Разработка математического обеспечения автоматизированного проектирования технологических процессов изготовления пассивных элементов гибридных интегральных схем

Разработка математического обеспечения автоматизированного проектирования технологических процессов изготовления пассивных элементов гибридных интегральных схем

Автор: Лавренюк, Сергей Юрьевич

Шифр специальности: 05.13.12

Научная степень: Кандидатская

Год защиты: 1983

Место защиты: Москва

Количество страниц: 202 c. ил

Артикул: 4028216

Автор: Лавренюк, Сергей Юрьевич

Стоимость: 250 руб.

Разработка математического обеспечения автоматизированного проектирования технологических процессов изготовления пассивных элементов гибридных интегральных схем  Разработка математического обеспечения автоматизированного проектирования технологических процессов изготовления пассивных элементов гибридных интегральных схем 

СОДЕРЖАНИЕ
ВВНДЕНИЕ
1. АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ И ПРЕДПОСЫЛКИ СОЗДАНИЯ САПР ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ НАПЫЛЕНИЯ ПАССИВНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ. II
1.1. Краткая характеристика технологического процесса напыления II
1.2. Основные задачи САПР технологических процессов напыления .
1.3. Анализ математических методов решения задач проектирования технологического процесса напыления
1.4. Постановка задачи исследования
2. МЕТОДИКА РАЗРАБОТКИ МАТЕМАТИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ПРОЕКТИРОВАНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ НАПЫЛЕНИЯ.
2.1. Исследование задач проектирования.
2.2. Методика построения математических моделей процесса напыления для автоматизированного проектирования
2.2.1. Последовательность этапов анализа технологического процесса напыления .
2.2.2. Эмпирический метод получения критериев подобия.
2.2.3. Метод исследования моделей,
представленных многомерными уравнениями теплопроводности .
2.3. Метод решения задач параметрического синтеза при автоматизированном проектировании технологических процессов напыления
ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 2.
3. РАЗРАБОТКА МАТЕМАТИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ПРОЕКТИРОВАНИЯ ПРОЦЕССОВ ИСПАРЕНИЯ ПРИ НАПЫЛЕНИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
3.1. Математическая модель процесса испарения
3.2. Разработка математических методов решения задач синтеза при проектировании процесса испарения .
3.3. Проверка и программная реализация разработанных моделей и методов
ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 3
4. РАЗРАБОТКА МАТЕМАТИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ ПРОЕКТИРОВАНИЯ ПРОЦЕССА МАССОПЕРЕНОСА ПРИ НАПЫЛЕНИИ
ТОНКИХ ПЛЕНОК.
4.1. Математическая модель процесса массопереноса
4.2. Методы расчета геометрии подколпачного оборудования при проектировании
процесса массопереноса .
4.3. Проверка и использование разработанных моделей и методов
ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 4 .
5. МТЕМАТИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ПРОЕКТИРОВАНИЯ ТЕПЛОВЫХ РЕЖИМОВ КОНДЕНСАЦИИ ПРИ НАПЫЛЕНИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
5.1. Математическая модель тепловых режимов конденсации .
5.2. Программная реализация и использование модели для проектирования тепловых режимов конденсации .
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА


Но при решении этого вопроса взаимосвязано с надежностным проектированием (для ответственных ИС) оптимальным решением будет выбор метода испарения, обеспечивающего // лучшую радиационную стойкость изделий. Способ организации взаимосвязей в интегральной автоматизированной системе влияет на итеративность // процесса проектирования и изготовления изделий (т. Для этапа проектирования технологических процессов в настоящее время характерна организация обратной связи с подсистемой проектирования изделий в виде запрещенных областей - т. При этом подсистема проверки технологичности проектных решений может находиться как на выходе этапа проектирования изделий (например, проверка топологии интегральных схем на минимальную ширину линии, минимальных зазор и т. Применительно ко второму способу, когда проверка технологичности осуществляется в ходе проектирования технологических процессов, существует подход, когда разрабатывается специальная подсистема для корректировки уже готового проекта изделия //. Следует отметить, что хотя при этом не происходит в явном виде возврата к предыдущему этапу проектирования, этот возврат осуществляется в неявном виде. При частом обращении к подсистеме корректировки проекта эффективность работы всей автоматизированной системы в целом будет невелика. Большое количество обращений к подсистеме корректировки следует ожидать в случае, если система ограничений, определяющих технологичность решения на этапе проектирования изделия, не отслеживает изменения технологического процесса. Один из возможных подходов у установлению взаимосвязей между надежностным проектированием и проектированием технологических процессов предложен в //. Вывод о сильной взаимокоррелированности надежности отдельных компонентов ИС и технологичности схемы в целом //, делает задачу установления обратных связей с целью получения технологичных проектных решений особенно актуальной для ответственных заказных ИС. Другой формой организации взаимосвязей проектирования схем с разработкой технологических процессов, а также с надежностью, может служить подход, предложенный в //. Авторы предлагают в ходе этапа проектирования схем осуществлять прогноз ожидаемого процента выхода годных микросхем после этапа оптимизации технологии, и прогноз ожидаемой надежности полученных схем. В этом случае усложняется критерий качества проектных решений, он начинает учитывать возможные последствия выбора того или иного варианта, предотвращает (так же, как и в случае организации обратной связи в виде системы ограничений) от появления ненадежных или нетехнологичных проектных решений. Для использования такого подхода необходима разработка тестовых схем специального назначения /,/, позволяющих установить связь конструкционных параметров микросхемы с процентом выхода годных и с надежностью (при используемом технологическом процессе). Следует отметить, что более простым и более распространенным способом учета технологии при проектировании схем является первый подход (когда устанавливается система ограничений для ближайшего предыдущего этапа - для этапа проектирования топологии ИС). Поэтому на этапе проектирования технологических процессов встает дополнительная задача: корректировка системы ограничений на топологию в соответствии с изменениями характеристик технологического процесса. В качестве одного из первых этапов разработки САПР технологических процессов напыления следует рассматривать разработку математического обеспечения автоматизтрованного проектирования процессов напыления. Сюда входит разработка математического аппарата, используемого при решении задач проектирования технологических процессов. Состав этого математического аппарата определяется комплексом решаемых задач. В /7/ обосновывается вывод, что методика проектирования управляемых технологических процессов требует построения математических моделей основных операций. Отмечается //, что при разработке математического обеспечения автоматизированного проектирования технологических процессов одной из основных трудностей является проблема получения моделей или математических описаний. Другой частью математического аппарата для САПР технологических процессов являются методы синтеза (генерации) проектных решений.

Рекомендуемые диссертации данного раздела

28.06.2016

+ 100 бесплатных диссертаций

Дорогие друзья, в раздел "Бесплатные диссертации" добавлено 100 новых диссертаций. Желаем новых научных ...

15.02.2015

Добавлено 41611 диссертаций РГБ

В каталог сайта http://new-disser.ru добавлено новые диссертации РГБ 2013-2014 года. Желаем новых научных ...


Все новости

Время генерации: 0.442, запросов: 244