ пленки \Т32:Рй
3.4 Оптические свойства пленок У
3.5 Фотоактивные свойства пленок АУ
3.6 Механизм кристаллизации пленок У
3.7 Фотокаталитические свойства пленки АУ
Заключение по третьей главе
ГЛАВА 4. КРИСТАЛЛИЗАЦИЯ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК ДИСЕЛЕНИДА ВОЛЬФРАМА
4.1 Стехиометрия пленок селенида вольфрама
4.2 Кристаллизация пленок диселенида вольфрама с N1- и Рй- промоутером
4.2.1 Рентгеновский анализ структуры пленок У8е
4.2.2 Кривые качания пленок WS
4.2.3 Морфология пленок WSe2:Pd
4.2.4 Элементный анализ пленок WSe2:Pd
4.2.5 Микроструктура пленок WSe2:Pd
4.3 Оптические свойства пленок WSe2:Pd
4.4 Фотоактивные свойства пленок WSe
4.5 Подвижность и концентрация носителей заряда пленок WSe2:Pd
4.6 Кристаллизация пленок WSe2:Pd на обратном контакте TiOxNy/Si02/Si
4.7 Травление частиц промоутеров из пленки WSe
4.8 Фотокаталитические свойства пленки WSe
Заключение по четвертой главе
ВЫВОДЫ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
ПРИЛОЖЕНИЕ А

Рисунок 1.13 - Фазовая диаграмма У-8 [48]
1.4.4 Модель кристаллизации аморфной пленки с участием промоутера
Из экспериментальных данных литературного обзора можно схематически вывести модель процесса кристаллизации с участием промоутера никеля (рисунок 1.14). Первое, что нужно отметить, пленка \^83+х должна быть аморфной, чтобы предотвратить спонтанное формирование большого количества зерен ^82. Поэтому пленки ^83+х должны напыляться при температуре ниже 100 °С. В условиях равновесия эвтектическая температура системы N1-8 равна 637 °С [49]. При температурах выше температуры эвтектики жидкая фаза №8Х способствует быстрой кристаллизации У82. Согласно модели, сульфид вольфрама У83+Х растворяется в жидких каплях промоутера М8Х. Капли перенасыщаются