Тонкопленочные сверхпроводниковые структуры из титана для сверхчувствительных криогенных болометров терагерцового диапазона частот

Тонкопленочные сверхпроводниковые структуры из титана для сверхчувствительных криогенных болометров терагерцового диапазона частот

Автор: Ильин, Алексей Сергеевич

Шифр специальности: 05.27.01

Научная степень: Кандидатская

Год защиты: 2012

Место защиты: Черноголовка

Количество страниц: 87 с. 42 ил.

Артикул: 5089795

Автор: Ильин, Алексей Сергеевич

Стоимость: 250 руб.

Тонкопленочные сверхпроводниковые структуры из титана для сверхчувствительных криогенных болометров терагерцового диапазона частот  Тонкопленочные сверхпроводниковые структуры из титана для сверхчувствительных криогенных болометров терагерцового диапазона частот 

ВВЕДЕНИЕ
В. 1. Актуальность темы
В.2. Цель и задачи исследования
В.З. Научная новизна работы
В.4. Практическая ценность работы
В.5. Личный вклад диссертанта в данную работу
В.6. Положения, выносимые на защиту
В.7. Апробация работы
В.8. Публикации
В.9. Объем и структура диссертации
ГЛАВА 1. СВЕРХЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ БОЛОМЕТРЫ
СЕНСОРЫ НА КРАЮ СВЕРХПРОВОДНИКОВОГО ПЕРЕХОДА
Что такое СКПболометры
Области применения
Ионноплазменное осаждение тонких пленок
Постановка задачи данной диссертационной работы
ГЛАВА 2. ИЗГОТОВЛЕНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКО
ПЛЕНОЧНЫХ СВЕРХПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР ИЗ ТИТАНА ДЛЯ СКПБОЛОМЕТРОВ
Оборудование для изготовления структур и методы контроля характеристик
Получение и диагностика тонких пленок из титана
Исследование морфологии титановых пленок в РЭМ
Зависимость от условий осаждения
2.3. Формирование тонкопленочных титановых структур
методами электронной литографии и их исследование
Взрывная литография
Ионное травление через резисты
Ионное травление через титановую маску
Жидкостное травление
Использование полиэфирсульфона в качестве негативного резиста для
электронной литографии
Свойства полиэфирсульфона
Методика изготовления резиста
Исследование процесса электронной литографии с использованием РЕБ
Взрывная литография с маской из РЕБ
Жидкостное травление пленок титана через маску из РЕ8
Ионное травление пленок титана через маску РЕ8
Исследование характеристик образцов изготовленных с 6 использованием
полиэфирсульфона
ЗАКЛЮЧЕНИЕ. ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ДИССЕРТАЦИИ
ПУБЛИКАЦИИ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИОННОЙ РАБОТЫ
СПИСОК ЦИТИРУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ


СКП. РЭМ, он же СЭМ растровый сканирующий электронный микроскоп. X длина волны излучения. ГГц гигагерц, 9 Герц, единица измерения частоты. К Кельвин, единица измерения температуры. В. 1. В.2. В.З. В.4. В.5. В.6. В.7. В.8. В.9. ГЛАВА 1. ГЛАВА 2. ЗАКЛЮЧЕНИЕ. В.1. Актуальность темы. Я 3 0,1 мм, частоты 0, ТГц. В.2. Цель и задачи исследования. МЕР ВтГц. В.4. Практическая ценность работы. С использованием данных поглотителей в ИРЭ им. В.А. Тк 0, К. В.5. Личный вклад диссертанта в данную работу. Сверхпроводниковые терагерцовые болометроы в ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. Совместно с А. И.А. Совместно с И. В.6. Положения, выносимые на защиту. ПММА, БЮг и полиэфирсульфона. I. v .

Рекомендуемые диссертации данного раздела

28.06.2016

+ 100 бесплатных диссертаций

Дорогие друзья, в раздел "Бесплатные диссертации" добавлено 100 новых диссертаций. Желаем новых научных ...

15.02.2015

Добавлено 41611 диссертаций РГБ

В каталог сайта http://new-disser.ru добавлено новые диссертации РГБ 2013-2014 года. Желаем новых научных ...


Все новости

Время генерации: 0.872, запросов: 229