Разработка процесса металлизации порошкообразных материалов и компактных изделий через карбонилы в условиях термоциклирования подложки

Разработка процесса металлизации порошкообразных материалов и компактных изделий через карбонилы в условиях термоциклирования подложки

Автор: Ермилов, Александр Германович

Автор: Ермилов, Александр Германович

Шифр специальности: 05.16.06

Научная степень: Докторская

Год защиты: 2004

Место защиты: Москва

Количество страниц: 396 с. ил.

Артикул: 2638641

Стоимость: 250 руб.

Аппаратурное оформление для металлизации порошков электролитическим методом. Оборудование для вакуумной металлизации порошков. Химическое осаждение из газовой фазы. Формирование покрытий при разложении металлоорганики. Аппаратурное оформление для процесса металлизации через карбонилы. Синтез карбонилов металлов. Механохимический синтез карбонилов . Выводы по разделу 1. Теория образования зародышей и формирования покрытий из газовой фазы. Гетерогенное образование зародышей. Зародышеобразование из многокомпонентных систем . Зародышеобразование при термической диссоциации . Зародышеобразование при восстановлении галлогенидов . Выводы по разделу 2. Выводы по разделу 3. Заполнение макродефектов подложки материалом покрытия . Выводы по разделу 4. Закономерности взаимодействия монооксида углерода с металлами VIII группы . Синтез карбонила никеля . Методика исследования и используемые материалы. Условия образования карбида никеля i. Влияние введения водорода в реакционную среду на процесс взаимодействия молибдена с монооксидом углерода.


Галогениды большинства металлов исключение составляют металлы щелочной и щелочноземельных групп обладают достаточно высоким давлением паров при относительно низких температурах . Многие из них достаточно легко восстанавливаются до металла водородом или углеводородами, что при относительно небольшой стоимости делает их привлекательными для проведения процессов металлизации из газовой фазы. В основе процесса лежит взаимодействие галогенидов с водородом с образованием элементарного металла и галлогеноводорода. Поскольку на один атом металла в соединении приходится несколько атомов галлогена восстановление протекает в несколько стадий с образованием промежуточных продуктов низших галогенидов металлов. При этом возможны вторичные реакции взаимодействия промежуточных продуктов с материалом покрытия и подложки. Данный вопрос подробно рассмотрен в работах , . Большинство галогенидов переходят в парообразное состояние при температурах до 0 С и испаряются с достаточной для металлизации порошков скоростью. Восстановление их водородом возможно в интервале температур 0 С. Кинетика восстановления зависит от температуры подложки и доли газа восстановителя водорода. Низшие галогениды часто менее летучи по сравнению с высшими, что облегчает их сорбцию и последующее восстановление на металлизируемой подложке. Это было использовано для сформирования покрытий содержащих титан и бор, углерод к кремний 0. Летучий галогенид титана при этом восстанавливали в газовом объеме до низшего. Затем создавали к условия для частичного взаимодействия паров низшего галогенида титана с парами галогенидов бора, углерода или кремния в газовом же объеме вне подложки, с последующим осаждением промежуточного жидкого продукта на покрываемую поверхность. Дальнейшее взаимодействие этого жидкого продукта с парами галогенидов бора, кремния или углерода протекало на подложке с образованием твердого покрытия заданного состава. Кроме того для восстановления одного моля галогенида требуется несколько
Таблица 4. Поэтому опасность снижения выхода в покрытие за счет образования высокодисперсного порошка значительно ниже, чем при термическом разложении металлоорганики. Для восстановления галогенидов в газовой фазе с образованием высокодисперсных порошков прибегают к специальным мерам повышенным температурам и концентрациям реагентов, создание условий для локальных пересыщений . Малая вероятность зародышеобразования в газовом объеме и снижение летучести низших галогенидов по мере их восстановления способствуют протеканию процесса восстановления преимущественно на твердой подложке, что делает процесс восстановления галогенидов достаточно привлекательным для получения покрытии как на компактной подложке, так и на порошкообразых материалах. Авторами работы тщательно изучен механизм формирования пленки вольфрама при восстановлении Т6 водородом. Фактически повышения сорбционной способности галогенидов за счет их частичного восстановления достигается в работе 4. Частично предварительное восстановление проводят на дополнительной подложке имеющей температуру на С ниже температуры осаждения покрытия. Более низкая температура подложки может способствовать протеканию как прямых, так и обратных процессов, что в конечном итоге способствует повышению доли низших галогенидов как в газовой фазе, так и на металлизируемой подложке. Той же цели достигают при снижении доли восстановителя водорода 5. Газообразные фториды восстанавливают на подложке, температуру которой поддерживают от 0 до С. Последняя совершенно неприемлема для металлизации порошков из за опасности их спекания. Как отмечалось выше, процесс металлизации из газовой фазы характеризуется многостадийностью. Следовательно кинетика формирования покрытий может лимитироваться скоростью подвода реагентов к подложке диффузионный режим. Определяющим фактором в данном случае будет не только концентрация реагентов на входе в реактор, но и разница концентраций в газовом объеме и в приповерхностном слое, уравнение 1. Скорость химического взаимодействия также влияет на кинетику формирования покрытия. В данно случае определяющим фактором является температура подложки выражение 1.

Рекомендуемые диссертации данного раздела

28.06.2016

+ 100 бесплатных диссертаций

Дорогие друзья, в раздел "Бесплатные диссертации" добавлено 100 новых диссертаций. Желаем новых научных ...

15.02.2015

Добавлено 41611 диссертаций РГБ

В каталог сайта http://new-disser.ru добавлено новые диссертации РГБ 2013-2014 года. Желаем новых научных ...


Все новости

Время генерации: 0.200, запросов: 232