+
Действующая цена700 499 руб.
Товаров:
На сумму:

Электронная библиотека диссертаций

Доставка любой диссертации в формате PDF и WORD за 499 руб. на e-mail - 20 мин. 800 000 наименований диссертаций и авторефератов. Все авторефераты диссертаций - БЕСПЛАТНО

Расширенный поиск

Разработка тонкопленочных сорбентов и микроэлектронных химических сенсоров на их основе для контроля содержания вредных и токсичных газов в атмосфере

  • Автор:

    Сорокин, Святослав Игоревич

  • Шифр специальности:

    05.27.06

  • Научная степень:

    Кандидатская

  • Год защиты:

    1998

  • Место защиты:

    Москва

  • Количество страниц:

    155 с. : ил.

  • Стоимость:

    700 р.

    499 руб.

до окончания действия скидки
00
00
00
00
+
Наш сайт выгодно отличается тем что при покупке, кроме PDF версии Вы в подарок получаете работу преобразованную в WORD - документ и это предоставляет качественно другие возможности при работе с документом
Страницы оглавления работы


СОДЕРЖАНИЕ

ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. Анализ существующих методов и средств измерения концентрации вредных и токсичных газов
1.1. Классификация методов и средств измерения концентрации активных газов и их сравнительный анализ
1.2. Резистивные газовые сенсоры
1.2.1. Сенсоры на основе неорганических металлооксидных полупроводников
1.2.2. Сенсоры на основе органических полупроводников
1.2.3. Сенсоры на основе электропроводящих полимеров
1.2.4. Термокаталитические сенсоры
1.2.5. Сорбционно-импедансные сенсоры
1.3. Электрохимические сенсоры
1.4. Сенсоры на основе эффекта поля
1.4.1. Сенсоры на основе МДП-структур
1.4.2 Сенсоры на основе диодов Шоттки
1.5. Сенсоры на основе приборов чувствительных к измене-
нениям массы
1.5.1 Сенсоры на основе объемных механических волн (пьезосорбционные сенсоры)
1.5.2. Сенсоры па основе поверхностных акустических волн
1.6. Тенденции и перспективы развития сенсоров для контроля состава газов
1.7.Свойства и строение гетерополисоединений как перспективных материалов чувствительных элементов газовых
сенсоров
1.8. Проводящие полимеры - перспективные материалы чувствительных слоев газовых сенсоров
Выводы по Главе 1
ГЛАВА 2. Разработка и исследование технологии формирования тонкопленочных активированных сорбентов сложного
состава для микроэлектронных газовых сенсоров
2.1. Материалы, оборудование и методы, использованные при разработке технологии получения тонкопленочных сор-

бентов на основе активированных пленок сложного состава
2.1.1. Материалы, методики и технологическое оборудование для получения активированных гетерополисоединениями сорбционных пленок диоксида кремния методом гидролитической поликонденсации растворов тетраэтокси-
силана
2.1.2. Материалы, методики и технологическое оборудование для получения активированных гетерополисоединениями пленок полианилина методом анодной окислительной электрополимеризации
2.1.3. Методы исследования состава и свойств активированных сорбционных пленок
2.1.3.1. Вторичная ионная масс-спектроскопия
2.1.3.2. Электронная спектроскопия
2.1.3.3. ИК-спектроскопия
2.1.3.4. Дифференциальный термический анализ
2.1.3.5. Определение адсорбционных характеристик сорбента
2.1.3.6. Эллипсометрия
2.2. Исследование процессов получения активированных гетерополисоединениями пленок диоксида кремния методом гидролитической поликонденсации растворов на основе тетраэтоксисилана
2.2.1. Сущность метода гидролитической поликонденсации растворов на основе тетраэтоксисилана
2.2.2. Состав и свойства пленкообразующих растворов на
основе тетраэтоксисилана
2.2.3. Исследование процессов, протекающих при нанесении
раствора на подложку
2.2.4. Исследование состава и свойств активированных гетерополисоединениями пленок диоксида кремния
2.2.4.1. Исследование химического состава матрицы диоксида кремния, активированной гетерополисоединениями
2:18 ряда
2.2.4.2. Исследование термической стабильности активированных гетерополисоединениями пленок диоксида кремния
2.2.4.3. Исследование влияния температуры термообработ-
ки на толщину и коэффициент преломления пленок диоксида кремния, активированных ГПС 2:18 ряда
2.2.5. Исследование изотерм адсорбции пленок диоксида
кремния, активированных гетерополисоедипениями 2:18 ряда
2.3. Исследование процесса получения модифицированных гетерополисоединениями пленок полианилина методом электрохимической окислительной полимеризации
2.3.1. Сущность метода электрохимической окислительной полимеризации
2.3.2. Исследование химического состава матрицы ПАН, модифицированной ГПС 2:18 ряда
2.3.3. Исследование влияния кислотности исходного раствора на свойства модифицированных ГПС 2:18 ряда пленок полианилина, полученных методом анодной окислительной электрополимеризации
2.3.4. Исследование влияния числа циклов анодной окислительной электрополимеризации на свойства пленок ПАН, модифицированных ГПС 2:18 ряда
2.3.5. Исследование влияния концентрации гетерополисоединения на процесс формирования модифицированных ПАН
пленок методом анодной окислительной электрополимеризации
2.3.6. Исследование влияния потенциала формирования на окислительно-восстановительное состояние модифицированных ГПС 2:18 ряда ПАН пленок
2.3.7. Исследование влияния типа кислоты на свойства модифицированных ГПС 2:18 ряда пленок ПАН, полученных методом анодной окислительной электрополимеризации
2.3.8. Исследование влияния типа мономера на свойства модифицированных ГПС 2:18 ряда пленок ПАН, сформированных методом анодной окислительной электрополимеризации
2.3.9. Исследование влияния гетерополисоединений на свойства пленок ПАН, сформированных методом анодной окислительной электрополимеризации
2.3.10. Исследование влияния различных активных сред на свойства модифицированных ГПС 2:18 ряда пленок ПАН, полученных методом анодной окислительной электрополиме-

в первом случае измеряется зависимость полной емкости от приложенного напряжения (С-V-характеристика), из которой, используя известные
[18,89] соотношения, определяют сдвиг напряжения плоских зон, который в общем случае (без учета влияния изменений газовой среды) зависит от разности работ выхода электрона из металла и полупроводника, удельного электрического заряда на границе раздела "полупроводник-диэлектрик " и удельной емкости диэлектрика МДП-структуры. Во втором случае используется эффект изменения концентрации носителей в приповерхностной области полупроводника, вызывающий модуляцию проводимости инверсионного слоя между областями стока и истока МДП-транзистора. Характерным параметром в данном случае является пороговое напряжение.
Известно [18,89], что МДП-структуры, электрод которых выполнен из переходных металлов ( Pd, Pt ), изменяют свои характеристики под воздействием активных газов. При этом в МДП-конденсаторах наблюдают сдвиг С-V-характеристики вдоль оси напряжений без изменения ее формы [18,89], а в МДП-транзисторах - изменение порогового напряжения и сдвиг вольт-амперных характеристик, что наблюдается при введении в атмосферу водорода у МДП-структур с Pd затвором [89]. Предполагается, что на его поверхности протекает каталитическая реакция диссоциации молекул водорода на атомы, которые затем растворяются в Pd и под действием градиента концентрации диффундируют к границе раздела Pd-SiC>2 с образованием дипольного слоя, появление которого вызывает изменение напряжения плоских зон и порогового напряжения МДП-структуры [89]. Сенсоры водорода на основе МДП-структур могут определять содержание водорода в атмосфере в диапазоне 1-500 ppm.
МДП-сенсоры могут быть использованы для определения моиооксида углерода и аммиака в атмосфере [89-94].
Разработаны сенсоры, чувствительные к NH3 и NOx, на основе МДП-транзистор с двухслойным диэлектриком, верхний слой которого изготовлен из модифицированных силикатов [18].
Для определения сероводорода используется [84] р-канальный МОП-транзистора с Pd затвором.
Имеются сообщения о попытках создания многофункциональных газовых сенсоров, в которых на одной подложке изготовлена газочувствительная матрица для контроля содержания различных газов

Рекомендуемые диссертации данного раздела

Время генерации: 0.142, запросов: 967