Исследование микроструктур и границ раздела методом генерации второй оптической гармоники

• Автор: Майдыковский, Антон Игоревич
• Шифр специальности: 01.04.05
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2011
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 118 с. : ил.

Оглавление

Оглавление
Введение
Глава I
Генерация второй оптической гармоники: способы описания и экспериментальные методики
1. Общее феноменологическое описание генерации второй гармоники в средах с квадратичной нелинейностью
1.1. Генерация второй гармоники в регулярных средах
2. Анизотропия второй гармоники и её связь с симметрией кристалла
2.1. Квадратичный нелинейно-оптический отклик неоднородных структур
3. Нелинейно-оптические методы исследования тонких пленок
3.1. Нелинейный магнитооптический эффект Керра
3.2. Генерация электроиндуцированной второй гармоники
на поверхности полупроводников
4. Цели и задачи диссертации
Глава II
Конфокальная лазерная микроскопия второй оптической гармоники единичных полупроводниковых микроструктур и пористого кремния
1. Конфокальная микроскопия
1.1. Описание общих принципов конфокальной микроскопии
Оглавление

2. Конфокальная микроскопия второй гармоники микроструктур
на основе Оа1пР/ОаАэ
2.1. Экспериментальная установка конфокальной микроскопии второй гармоники
2.2. Микроскопия и спектроскопия второй оптической гармоники единичных полупроводниковых микроструктур
на основе СаІпР/СаАз
2.3. Обсуждение полученных результатов
3. Конфокальная микроскопия второй гармоники слоистых микроструктур на основе пористого кремния
3.1. Пористый кремний
3.2. Нелинейно-оптических свойств пористого кремния
3.3. Структура слоистых образцов из пористого кремния
3.4. Экспериментальная установка
3.5. Картирование поверхности скола пористого кремния методом конфокальной микроскопии второй гармоники
на отражение
3.6. Анализ источников сигнала второй гармоники в структуре пористого кремния
4. Выводы по второй главе
Глава III
Исследование механизмов генерации второй гармоники на границе раздела кремний-оксид кремния при малых упругих деформациях растяжения
1. Проблемы кремниевой технологии связанные с механическими
напряжениями
1.1. Структура поверхности кремния с естественным оксидом
Оглавление
2. Методы исследования деформаций в кремнии: постановка задачи
3. Экспериментальная установка для исследования генерация второй гармоники от пластины кремния при ее упругом деформировании
3.1. Методы создания механических деформаций в полупроводниках
3.2. Экспериментальная установка для нелинейно-оптической характеризации Si/Si02 при деформации растяжения
4. Экспериментальные результаты
4.1. Измерение второй оптической гармоники индуцированной упругими деформациями растяжения на границе Si/Si
5. Выводы по третьей главе
Глава IV
Генерация второй оптической гармоники в пленках железоиттриевого граната, допированного висмутом, при остаточных напряжениях
1. Основные свойства феррит-гранатов
1.1. Висмут-содсржащие железоиттриевые гранаты
1.2. Остаточные деформации в эпитаксиальных пленках, методы их исследования
2. Экспериментальная установка
3. Пленки железоитриевого граната
3.1. Химический состав и параметры изготовления образцов
4. Экспериментальные результаты
4.1. Первичная характеризация пленок железоиттриевого граната
Глава 2. Конфокальная микроскопия

ее высокому разрешению и контрасту, является изучение структур биологических организмов с высоким пространственным разрешением на частоте накачки или 'частоте люминесцентного отклика. Однако, интерес представляет перенос уже наработанных за последние 30 лет методов исследования с помощью генерации ВГ на отражение в область локального зондирования объектов с микронными размерами, и интерпретации результатов с учетом конкретных морфологических, структурных, особенностей исследуемых объектов. Микроскопия ВГ успешно применялась для визуализации доменных стенок [34], доменной структуры в магнитных пленках гранатов,фотоннокристаллических волноводов [35], ферроэлек-тических доменов в кристаллах с периодической полировкой [36].
В данной главе сделана попытка одновременного использования двух методик конфокальной микроскопии, с одной стороны, и метода генерации ВГ на отражение, с другой, для изучения нелинейно-оптических свойств полупроводниковых микроструктур и пористого кремния с латеральным разрешением на уровне нескольких микрон.
Целью данной главы является развитие методики конфокальной микроскопии второй оптической гармоники на отражение. Получение изображений полупроводниковых микроструктур на частоте В Г, а также исследование нелинейно-оптических свойств слоистых структур из пористого кремния с высоким латеральным разрешением.