Экспериментальная установка для исследования вакуумно-плазменных процессов обработки кварца

• Автор: Ветошкин, Владимир Михайлович
• Шифр специальности: 01.04.01
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2009
• Место защиты: Ижевск
• Количество страниц: 142 с. : ил.

Оглавление

Список сокращений и обозначений

Введение

Г лава 1. Плазменные процессы травления и обработки кварца

1.1. Классификация методов травления и обработки материалов с использованием низкотемпературной газоразрядной плазмы

1.2. Вакуумно-технические параметры травления материалов

1.3. Сравнительный анализ различных методов травления

1.3.1. Ионно-плазменное травление

1.3.2 Ионно-лучевое травление

1.3.3. Реактивное ионно-плазменное и реактивное ионно-лучевое травление

1.3.4. Плазменное травление

1.4. Особенности построения оборудования для реализации процессов вакуумного плазменного травления
1.4.1. Требования к вакуумным огкачным средствам
1.4.2. Особенности построения реакторов для реализации ВПТ
1.5. Особенности ВПТ кварца 31 Глава 2. Оборудование для травления и обработки кварца
2.1. Установка для высокоскоростного травления кварца
2.1.1. Базовая установка травления
2.1.2. Модернизация установки травления
2.2. Установка для проведения процессов ионно-плазменного и ионно-лучевого травления и обработки кварца
Глава 3. Приборы контроля газовой среды и изменения ее состава,
методики измерения скорости травления, шероховатости поверхности кварца при ВПТ
3.1 Устройство для утилизации хлорсодержащих газов
3.2. Методы контроля травления и обработки кварца

3.2.1. Контроль скорости травления
3.2.2. Методика измерения скорости травления кварца
3.2.3. Контроль параметров поверхности кварца после
обработки в плазме
3.2.4. Методика измерения шероховатости кварца
Глава 4. Особенности вакуумного плазменного травления кварца
4.1. Необходимость разработки методов ВПТ кварца
4.2. Моделирование процессов травления кварца
4.3. Локальное ВЧ магнетронное реактивно-ионное травление кварца
4.4. Особенности ионно-лучевого травления кварца в аргоне
и среде фтор- и хлорсодержащих газов
4.4.1. Ионно-лучевое травление в хлорсодержащих газах
4.4.2. Реактивное ионно-лучевое травление в среде С?4
4.4.3. Ионно-лучевое травление в среде Аг 94 Глава5. Влияние ионно-плазменной и ионно-лучевой
обработки кварца на его шероховатость
5.1. Шероховатость. Методы уменьшения шероховатости
5.2. Фрактальные параметры
5.3. Влияние ИЛТ на шероховатость поверхности кварца
5.4. Зависимость шероховатости и фрактальности поверхности кварца
от среды проведения ИПТ
Основные научные результаты и выводы
Список публикаций по теме диссертации
Литература
Приложения

Список сокращений и обозначений
НГП - низкотемпературная газоразрядная плазма
ИТ- ионное травление
ПХТ - Плазмохимическое травление
РТ- радикальное травление
ИХТ - ионно-химическое травление
РИПТ - реактивное ионно-плазменное травление
РИЛТ- реактивное ионно-лучевое травление
ИЛТ- ионно-лучевое травление
ХМИЛТ - химически модифицированное ионно-лучевое травление ВПТ - вакуумное плазменное травление (2рг - расход газа

Выводы по первой главе
Методы ВГ1Т обладают рядом существенных преимуществ по сравнению с традиционными жидкостными методами травления:
1. Наиболее перспективные из ВПТ являются методы ПТ, РИПТ и РИЛТ, обеспечивающие высокие скорости травления, анизотропность при ПТ и селективность при РИПТ и РИЛТ.
2. Диодные реакторы целесообразно использовать для реализации процессов ПТ и РИЛТ. Магнитное поле увеличивает скорость травления и уменьшает напряжение автосмещения.
3. Для повышения воспроизводимости и производительности процессов травления реактор установки должен иметь шлюзовую загрузку.
4. Для обеспечения РИЛТ целесообразно использовать ионные источники с безнакальным катодом.
5. Для увеличения ресурса работы откачных средств необходимо использовать нейтрализаторы непрореагирующих откачных газов и продуктов реакции.
Исходя из вышеизложенного, можно сформулировать задачи, которые должны быть решены при выполнении данного диссертационного исследования:
1. Разработать оборудование и технологию ионно-лучевого и ионноплазменного травления и полировки кварца;
2. Разработать устройство утилизации хлорсодержащих газов, используемых в плазмохимических процессах.