Модели синтеза устройств ориентации полупроводниковых пластин в условиях воздействия встречных газовых потоков

• Автор: Назина, Людмила Ивановна
• Шифр специальности: 05.13.16, 05.13.01
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2000
• Место защиты: Воронеж
• Количество страниц: 229 с.

ВВЕДЕНИЕ •
Глава 1. СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИИ ВОПРОСОВ ПРОЕКТИРОВАНИЯ
УСТРОЙСТВ ДЛЯ ОРИЕНТИРОВАНИЯ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН В ПРОИЗВОДСТВЕ ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
1Л. Тенденции развития оборудования для литографической обработки полупроводниковых пластин
1.2. Анализ конструкций существующих устройств ориентации
1.3. Теоретические предпосылки создания устройств ориентации
1.4. Цель и задачи исследования
Глава 2. ИССЛЕДОВАНИЕ ДИНАМИЧЕСКИХ И КИНЕМАТИЧЕСКИХ
ХАРАКТЕРИСТИК ВРАЩЕНИЯ И ОРИЕНТИРОВАННОЙ ОСТАНОВКИ ПЛАСТИН НА ОСНОВНЫХ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ОПЕРАЦИЯХ
ФОТОЛИТОГРАФИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА
2.1. Ориентирование полупроводниковых пластин на пневмовихревых центрифугах
2.2. Моделирование гидродинамических характеристик нестационарной несущей прослойки и динамики движения пластины на воздушной прослойке в условиях ее формирования неоднородно расположенными соплами
2.2.1. Математическая модель несущей воздушной прослойки
2.2.2. Моделирование вращения пластины на вихревой прослойке

2.3. Исследование влияния расходных и конструктивных параметров устройства на характеристики воздушной прослойки

2.4. Исследование точности ориентации пластин встречными воздушными струями
Глава 3. МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПОВЕДИ ГИЯ ПЛАСТИН В УСТРОЙСТВЕ ОРИЕНТИРОВАНИЯ НА ВСПОМОГАТЕЛЬНЫХ ОПЕРАЦИЯХ
ФОТОЛИТОГРАФИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА
3.1. Устройства ориентации на вспомогательных операциях
3.2. Определение условий бесконтакного зависания пластины на несущей воздушной прослойке
3.3. Моделирование поступательного движения пластины по наклонному пневмоконвейеру с неравномерным расположением сопел
3.4. Моделирование вращательного движения на позиции ориентации

Глава 4. МЕТОДИКА И ТЕХНИКА ЭКСПЕРИМЕНТОВ
4.1. Техника экспериментов
4.2. Методика экспериментов и обработки экспериментальных данных

Глава 5. ПРАКТИЧЕСКОЕ ИСПОЛЬЗОВАНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ИССЛЕДОВАНИЯ
5.1. Методика инженерного расчета
5.1.1. Методика инженерного расчета устройства пневмовихревого центрифугирования с ориентированной остановкой пластин

5.1.2. Методика инженерного расчета устройства межоперационно-го транспортирования с ориентированной остановкой пластин
5.2. Примеры расчета

5.2.1. Пример расчета устройства пневмовихревого центрифугирования с ориентированной остановкой пластин
5.2.2 Пример расчета устройства межоперационного транспортирования с ориентированной остановкой пластин
5.3. Промышленное использование устройств ориентации
ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ
ЛИТЕРАТУРА
ПРИЛОЖЕНИЕ

слойке. Как отмечалось в первой главе, в работах [105, 48, 3] было рассмотрено движение пластины в условиях воздействия на нее струй воздуха, наклоненных к поверхности устройства под одинаковым углом и соединенных с пневмокамерой разгона. В проектируемых устройствах с ориентированной остановкой пластины для изменения угловой скорости вращения используются встречные воздушные струи. Воздействие на пластину встречных воздушных потоков приводит к изменению закономерности движения, следовательно, необходимо провести исследование зависимости изменения угловой скорости вращения, а также угла поворота пластины во времени.
Уравнение движения пластины после подключения камеры торможения к пневмомагистрали на основании исследований [105, 48, 3] может быть записана следующим образом:
I ^ = Мвр 1 ~Мвр2 — Мсопр > (2-16)
где Мвр2 - момент от сил динамического воздействия струй воздуха из камеры торможения на поверхность пластины.
Момент Мвр2 определяется аналогично (1.9)
Мвр2 — Р(22^-с2
( О2 со$ а Лс2&>
^с22^ 2 у
(2.17)
где Яс2 - радиус окружности расположения сопел; гс2 - диаметр сопел.
Уравнение движения в условиях поддува воздуха из сопел, соединенных с пневмокамерами разгона и торможения и наклоненных в противоположные стороны, запишется в виде
— -Ь2со-Ь3а>2, (2.18)