Спектроскопическое исследование фторуглеродной плазмы

• Автор: Халтурин, Виктор Григорьевич
• Шифр специальности: 01.04.05
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1985
• Место защиты: Пермь
• Количество страниц: 148 c. : ил

Оглашіение
1. Низкотемпературная фторуглеродная плазма и
спектроскопические методы ее диагностики
І.І. Фторуглеродная плазма - как частный случай
плазмы с химическими реакциями
1.2 Методы диагностики плазмы
1.3 Спектрально-оптические методы диагностики
плазмы с химическими реакциями
1.4 Диагностика фторуглеродной плазмы
2. Экспериментальное исследование спектров фторуглеродной плазмы
2.1 Экспериментальная установка
2.2 Спектр фторуглеродной плазмы
2.3 Методика отождествления спектров на примере радикалов С А/ И
2.4 Термодинамический расчет состава плазмы
2.5 Оценка ошибок, возникающих при спектроскопических измерениях
3. Экспериментальное определение температуры
неравновесной фторуглеродной плазмы
3.1 Определение вращательной температуры
3.1.1 Использование эмиссионных спектров и СМ
для определения вращательной температуры
3.1.2 Аномалии в спектрах и сМ
3.2 Определение колебательной температуры
плазмы
3.2.1 Эмиссионные спектры с2 и сн и их
использование для определения колебательной температуры частиц

3,2.2 Аномалии в колебательной структуре
спектров радикалов <°2. и СМ и щ; причины
3.3 Определение электронной температуры плазмы
и связанные с этим трудности
3.4 Определение поступательной температуры
4, Отождествление спектра фторуглеродной плазмы
4.1 Эмиссионный спектр
4.2 Эмиссионные спектры радикалов С2Р и С2Р2
Выводы
Литература
Приложение

Вввдение
Одним из наибсшее молодых и перспективных направлений в промышленности и в науке является плазмохимия, начало развития которой можно отнести к пятидесятым-шестидесятым годам. Плазмохимия - это не только химия плазмы, это также физика низкотемпературной плазмы, в которой протекают химические реакции. Такая плазма является неравновесной и неоднородной по своему составу. Протекание быстрых химических реакций ставит много проблем, связанных с диагностикой такой плазмы. Под диагностикой будем понимать определение состава плазмы в разных температурных зонах, определение неравновесных температур и некоторых параметров плазмы.
Задачи исследования плазмохимических процессов можно подразделить на три класса. Первое, - это технические задачи, которые сводятся к созданию соответствующей аппаратуры. Второе, - это задачи химические: определение констант скоростей реакций и определение их зависимости от различных параметров. И, наконец, третий класс, - это задачи физические: изучение процессов, происходящих в плазме, описание их параметрами, которые могли бы использоваться в технологии получения продуктов с целью оптимизации процессов.
Следует отметить, что основной способ определения параметров быстропротекающих химических процессов - это спектрально-оптический. Следовательно, нужно прежде всего знать спектры радикалов, существующих и образующихся в плазме. К сожалению, данных в литературе о спектрах фторуглеродных радикалов недостаточно, поэтому в данной работе нам приходилось производить расшифровку спектров, еще не описанных в мировой литературе или описанных недостаточно полно. Это относится прежде всего к эмиссионным спектрам многоатомных молекул, таким как CF^ , 62^ и . Ддя неков аргоновой луге, заженной между графитовыми электродами. На рис. показана К - ветвь. Стрелка показывает отсутствующую линию ^ =46.
А/"
Как. видно из рисунка, линия =50 является также аномальной.