Алгоритмы и методы автоматизированной системы моделирования технологического процесса формирования резистивных тонкопленочных слоев

Алгоритмы и методы автоматизированной системы моделирования технологического процесса формирования резистивных тонкопленочных слоев

Автор: Петрухин, Владимир Викторович

Шифр специальности: 05.13.06

Научная степень: Кандидатская

Год защиты: 1999

Место защиты: Москва

Количество страниц: 141 с.

Артикул: 289733

Автор: Петрухин, Владимир Викторович

Стоимость: 250 руб.

Алгоритмы и методы автоматизированной системы моделирования технологического процесса формирования резистивных тонкопленочных слоев  Алгоритмы и методы автоматизированной системы моделирования технологического процесса формирования резистивных тонкопленочных слоев 

1.1 Состояние работ в области моделирования технологических процессов.
1.2 Технологический процесс формирования резистивных слоев.
1.3 Методология и методы решения задач технологического моделирования.
Выводы.
II. Моделирование температурных режимов подложки .
2.1 Оценивание изотерм и чности поверхности подложки
2.2 Моделирование температурных режимов
подложки.
2.3 Влияние материала подложки на условия теплообмена.
Выводы.
III. Формирование равномерных резистивных слоев
3.1 Использование технологической информации при проектировании геометрии резистивных тонкопленочных элементов.
3.2 Анализ качества технологического процесса на основе выборки данных послеоперационного контроля резистивных слоев.
3.3 Аппроксимация экспериментальных значений на основе использования бикубических сплайнов.
Выводы.
IV. Программное обеспечение автоматизированной
системы
4.1 Контроль качества технологического процесса
4.2 Статистическое оценивание показателей качества
4.3 Визуализация пространственных полей
значений технологических параметров
Выводы
Заключение
Литература


О научнотехническом сотрудничестве и проведении совместных работ по оптимизации технологических режимов формирования прецизионных тонкопленочных резисторов между МИФИ и ЦНИИ Комета , в котором автор являлся научным руководителем, и научноисследовательских работ Автоматизация технологической подготовки производства пассивных элементов ГИС по методу испарения в вакууме гос. Разработка программного обеспечения САПР ТП участка вакуумного напыления гос. Теоретические основы построения автоматизированных систем моделирования реальных технологических процессов в применении к
технологическому процессу формирования резистивных тонкопленочных слоев. Математическая модель теплообмена подложки с технологической оснасткой, учитывающая зависимость температуры поверхности подложки от коэффициента прозрачности ее материала в инфракрасном диапазоне спектра. Результаты модельных расчетов подтверждены экспериментальной проверкой на предприятии. Метод управления температурой подложки, основанный на изменении иэлучательной способности поверхности подложкодержателя, подтвержденный экспериментальной проверкой и позволивший повысить точность получения заданной температуры подложки. Математическое и программное обеспечение для оптимизации процессов тепломассопереноса в установках вакуумного напыления, что позволило улучшить выходные характеристики изготавливаемых изделий повысить равномерность толщины пленки и увеличить адгезию. Программное обеспечение для диагностики технологического процесса вакуумного напыления и применяемого оборудования в результате автоматизированного анализа выборки статистических данных послеоперационного контроля резистивных слоев.

Рекомендуемые диссертации данного раздела

28.06.2016

+ 100 бесплатных диссертаций

Дорогие друзья, в раздел "Бесплатные диссертации" добавлено 100 новых диссертаций. Желаем новых научных ...

15.02.2015

Добавлено 41611 диссертаций РГБ

В каталог сайта http://new-disser.ru добавлено новые диссертации РГБ 2013-2014 года. Желаем новых научных ...


Все новости

Время генерации: 0.357, запросов: 244