Модель корпускулярного экранирования в приложении к процессу напыления

Модель корпускулярного экранирования в приложении к процессу напыления

Автор: Севастьянов, Леонид Антонович

Шифр специальности: 01.04.02

Научная степень: Кандидатская

Год защиты: 1984

Место защиты: Москва

Количество страниц: 136 c. ил

Артикул: 3424868

Автор: Севастьянов, Леонид Антонович

Стоимость: 250 руб.

Модель корпускулярного экранирования в приложении к процессу напыления  Модель корпускулярного экранирования в приложении к процессу напыления 

ГЛАВА I. ЭЛЕМЕНТОВ ПЛАНАРНОЙ ОПТИКИ. Основные выводы. ГЛАВА 2. Листовые экранирующие маски. Частные случаи основной формулы. Нестационарный корпускулярный поток и нестационарная форма маски. Неплоская нестационарная поверхность подложки. ГЛАВА 3. Концепция эффективного распределения, классификация задач
Стр. Проблема существования эффективного распределения . Макроскопические параметры эффективного распределения. Некоторые выводы. ГЛАВА 4. МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ПРОЦЕССА НАПЫЛЕНИЯ. ГЛАВА 5. К КОНКРШЫМ ЗАДАЧАМ НАПЫЛЕНИЯ. Предсказание результатов напыления при заданных масках с использованием найденных функций установки П2
В первом параграфе на основании предварительного анализа формулируется тезис целесообразности единого подхода к рассмотрению эффектов экранирования на основании предположения о существовании эффективного распределения. Во втором параграфе рассматривается проблема существования единого эффективного распределения для класса процессов экранирования различных корпускулярных потоков.


В четвертом параграфе предложен метод решения основной обратной задачи поиска функции прозрачности маски интегральной характеристики геометрической формы маски по заданному профилю напыленного слоя и функции установки восстановленной при решении вспомогательной задачи. В пятой главе обсуждаемая математическая модель экранирования корпускулярных потоков численно исследуется в конкретных приложениях к процессам напыления. В первом параграфе по результатам напылительного эксперимента с фиксированной маской обла
дающего аксиальной симметрией решается основное уравнение записанное в каноническом виде конечно разностным методом. Решение его таблично заданная функция установки используется для
численного предсказания напылительного эксперимента с другой маской. Результат численного моделирования сравнивается с результатами реального напылительного эксперимента совпадение их с точностью выше одного процента свидетельствует в пользу состоятельности предложенной модели. Во втором параграфе аналогичное рассмотрение проводится в терминах макропараметров численное решение вспомогательной задачи получаем в виде отрезка ряда Фурье в результате численного моделирования получаются аналогичные результаты и выводы. Сравнение результатов численного моделирования с результатами напылительных экспериментов приведены в третьем параграфе. В четвертом параграфе приведен алгоритм синтеза формы экранирующей маски, необходимой для напыления линзы Люнеберга. Линза Люнеберга, напыленная через экранирующую маску, изготовленную по результатам вычисления, совпадает с идеально профилированной линзой с удовлетворительной для интегральной оптики точностью.

Рекомендуемые диссертации данного раздела

28.06.2016

+ 100 бесплатных диссертаций

Дорогие друзья, в раздел "Бесплатные диссертации" добавлено 100 новых диссертаций. Желаем новых научных ...

15.02.2015

Добавлено 41611 диссертаций РГБ

В каталог сайта http://new-disser.ru добавлено новые диссертации РГБ 2013-2014 года. Желаем новых научных ...


Все новости

Время генерации: 0.213, запросов: 142