Использование распределенного ВЧ генератора для возбуждения низкотемпературной плазмы в протяженном реакторе

• Автор: Чипурнов, Сергей Алексеевич
• Шифр специальности: 05.09.10
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 1999
• Место защиты: Новосибирск
• Количество страниц: 154 с. : ил.

- 2 -СОДЕРЖАНИЕ

Основные обозначения
Введение
Глава
Реакторы промышленных ВЧ генераторов плазмы
§1.1. Основные положения
§ 1.2. Индукционные и емкостные методы возбуждения

1.2.1. Трансформаторная эквивалентная схема замещения индукционного разряда
1.2.2. Электрическая эквивалентная схема
замещения емкостного разряда
§1.3. Гибридные плазмотроны
§ 1.4. Протяженный плазменные реакторы
§ 1.5. Заключение
Г л а в а
Генераторы низкотемпературной плазмы
§ 2.1. Общие положения
§ 2.2. Источники энергии для ВЧ плазмотронов
§ 2.3. Емкостные генераторы плазмы
§ 2.4. Индукционные генераторы плазмы
§ 2.5. Гибридные генераторы плазмы
§ 2.6. Заключение
- З -Глава З
Многочастотный распределенный ВЧ плазмотрон на базе УРУ
§ 3.1. Общие положения
§ 3.2. Традиционная схема УРУ
§ 3.3. Работа УРУ на распределенную нагрузку
3.3.1. Модель НЛ с распределенными потерями
3.3.2. КПД НЛ без учета АЭ
3.3.3. Электронный КПД АЭ генератора с распределенной нагрузкой
§ 3.4. Автогенераторные схемы источника ВЧ энергии
протяженного плазменного реактора
§ 3.5. Многочастотная генерация в однопетлевом ГЗОС
§ 3.6. Модельные представления энергоэффективной
полигармонической генерации
§ 3.7. Двухпетлевой ГЗОС
§ 3.8. Заключение
Г л а в а
Элементная база современных промышленных генераторов ВЧ энергии
§4.1. Постановка задачи
§ 4.2. Приборное обеспечение современных термохимических
технологий в ВЧ (СВЧ) диапазоне
§ 4.3. Анализ параметров ГОСТа разрешенных частот
§ 4.4. Анализ требований к шкале генераторных ламп
промышленных установок
§ 4.5. Математический анализ тенденций развития
конструктивных параметров

§ 4.6. Оценка влияния реальных физико-технологических параметров рабочих сред на обеспечение устойчивой
работы промышленных установок
§ 4.7. Заключение
Глава
Экспериментальная проверка модели протяженного ВЧ генератора плазмы
§ 5.1. Описание экспериментальной установки
§ 5.2. Результаты экспериментальных исследований
Заключение
Литература

Отсюда
Е = Е] + Е + 2Е1Ее сое ср
‘ .С ?
(2.17)
где (р — зависящий от координаты угол между емкостной и индуктивной составляющими поля.
Реальный выигрыш в коэффициенте использования объема гибридного реактора
Ур — рабочий объем реактора,
У0 — общий объем реактора, по отношению к традиционным возрастает на 30 - 40 %. Вместе с тем отмечается [11], что с ростом частоты и рабочего объема реактора энергопараметры плазмотрона и коэффициент использования объема реактора а — снижаются.
Другим примером совместного использования разных типов газового разряда является установка для плазменного травления [12]. Емкостная часть выполнена в виде двух расположенных горизонтально в вакуумной камере плоско параллельных пластин. Обрабатываемый образец закрепляется на нижней пластине. Индуктор охватывает пластины, причем располагается так, чтобы его витки были параллельны плоскости электродов. Электроды подключаются к ВЧ генератору, при этом верхний электрод заземляется. С отдельного генератора подается ВЧ напряжение на индуктор. Авторы отмечают, что таким образом удается ускорить процесс травления; переменное магнитное поле, наводимое индуктором, в отличии от постоянного, повышает однородность обработки.
а= Ур/Уа,
(1.18)