Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии

Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии

Автор: Сергеева, Ж. М.

Автор: Сергеева, Ж. М.

Шифр специальности: 05.27.06

Научная степень: Кандидатская

Год защиты: 1994

Место защиты: Москва

Количество страниц: 193 с. ил.

Артикул: 187583

Стоимость: 250 руб.

Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии  Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии 

ГЛАВА I. ДЕФЕКТБРАВАНИИ В КРЕМНИИ . ПЭ. Проблема кислорода в кремнии . Дефектообразование на основе кислорода . Внутреннее генерирование . ГЛАВА II. НО, И МЕТОДЫ ИХ ИССЛЕДОВАНИЯ. ПЛ. II. Рентгеновская дифрактометрия . ГЛАВА III. IIIЛ. III. II1. И . Гиббса введения единичного дефекта в чистый кристалл. В результате для описания растворимости примесных атомов в кристалле в этом случае нужно лишь знать тип присутствующих дефектов и быть убежденным в идеальности их растворов в кристалле. В случае отсутствия идеальности раствора вводимой примеси и растворов других точечных дефектов в твердой фазе, но идеальности внешней фазы, выражения для парциальных химических потенциалов уже не будут иметь столь простого вида, как 1. Активности удается определить из анализа фазовой диаграммы и термодинамических величин теплоты плавления или растворения. ДЗ Д5И Д5ВДСМ АН0 АН АНИДСМ. ДБ6 и АН энергия, энтропия и энтальпия смешения соответственно. Оба приема описания с помощью коэфициентов активности и с помощью избыточных термодинамических функций более или менее пригодны лишь при их малых значениях, т.


Такой уровень качества не достигается даже при получении бездислокационных монокристаллов кремния изза присутствия в них микродефектов и различного рода примесных неоднородностей. Несмотря на то, что указанные структурные дефекты не являются неизбежными, их устранение представляет сложную задачу, решение которой требует понимания закономерностей дефектообразования. Микродефекты можно наблюдать в бездислокационном кремнии, например, при помощи избирательного травления, они дают фигуры, названные некристаллографмче скими ямками травления. Обычно в поперечном сечении кристалла картина имеет вид спирали т. Различают несколько типов микродефектов. До сих пор нет единого мнения по поводу природы и механизмов образования микродефектов в кремнии. Микродефекты атипа представляют собой дислокационные
петли межузельного типа размером от о,зз,о мкм 9. Структура микродефектов втипа, в отличие от Атипа, имеет недислокационную природу и не достаточно изучена, однако большинство исследователей склонны считать, что вдефекты представляют собой скопления вакансий, либо комплексов типа вакансиямежузельный атом. Отметим ряд важных свойств микродефектов. Первое и наиболее характерное свойство состоит в том, что на макроскопическом уровне микродефекты Образуют периодическую структуру . Тип и распределение микродефектов в значительной мере определяются параметрами роста монокристалла, условиями выращивания, в том числе отношением скорости выращивания V к осевой составляющей температурного градиента в твердой фазе вблизи фронта кристаллизации 0о, темпом охлаждения и длительностью пребывания в различных температурных диапазонах. Присутствие примесей, в том числе углерода и кислорода, также играет важную роль в эволюции микродефектов. Поскольку энтальпии образования межузельных атомов и вакансий при кристаллизации кремния довольно близки, для определения преобладающего вида собственных точечных дефектов можно пользоваться сотношением уоо. Исходный концентрационный профиль распределения микродефектов несомненно оказывает влияние на формирование различных центров преципитации в кремнии в ходе дальнейших технологических обработок и является одним из важнейших факторов, влияющих на структурное совершенство материала. Помимо присутствия микродефектов в кремнии часто обнаруживается примесная слоистая неоднородность примесные страты, носящая периодический характер. Примесями, образующими твердый раствор, которые могут иметь периодическое распределение и содержаться в достаточных концентрациях, могут быть кислород, углерод и легирующие элементы. По частоте и интенсивности полосы роста можно разделить на два типа макро период
МКМ И микроскопические Период МКМ, при этом ширина полосы обычно равна 0,,5 периода. Частота и интенсивность примесных полос, при различных ориентациях и структуре фронта кристаллизации, зависят также от условий выращивания. Другим видом неоднородности, вызывающим как радиальное, так и осевое неоднородное распределение примеси, является канальная неоднородность или эффект грани. Канальная неоднородность имеет вид сплошных или полых каналов с повышенной или пониженной концентрацией примеси, вытянутых вдоль оси роста. В работах, посвященных исследованию эффекта грани в монокристаллах полупроводников 6. Наиболее важной причиной образования примесных полос принято считать периодические колебания скорости кристаллизации, приводящие к существенному изменению эффективного коэффициента распределения. Растворимость большинства элементов в кремнии не велика, что обусловлено типом структуры и характером химической связи между атомами. Максимально возможные концентрации основных легирующих примесей в кремнии составляют 2ю см3, поэтому систему кремнийпримесь можно рассматривать как сильно разбавленный раствор, используя основные законы физической химии. Описание, конкретизация этих величин и является одним из способов термодинамического анализа растворимости примеси в кристалле. Наиболее простой случай описания будет, если обе фазы являются идеальными растворами. Тогда каждая подсистема, состоящая из одного вида точечных дефектов, характеризуется парциальным химическим потенциалом ц. Т 1пЫ. Нь .

Рекомендуемые диссертации данного раздела

28.06.2016

+ 100 бесплатных диссертаций

Дорогие друзья, в раздел "Бесплатные диссертации" добавлено 100 новых диссертаций. Желаем новых научных ...

15.02.2015

Добавлено 41611 диссертаций РГБ

В каталог сайта http://new-disser.ru добавлено новые диссертации РГБ 2013-2014 года. Желаем новых научных ...


Все новости

Время генерации: 0.449, запросов: 229