Исследование электронно-оптических свойств электростатических полей близких к однородному и цилиндрическому, разработка энерго-масс-анализаторов

• Автор: Ашимбаева, Багила Умарбаевна
• Шифр специальности: 01.04.04
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1984
• Место защиты: Алма-Ата
• Количество страниц: 155 c. : ил

ГЛАВА I, ФОКУСИРУЮЩИЕ СВОЙСТВА ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОГО

ЗЕРКАЛА С ПОЛЕМ БЛИЗКИМ К ОДНОРОДНОМУ

Глава II. ФОКУСИРУЮЩИЕ СВОЙСТВА ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОГО

ЗЕРКАЛА С МОДИФИЦИРОВАННЫМ ПОЛЕМ

Глава III. ИССЛЕДОВАНИЕ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ СИСТЕМЫ НА ОСНОВЕ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИХ ЗЕРКАЛ СФЕРИЧЕСКОГО И ЦИЛИНДРИЧЕСКОГО ТИПА

3.1 Исследование электронно-оптических свойств комбинированной системы I

3.2 Исследование электронно-оптических свойств комбинированной системы П

ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА

• ВВЕДЕНИЕ
В исследованиях поверхности твердого тела широкое распространение получили методы электронной спектроскопии,основан “ яые на энергетическом анализе электронов, эмитируемых и рас -свиваемых изучаемым материалом под действием возбуждающих излучений. Оже-электронная спектроскопия (ОЭС), электронная спектроскопия для химического анализа (ЭСХА), спектроскопия потерь энергии электронами (СПЭЭ) являются сейчас наиболее чувствительными инструментами исследования химического состава и электронных состояний в тонких приповерхностных слоях различных материалов /1-3/.
Для регистрации распределения заряженных частиц по энергии используются спектрометры, основным анализирующим элементом которых является энергоанализатор. Известны энергоанали -заторы бездисперсионные, в которых применяются задерживающие электростатические поля, и дисперсионные - с магнитными или электростатическими системами отклонения /4-8/. Принцип дей -ствия бездисперсионных анализаторов состоит в определении энергии заряженных частиц по максимальной высоте потенциаль -ного барьера, который эти частицы преодолевают, двигаясь в тормозящем электрическом поле. Основной недостаток метода задерживающего поля состоит в том, что с его помощью можно получать лишь интегральный вид энергетического спектра. Работа дисперсионных энергоанализаторов основана на свойстве магнитных и электростатических полей отклонять и фокусировать пучки частиц в зависимости от их импульса и энергии.
Наиболее совершенными приборами для изучения энергетических спектров электронных потоков малых и средних энергий явяяются дисперсионные энергоанализаторы с электростатическими системами отклонения. Хорошие электронно-оптические пара -метры этих приборов позволяют с высокой точностью и большой чувствительностью регистрировать энергетические распределения в пучках заряженных частиц. В исследованиях поверхности твердого тела методами вторичной электронной спектроскопии (БЭС) чаще других используются электростатические эяергоанализаторы с отклоняющими пучки ПОЛЯМИ.
Основным элементом электростатического энергоанализатора отклоняющего типа является конденсатор, представляющий собой систему электродов, на которые поданы соответствующие потен -циалы, обеспечивающие определенную закономерность в пространственном распределении анализирующего поля. Существует два типа электростатических отклоняющих энергоанализаторов: дефлек -торные и зеркальные. В дефлекторных анализаторах осевая траектория анализируемого пучка лежит на одной из эквипотенциальных поверхностей отклоняющего поля и движение заряженных частиц по осевой траектории осуществляется с постоянной кинетической энергией. В зеркальных анализаторах заряженные частицы движутся под некоторым углом к системе эквипотенциальных поверхнос -тей отклоняющего поля, которое тормозит или ускоряет пучок заряженных частиц, изменяя направление так, чтобы частицы испы -тывали отражение. Известно несколько тйпов электростатических дефлекторов, отличающихся конфигурацией электродов: секторный цилиндрический конденсатор Юза-Рожанекого, сферический анализатор, состоящий из двух концентрических полусфер, анализатор с отклоняющими электродами тороидальной формы /6/. Большое распространенна получили электростатические энергоанализаторы на основе зеркал плоского, сферического и цилиндрического типа.

&l4üZ 7 опт. еЭ.
Рис,17 Зависимость аберрационной функции А£ от А 6> . /?, = 0.5, fyz = 0.
I - SA = 0, 2 - SÀ = -0.1, 3 - SÀ = -0.4,
4 - Х4 = -0