Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства

Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства

Автор: Хаханин, Сергей Юрьевич

Автор: Хаханин, Сергей Юрьевич

Шифр специальности: 05.27.07

Научная степень: Кандидатская

Год защиты: 2000

Место защиты: Москва

Количество страниц: 225 с. ил.

Артикул: 293256

Стоимость: 250 руб.

Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства  Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства 

Классификация методов и средств контроля неорганических загрязнений реагентов. Основные технические характеристики электрохимических методов и электроаналнтического оборудования для контроля высокочистых реагентов. Оборудование для контроля органических загрязнений реагентов рекуперации безотходных технохимических процессов. Оборудование для контроля компонентного состава реагентов в безотходных технохимических процессах. Выводы к гл. КОНТРОЛЯ ПАРАМЕ1РОВ РЕКУПЕРАЦИИ РЕАГЕНТОВ. Теория аналитического сигнала в методе контроля параметров рекуперации методе инверсионной вольтамперомсзрии. Основные принципы создания безотходных производств и требования к ним. Выводы кгл. ГЛАВА 1. КОНТРОЛЯ РЕАГЕНТОВ ПЛАНАРНОГО МИКРОЭЛЕКТРОННОГО ПРОИЗВОДСТВА ИЭТ В настоящее время в электронной промышленности прослеживается устойчивая тенденция к возрастанию требований к уровню технологических процессов производства ИЭТ, их эксплуатационным характеристикам. ИЭТ более трудоемкости операций, применяемых в технологии изготовления, ряд важных вопросов, связанных с контролем чистоты реактивов, их регенерацией для повторного использования и, тем более, контролем процессов рекуперации, оставался недостаточно изученным.


Оборудование для контроля компонентного состава реагентов в безотходных технохимических процессах. Выводы к гл. КОНТРОЛЯ ПАРАМЕ1РОВ РЕКУПЕРАЦИИ РЕАГЕНТОВ. Теория аналитического сигнала в методе контроля параметров рекуперации методе инверсионной вольтамперомсзрии. Основные принципы создания безотходных производств и требования к ним. Выводы кгл. ГЛАВА 1. КОНТРОЛЯ РЕАГЕНТОВ ПЛАНАРНОГО МИКРОЭЛЕКТРОННОГО ПРОИЗВОДСТВА ИЭТ В настоящее время в электронной промышленности прослеживается устойчивая тенденция к возрастанию требований к уровню технологических процессов производства ИЭТ, их эксплуатационным характеристикам. ИЭТ более трудоемкости операций, применяемых в технологии изготовления, ряд важных вопросов, связанных с контролем чистоты реактивов, их регенерацией для повторного использования и, тем более, контролем процессов рекуперации, оставался недостаточно изученным. Это было во многом обусловлено тем, что предприятия отрасли не располагают современными высокочувствительными методами контроля чистоты реагентов. В связи с этим, весьма актуальными и целесообразными являются исследования, направленные на разработку и создание аналитического оборудования, обеспечивающего как экспрессный контроль систем регенерирования отработанных растворов, так и входной высокочувствительный контроль реагентов, используемых в планарном микроэлектронном производстве ИЭТ. Классификация методов и средств контроля процессов рекуперации безотходных технохимичсских процессов представлена на рис. Рис.

Рекомендуемые диссертации данного раздела

28.06.2016

+ 100 бесплатных диссертаций

Дорогие друзья, в раздел "Бесплатные диссертации" добавлено 100 новых диссертаций. Желаем новых научных ...

15.02.2015

Добавлено 41611 диссертаций РГБ

В каталог сайта http://new-disser.ru добавлено новые диссертации РГБ 2013-2014 года. Желаем новых научных ...


Все новости

Время генерации: 0.244, запросов: 229