Интеграция курсов алгебры и геометрии посредством содержательно-методической линии неравенств в классах с углубленным изучением математики

Интеграция курсов алгебры и геометрии посредством содержательно-методической линии неравенств в классах с углубленным изучением математики

Автор: Янущик, Ольга Владимировна

Автор: Янущик, Ольга Владимировна

Шифр специальности: 13.00.02

Научная степень: Кандидатская

Год защиты: 2002

Место защиты: Омск

Количество страниц: 201 с. ил

Артикул: 231349

Стоимость: 250 руб.

Интеграция курсов алгебры и геометрии посредством содержательно-методической линии неравенств в классах с углубленным изучением математики  Интеграция курсов алгебры и геометрии посредством содержательно-методической линии неравенств в классах с углубленным изучением математики 

Г лава 1. Основные способы получения аБШ. Осаждение пленок аБкН из газовой фазы. Основные принципы повышения скорости роста аБг. Современные достижения и проблемы в осаждении аБг. Выбор объекта исследования. Способы диагностики плазмохимичских методов осаждения аморфного гидрогенизированного кремния. Определение комплекса диагностических методик для исследования процесса НЧ СПГФО. Выводы. Глава2. Аппаратура для диагностики технологического процесса. Определение зон технологических параметров, обеспечивающих стабильность разряда. Изготовление экспериментальных образцов. Технологическая схема проведения экспериментов. Процессы осаждения легированного аБШ и сплавов на основе аБШ. Оборудование и методы для измерения свойств полученных
пленок. Выводы. Глава 3 Исследование процессов НЧ СПГФО и свойств пленок, полученных этим методом. Изучение скорости роста пленок аЭг. Исследование равномерности и воспроизводимости. Зффект истощения источника кремния. Неоднородности, вызванные локальным искажением электрического поля и других параметров.


При этом важное значение для свойств получаемой пленки играет температура подложки и дополнительные газы источники легирующих добавок и водорода, или газы разбавители, изменяющие энергетические процессы и тепломассообмен при осаждении аморфного кремния . Источником энергетического воздействия может служить тлеющий разряд, различные виды электромагнитного излучения от дециметрового до ультрафиолетового, высокая температура и их комбинации. В качестве легирующих газов, как правило, применяют гидриды лигандов, а в ряде случаев более сложные соединения. Разбавителями обычно бывают газы, химически не встраивающиеся в растущую пленку, но значительно меняющие характер происходящих процессов. Применение разбавителей иногда позволяет уменьшить пространственную неоднородность толщины и физических свойств пленки, улучшить физические характеристики. Скорость роста при этом с теми же технологическими параметрами, как правило, уменьшается, но иногда разбавитель позволяет увеличить приемлемую мощность, вкладываемую в газовый разряд. Б ряде случаев добавляют водород, который частично может встраиваться в аморфный кремний . Кроме того, на характер происходящих процессов оказывают влияние газообразные продукты химических и плазмохимических реакций гомологи силана, водород и т. При росте пленок аморфных материалов важное значение имеют механизмы происходящих на поверхности роста реакций , поскольку именно процессы, происходящие во время формирования пленки, определяют струхтуру и большинство ее свойств . В езою очередь поверхностные процессы определяются типом и количеством поступающих на поверхность часткц. Для определения этих параметров необходимо изучать диагностировать явления происходящие в реакторе .

Рекомендуемые диссертации данного раздела

28.06.2016

+ 100 бесплатных диссертаций

Дорогие друзья, в раздел "Бесплатные диссертации" добавлено 100 новых диссертаций. Желаем новых научных ...

15.02.2015

Добавлено 41611 диссертаций РГБ

В каталог сайта http://new-disser.ru добавлено новые диссертации РГБ 2013-2014 года. Желаем новых научных ...


Все новости

Время генерации: 0.266, запросов: 108