Синтез пленок карбида кремния из газовой фазы метилсилана

Синтез пленок карбида кремния из газовой фазы метилсилана

Автор: Карами, Юсеф

Шифр специальности: 02.00.04

Научная степень: Кандидатская

Год защиты: 2000

Место защиты: Санкт-Петербург

Количество страниц: 141 с. ил.

Артикул: 2259668

Автор: Карами, Юсеф

Стоимость: 250 руб.

Синтез пленок карбида кремния из газовой фазы метилсилана  Синтез пленок карбида кремния из газовой фазы метилсилана 



Другие авторы на основании термодинамических расчетов считают, что кубическая модификация устойчива до С. ЗБЮ аС мало при комнатной температуре 0, кДжмоль и 0, соответственно по другим данным 5кДжмоль и 1,5 . Клагодаря большому термодинамическому сходству небольших технологических изменений достаточно для появления а либо 3 модификации. Так, при температуре получения выше С в продукте может содержаться значительное количество кубическою карбида, а гексагональная модификация может обнаруживаться наряду с ку бической в низкотемпера1урном продукте. Причиной появления того или иного политипа могут служить примеси. Чистый С при . С образует политнп 6Н, акцепторные примеси В, А1 способствуют образованию политипа 1. Донорные 1, Р стабилизируют кубическую структуру ЗБЮ. На рис. С диаграмма Кииппенберга. Рис. Диаграмма Книппенберга. Следует отметить, что приводимые в различных источниках численные значения физикохимических констаиг и др. Теплофизические константы Теплоемкости монокристаллических а и рi близки между собой, С, кДжмоль, при нагреве от 0 до ,С теплоемкость i возрастает в два раза. Карбид кремния имеет низкий для керамических материалов коэффициент термического расширения а и высокую теплопроводность к, что обеспечивает хорошую термостойкость изделий из него. С повышением температуры коэффициент термического расширения i возрастает от 3,8. С до 5,5. М.С для i . Характер изменения различен для монокристаллов кубической и гексагональной модификаций для 5i обнаруживается слабый изгиб а при 0С, для аi наблюдается анизотропия при Т0С . При . С консгрукционная керамика реакционносвязанный, горячепрессованный i , химически осажденный из газовой фазы i 2 характеризуются значением а4. К . Теплопроводность X карбида кремния возрастает в интервале температур . К в . Для а и 3i, конструкционной i керамики, пиролитического осажденного из газовой фазы карбида кремния при комнатной температуре А. Втм. К, при С 5 . Втм. К 2,, , , . Механические свойства прочностные, упругие и др Карбидокремниевая керамика, получаемая традиционными методами см. Ор0. МПа. I . ГМа , . Осажденный из газовой фазы карбид кремния пиролитический отличается более медленным снижением а. ГПа, причем, в отличие от горячепрессованного и рсакционноспеченного i, тр возрастает при увеличении температу ры испытаний 2. Максимальной прочностью на растяжение обладают нитевидные кристаллы i Ор1,8 ГПа при С . Модуль упругости Е, а также твердость II плотных поликристаллических карбидокремнневых материалов выше, чем у монокристаллов. Е0. ГПа, сущесвенно превышающим модуль Юнга монокристаллического i 0 ГПа 2, . Микротвердость i, осажденного из газовой фазы Н. I а выше, чем у полученной спеканием порошков керамики. Электрофизические свойства. Удельное электрическое сопротивление при комнатной температуре р1. Ом см аi, Ю3 Ом. При прочих равных условиях электропроводность i всегда выше, чем у i. Тип проводимости и величина р могут регулироваться наличием примесей В, , , i, О, отжигом, облучением. С увеличением температуры электрическое сопротивление монокристаллов i и i возрастает, выход на собственную проводимость наступает при 0Х i и С i. Для чистых монокристаллов i при повышении температуры до 0С наблюдается рост р, а для загрязненныхуменьшение р. Ю Ом. Пол и кристаллические покрытия рi, получаемые методом химического осаждения из газовой фазы пиролитические имеют р I. Ом. Примеси оказывают существенное влияние на физические свойства i. Например, уменьшение содержания примесей i, С, металлов в рсакционноспеченной керамике приводит к увеличению теплопроводности, электросопротивления, прочности, упругости и к снижению коэффициента термического расширения, т. Карбид кремния является весьма инертным химическим соединением. Не разлагается кислотами кроме концентрированных НК, 3, Н3РО4 и растворами щелочей. В ортофосфорной кислоте при 2. С, , 2. Для протекания реакция с гидроксидом с заметной скоростью расплав необходимо нагреть до температуры существенно выше температуры плавления щелочи Например, для , имеющего температуру плавления 8С, скорость травления i при 0С составляет 0.

Рекомендуемые диссертации данного раздела

28.06.2016

+ 100 бесплатных диссертаций

Дорогие друзья, в раздел "Бесплатные диссертации" добавлено 100 новых диссертаций. Желаем новых научных ...

15.02.2015

Добавлено 41611 диссертаций РГБ

В каталог сайта http://new-disser.ru добавлено новые диссертации РГБ 2013-2014 года. Желаем новых научных ...


Все новости

Время генерации: 0.228, запросов: 121