Взаимодействие потоков электронов и легких ионов со слоисто-неоднородными мишенями

• Автор: Афанасьев, Виктор Петрович
• Шифр специальности: 01.04.04
• Научная степень: Докторская
• Год защиты: 2003
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 270 с. : ил.

СОДЕРЖАНИЕ
Введение
Г лава 1. Метод инвариантного погружения в задачах
рассеяния атомных частиц в плоскопараллельных мишенях
1.1. Отражение электронов от полубесконечных мишеней
1.2. Отражение мегаэлектронВольтных электронов от
поверхности твердого тела
Глава 2. Потери энергии электронов и легких ионов в
твердых телах
2.1 Потери энергии электронов при их движении в твердом теле
2.1.1. Введение
2.1.2 Метод инвариантного погружения в неупругих задачах
2.1.3 Односкоростное приближение в задачах расчета
электронных потерь энергии
2.2. Функция пропускания: т~
2.3. Функция пропускания: х>1 и т»
2.4. О потерях энергии легкими ионами
Глава 3. Упругая задача, распределение рассеянных
плоскопараллельными слоями электронов и легких ионов по длинам пробегов
Глава 4. Рассеяние легких ионов в однородных мишенях и
слоисто-неоднородных средах
4.1 Рассеяние легких ионов в однородных средах
4.1.1 Нормальное падение ионов на мишень

Содержание
4.1.2. Рассеяние ионов под скользящими углами
4.1.3. Рассеяние атомных частиц, учитывающее зависимость
сечений от энергии
4.1.4. Результаты расчета энергетических спектров легких
ионов рассеянных в однородных средах
4.1.5. Энергетические спектры легких ионов рассеянных в
однородных средах, связь с существующими теориями
4.1.6 Энергетические спектры легких ионов рассеянных в однородных средах, область малых потерь энергии.
«Пик упруго отраженных ионов» или «поверхностный пик», как правильно?
4.2 Рассеяние легких ионов в слоистых средах
4.2.1. Полные коэффициенты отражения энергии и частиц от
слоистых мишеней
4.2.2. Энергетические спектры ионов, отраженных от мишеней
с островковым покрытием
Глава 5. Распыление слоисто-неоднородных поверхностей
легкими ионами. Эффект "зеркала"
Глава 6. Рассеяние электронов в слоисто-неоднородных средах. Область малых потерь энергии.
Спектроскопия Характеристических Потерь
Энергии
6.1 Электронная спектроскопия характеристических потерь
энергии (на прострел)
6.2 Электронная спектроскопия характеристических потерь
энергии (на отражение)
6.3. Спектры ОХПЭ. Влияние угла рассеяния на форму
распределения отраженных электронов по длинам пробега в мишени
6.3. Спектроскопия характеристических потерь энергии
электронов, рассеянных под скользящими углами
Глава 7. Спектроскопия отраженных электронов для
послойного и компонентного анализа мишеней

Содержание
7.1. Спектроскопия электронов отраженных от многослойных
мишеней
7.1.1. Отражение от слоев конечной толщины
7.1.2. Отражение электронов от двухслойных мишеней
7.2. Спектроскопия электронов отраженных от многослойных
поверхностей, Низкое разрешение энергоанализатора,
плохой вакуум
7.2.1. Экспериментальное определение послойного состава
мишеней путем расшифровки ДД СЭ
7.3. Отражение электронов килоэлектронВольтных энергий от
многослойных поверхностей, высокий безмаслянный
вакуум
7.3.1. Экспериментальные данные по энергетическим спектрам электронов, отраженных от однородных и многослойных мишеней. Теоретическая интерпретация
Заключение
Литература
Труды Афанасьева В.П

Глава 1. Метод инвариантного погружения.
Рис. 1.3. ДДС НОЭ. Мишени А1 (1), Си (2), 9 = 150°, £0=1,75 кэВ, пунктир — расчет, сплошные -эксперимент [59].
Рис. 1.4. Энергетические спектры электронов, отраженных в единичный телесный угол от массивного РГобразца. Сплошные линии- эксперимент [23]; штриховые - расчет (1.65); £о=30 кэВ, зондирующий пучок электронов нормален поверхности мишени; угол рассеяния: 1 - 97°, 2 — 117°, 3 — 137°