Светосильные высокоразрешающие электронно-оптические системы с промежуточным квазизеркальным преобразованием объекта

• Автор: Кольцов, Сергей Николаевич
• Шифр специальности: 01.04.01
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2000
• Место защиты: Санкт-Петербург
• Количество страниц: 118 с. : ил.

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ОБЩИЕ ВОПРОСЫ
1.1. Обзор литературы
1.1.1. Краткий очерк о развитии аналитической динамики и применение ее к корпускулярной оптике
1.1.2. Прямые задачи динамики
1.1.3. Обратные задачи динамики
1.1.4. Теория электростатических энергоанализаторов
1.2. ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ
1.3. ФИЗИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ И ЕДИНИЦЫ ИЗМЕРЕНИЯ
1.4. ОСНОВНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЭНЕРГОАНАЛИЗАТОРА
ГЛАВА 2. СИНТЕЗ ЭНЕРГОАНАЛИЗАТОРОВ
2.1. НОВЫЙ ПРИНЦИП ПОСТРОЕНИЯ МНОГОКАСКАДНЫХ ЭЛЕКТРОННО-
ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ
2.3. ВЫВОДЫ
ГЛАВА 3. АНАЛИЗ ДВИЖЕНИЯ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ В ПОЛЕ КВАДРАТИЧНОГО ПОТЕНЦИАЛА
3.1. Четыре типа движения
3.2. Движение, определяемоег=5т(у)
3.3. Движение, определяемое г=511(у)
3.4. Движение, определяемое г=со8(у)
3.5. Движение, определяемое г=сЬ(у)
3.6. Анализ конформных отображений, описывающих четыре типа движения
3.7. ВЫВОДЫ
ГЛАВА 4. ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИЕ СХЕМЫ ОДНОКАСКАДНОГО И ДВУХКАСКАДНОГО АНАЛИЗАТОРОВ ОСНОВАННЫХ НА БАЗЕ РАЗНОСТНОГО ПОЛЯ
4.1. Математическая модель анализатора
4.2. Электронно-оптическая схема
ОДНОКАСКАДНОГО ЭНЕРГОАНАЛИЗАТОРА
4.3. Электронно-оптическая схема двухкаскадного
АНАЛИЗАТОРА
4.4. Анализ разрешения однокаскадной и двухкаскадной
ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИХ СХЕМ АНАЛИЗАТОРОВ РЕАЛИЗОВАННЫХ НА
ОСНОВЕ РАЗНОСТНОГО ПОЛЯ

4.5. ВЫВОДЫ
ГЛАВА 5. ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИЕ СХЕМЫ АНАЛИЗАТОРОВ НОВОГО ТИПА
5.1. Анализ движения заряженных частиц по симметричным
ТРАЕКТОРИЯМ В РАЗНОСТНОМ ПОЛЕ
5.2. Анализ движения заряженных частиц по асимметричным
ТРАЕКТОРИЯМ В РАЗНОСТНОМ ПОЛЕ
5.3. ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКАЯ СХЕМА МНОГОКАСКАДНОГО ЭНЕРГОАНАЛИЗАТОРА НОВОГО ТИПА НА ОСНОВЕ РАЗНОСТНОГО ПОЛЯ
5.4. ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКАЯ СХЕМА МНОГОКАСКАДНОГО ЭПЕРГОАНАЛИЗАТОРА С ПРОМЕЖУТОЧНЫМ ЭЛЕМЕНТОМ НА ОСНОВЕ КВАЗИЭЛЛИПТИЧЕСКОГО ПОЛЯ
5.5. Анализ разрешения электронно-оптической схемы
АНАЛИЗАТОРА НОВОГО ТИПА
5.6. Движение в поле типа ф = а и+(ц г)2
5.7. ВЫВОДЫ
ГЛАВА 6. СРАВНЕНИЕ ОСНОВНЫХ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИХ СХЕМ АНАЛИЗАТОРА НОВОГО ТИПА И АНАЛИЗАТОРА ТРАДИЦИОННОГО ТИПА РЕАЛИЗОВАННЫХ НА ОСНОВЕ РАЗНОСТНОГО ПОЛЯ
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА

Введение
В современной физике среди множества научных направлений особое место принадлежит электронной спектроскопии. Бурное развитие электронной спектроскопии в шестидесятых годах вызвало мощный поток теоретических и практических работ, направленных как на развитие методов спектроскопических исследований, так и на формирование особого класса приборов, позволяющих реализовать эти методы. Если в первых работах акцент исследования был направлен на усовершенствование методики анализа поверхности, а созданию приборов отводилась второстепенная роль, то в дальнейшем, когда основные методы исследования поверхности были сформированы, внимание исследователей переместилось на создание новых приборных комплексов. Однако требования, предъявляемые к таким приборам, в первую очередь определяются физическими задачами, которые встают перед исследователями.
Анализ поверхности включает в себя определение, как элементного состава поверхности, так и химических связей элементов, а также анализ топологии поверхности и так далее. Необходимая информация о поверхности может быть получена из анализа энергетического и углового распределения эмитируемых с поверхности под действием внешних возбуждений электронов.
Требование к точности энергетического анализа электронов определяется шириной пика в спектре. Так например, для анализа химического состояния в рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии необходимо, чтобы энергоанализирующие устройство обладало разрешающей силой порядка 10000. Высокое разрешение можно достичь за счет уменьшения количества анализируемых электронов, что приведет в свою очередь к потере интенсивности и, следовательно, к проблеме выделение сигнала из шума.