Исследование разряда в скрещенных полях в неоне

• Автор: Сасин, Антон Владимирович
• Шифр специальности: 01.04.04
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2010
• Место защиты: Петрозаводск
• Количество страниц: 97 с. : ил.

Содержание:
Глава

Обзор литературы. Постановка задачи и структура диссертации

Введение

1.1 Обзор литературы

1.2 Цель, задачи и структура диссертационной работы

Глава

Методика исследования и экспериментальная установка

Введение

2.1 Зондовый метод диагностики плазмы

2.2 Установка для зондовых измерений.параметров плазмы

2.3 Градуировка измерительной установки
2.4 Проверка градуировки
2.5 Зондовые измерения в магнитном поле
2.6 Погрешности измерений
2.7 Оптическая установка для измерения радиального хода интенсивности излучения
2.8 Установка для определения диаметров интерференционных колец
2.9 Установка для определения показателя преломления тонких пленок
2.10 Измерение температуры в газоразрядном промежутке
Глава
Структура магнетронного разряда постоянного тока при различных полярностях электродной системы
Введение
3.1 Разрядный макет и условия измерения
3.2 Общее описание разряда и распределение потенциала
3.3 Группа медленных электронов
* 3.4 Функции распределения электронов с промежуточной энергией
3.5 Оценка толщины катодного слоя

Глава
Исследование функции распределения ионов в прикатодной области
Введение
4.1 Результаты эксперимента
4.2 Движение ионов в прикатодной области и их функция распределения
4.3 Интерпретация эксперимента
4.4 Функция распределения ионов по энергиям (ФРИЭ)
4.5 Оценка средней энергии ионов, падающих на катод
Глава
Формирование тонких пленок в разряде в скрещенных полях
Введение
5.1 Получение тонких пленок в разряде в скрещенных полях
5.2 Построение модели получения тонких пленок
Заключение
Список литературы:

Глава
Обзор литературы. Постановка задачи и структура диссертации Введение
Разряд в скрещенных электрических и магнитных полях существует при достаточно низких давлениях, когда самостоятельность разряда обеспечивается не только наличием электрического, но и магнитного поля. Последнее обеспечивает достаточную эффективность ионизаций газа электронами за счет увеличения времени пребывания электронов в разрядном промежутке. При некоторых условиях этот тип разряда можно рассматривать как разновидность классического тлеющего разряда [1, 2, 3, 4, 5].
Первоначально интерес к разряду в скрещенных полях был обусловлен возможностью создания различного рода устройств, способных служить «выключателями» в электрических цепях больших мощностей. В связи с этим, основное внимание было обращено на изучение пробойных характеристик этого типа разряда, скорости восстановления электрической прочности, мощности рассеивания и т.д. [6, 7, 8, 9].
В последние годы интерес к указанному типу разряда связан со следующими обстоятельствами. Во-первых, в большинстве случаев такие разряды являются трехмерными, что по существу затрудняет обработку результатов эксперимента. Простейшей формой разряда в скрещенных полях являются разряды цилиндрической геометрии, в которых холловский ток замкнут. Геометрия в них сводится к двумерной, что значительно упрощает анализ. Во-вторых, использовались гидродинамические модели [10, 11], которые являются неадекватными для описания такого рода разряда, особенно при низких и средних давлениях. Для анализа и понимания структуры таких разрядов, в первую очередь для. описания электронной компоненты, необходимо применение кинетической нелокальной теории тлеющего разряда.

2.6 Погрешности измерений
Погрешности зондовых измерений.
Вопрос о погрешностях определения функции распределения электронов по энергиям неоднократно обсуждался в работах [50, 52]. Рассмотрим кратко основные источники этих погрешностей.
Погрешности, возникающие при определении функции распределения электронов по энергиям, можно разделить на две группы.
К первой относятся те, которые обусловлены особенностями измерительной установки:
- конечной шириной полосы пропускания регистрирующей системы,
- нелинейностью усилительного тракта,
- наличием второй гармоники в дифференцирующем сигнале,
- ошибкой измерения амплитуды дифференцирующего и калибровочного сигналов.
Обычно суммарная погрешность от всех перечисленных выше факторов обычно не превышает 10%.
Ко второй группе погрешностей можно отнести те погрешности, которые свойственны самому методу определения функции распределения и которые связаны со следующими причинами:
- конечностью величины амплитуды дифференцирующего сигнала,
- влиянием второй производной ионного тока,
- влияние загрязнения поверхности зонда,
- влияние вторичной эмиссии электронов с поверхности зонда;
- влияние эффекта стока электронов на зонд.
Анализ всех систематических погрешностей, присущих методу и экспериментальной установке, показывает, что погрешность измерения функции распределения электронов по энергиям в разряде со скрещенными полями в неоне составляет величину не более 20% во всем рассматриваемом диапазоне энергий электронов.