Химия летучих координационных и металлоорганических соединений, используемых в процессах химического осаждения металлических и оксидных слоев из паровой фазы

Химия летучих координационных и металлоорганических соединений, используемых в процессах химического осаждения металлических и оксидных слоев из паровой фазы

Автор: Морозова, Наталья Борисовна

Шифр специальности: 02.00.01

Научная степень: Докторская

Год защиты: 2009

Место защиты: Новосибирск

Количество страниц: 346 с. ил.

Артикул: 4702475

Автор: Морозова, Наталья Борисовна

Стоимость: 250 руб.

Химия летучих координационных и металлоорганических соединений, используемых в процессах химического осаждения металлических и оксидных слоев из паровой фазы  Химия летучих координационных и металлоорганических соединений, используемых в процессах химического осаждения металлических и оксидных слоев из паровой фазы 

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР
1.2. Синтез, физикохимический и рентгеноструктурный анализ
летучих комплексов металлов с органическими лигандами
.2.1. Комплексы т и НДГУ с органическими лигандами.
1.2.1.1. Соединения со спиртами
1.2.1.2. Соединения с аминами
1.2.1.3. Циклопентадиснильные производные
1.2.1.4. 3ди кетонаты 7г1У и Н Г1У.
1.2.1.4.1. рдикетонатные лиганды
1.2.1.4.2. Методы синтеза Рдикетонатов 7г1 V и НДГУ
1.2.1.4.3. Физикохимическое исследование рдикетонатов т и НДГУ.
1.2.1.4.4. Кристаллохимическое и рештсноструктурнос исследование рдикстоиатов гг1У и НГ1У
1.2.2. Летучие комплексы иридия
1.2.2.1. Соединения иридия со связью металлуглсрод
1.2.2.1.1. Гетеролигандиые карбонилы иридия
1.2.2.1.2. Циклопентадиснильные производные иридия.
1.2.2.1.3. Другие комплексы иридия.
1.2.2.2. Комплексы иридия с 8,8лигандами
1.2.2.3. Рдикетонатные производные 1гШ
1.2.3. Летучие комплексы рутения.
1.2.3.1. рдикетоиаты КиШ
1.2.3.2. Аллильныс производные и, IV.
1.2.3.3. Циклопентадиенильные производные Яи.
1.2.3.4. Другие комплексы рутения
1.2.4. Комплексы СиИ с дииминными производными Рдикетонов.
1.2.5. Комплексы АиШ с органическими лигандами.
1.2.5.1. Галоидные и псевдогалоидные соединения
1.2.5.2. Соединения золота, стабилизированные атомами VI группы
1.3. Методы исследования термических свойств летучих соединений
1.3.1. Исследование термической стабильности соединений
в конденсированном состоянии.
1.3.1.1. Комплексы 7г1У, НДГУ с органическими лигандами.
1.3.1.2. Комплексы 1гШ, Ки1 с рдикетонами.
1.3.1.3. Комплексы диметилзолотаШ
1.3.2. Измерение температурных зависимостей давления насыщенног о пара летучих комплексов металлов с органическими лигандами.
1.3.2.1. Рдикетонаты ХхV и НДГV.
1.3.2.2. Летучие комплексы иридия
1.3.2.3. Летучие комплексы рутения.
1.3.2.4. Летучие комплексы диметилзологаШ
1.3.3. Исследование термической стабильности паров комплексов металлов.
1.3.3.1. Термораспад паров комплексов 7г1У, НфУ.
1.3.3.2. Термораспад паров Рдикетонатов 1гШ, КиШ
1.3.3.3. Термораспад паров комплексов АиШ
1.4. Осаждение пленок методом МОСУБ
1.4.1. Осаждение пленок 7Ю2 и НЮ2
1.4.2. Осаждение пленок 1г, Яи, Си методом МОСУЭ.
1.4.3. Осаждение пленок Аи методом МОСУТ
1.5. Заключение
2. СИНТЕЗ И ФИЗИКОХИМИЧЕСКОЕ ИЗУЧЕНИЕ ЛЕТУЧИХ
КОМПЛЕКСОВ МЕТАЛЛОВ С ОРГАНИЧЕСКИМИ ЛИГАНДАМИ
2.1. Синтез Рдикетоиатов IV, НДГУ
2.2. Синтез рдикетонатов КиШ и 1гШ
2.3. Синтез уСгалогснзамещенных ацетилацегонатов 1гШ и
дипивалоилметанатов КиШ, СиИ.
2.4. Синтез комплексов СиИ с О,К и И,Гдо1Юрными лигандами
2.5. Синтез комплексов металлов с другими лигандами
2.5.1. Синтез комплексов ЯиИ 1г1, III
2.5.2. Синтез диэтилдитиокарбаматов металлов платиновой группы.
2.5.3. Синтез бгсциклопснтадиснильных производных НГ1У.
2.5.4. Синтез комплексов диметилзолотаШ с 0,М,8донорными лигандами
2.5.4.1. Синтез исходного иодида диметилзолотаШ
2.5.4.2. Синтез карбоксилатов димстилзолотаШ
2.5.4.3. Синтез комплексов диметилзолотаШ с Изамещенными
салицилальдиминами.
2.5.4.4. Синтез хинолинатов диметилзолотаШ.
2.6. Физикохимическое исследование синтезированных комплексов металлов
2.6.1. ИКспекгроскопическое исследование соединений.
2.6.1.1. рдикетонаты гг1У, НДГУ, КиШ
2.6.1.2. Галогензамещенные рдикетонаты 1гШ, СиП
2.6.1.3. Комплексы металлов с другими лигандами.
2.6.2. ЯМРспектроскопичсскос исследование соединений.
2.6.3. Массспектрометрическое исследование соединений
2.6.3.1. рдикстонатпыс производные металлов
2.6.3.2. Комплексы металлов с другими лигандами
2.7. Синтез ряда соединений в укрупненном масштабе.
3. КРИСТАЛЛОХИМИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ КОМПЛЕКСОВ
МЕТАЛЛОВ С ОРГАНИЧЕСКИМИ ЛИГАНДАМИ
3.1. Кристаллохимическое исследование рдикетоиатов Хт1 и НД1У
3.2. Кристаллохимическое исследование уСгалогензамсщенных
Рдикетоиатов 1гШ и СиН.
3.3. Кристаллохимичсскос исследование комплексов СиН
с 0,Ыдонорными лигандами
3.4. Кристаллохимическое исследование разнолигандных комплексов 1г1
3.5. Кристаллохимическое исследование комплексов диметилзолотаШ
4. ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕРМИЧЕСКОГО ПОВЕДЕНИЯ СОЕДИНЕНИЙ В КОНДЕНСИРОВАННОЙ ФАЗЕ
4.1. Комплексы Щ1V.
4.2. рдикетопаты ЯиЦИ
4.3. Галогензамещенные рдикстонаты 1гШ, СиП.
4.4. Диэтилдитиокарбаматы платиновых металлов
4.5. Разнолигаидные комплексы 1г1.
4.6. Карбоксилаты диметилзолотаШ.
4.7. Салицилальдиминаты диметилзолотаШ
4.8. Хинолинаты диметилзолотаШ.
5. ИЗУЧЕНИЕ ПРОЦЕССОВ ПАРООБРАЗОВАНИЯ ЛЕТУЧИХ КОМПЛЕКСОВ МЕТАЛЛОВ С ОРГАНИЧЕСКИМИ ЛИГАНДАМИ.
5.1. ЗДикетонатныс производные металлов
5.1.1. Комплексы V, НГ1У
5.1.2. РДикетонаты КиШ
5.1.3. Ацетилацетонаты металлов платиновой группы
5.1.4.рдикстонатные производные СиП.
5.2. Комплексы металлов с другими лигандами
5.2.1. Диэтилдитиокарбаматы металлов платиновой группы.
5.2.2. Разнолигандные комплексы Ки, 1г1
5.2.3. Карбоксилаты диметилзолотаШ.
5.2.4. Ызамещенные салицилальдиминаты диметилзолотаШ
5.2.5. Хинолинаты диметилзолотаШ.
5.3. Расчет энергии межмолекулярного взаимодействия
5.4. Методики обработки тензиметрических экспериментов.
6. ИЗУЧЕНИЕ ТЕРМИЧЕСКОЙ УСТОЙЧИВОС ТИ ПАРОВ
КОМПЛЕКСОВ МЕТАЛЛОВ
6.1. Комплексы НД1У.
6.2. Дииминные комплексы СиН.
6.3. Комплексы иШ, II
6.4. Комплексы 1гШ, I
6.5. Комплексы диметилзолотаШ
7. ОСАЖДЕНИЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ И ОКСИДНЫХ СЛОЕВ
МЕТОДОМ МОСУЭ
7.1. Пленки на основе диоксида циркония
7.2. Пленки диоксида гафния
7.3. Пленки диоксида рутения ЯлЮг и металлического рутения.
7.3. Пленки металлического иридия
7.4. Пленки металлической меди
7.5. Пленки металлического золота.
ВЫВОДЫ
ЛИТЕРАТУРА


В большинстве случаев при использовании этого метода синтез, очистку и хранение соединений проводят в сухих условиях иили в инертной атмосфере. Таким способом были синтезированы МЬГас4 компоненты смешивали в молярном соотношении 9, 0, Нас НДасас4 1, 2, ЬЩМ. НДМ1к 2 и 2,7,7триметилоктан3,5дионат НТ1ос выход ИЗ. Авторы 6, используя вышеописанный подход, предложили методику синтеза координационных соединений НД1У, в молекуле которых содержатся различные рдикетонатные лиганды в присутствии амина лЧСгНзДМ, были получены НГЬас4 выход , НГасас2с1ЬтЬас, НГасас2с1Ьт2. Реакции обмена между солями и рдикегонатами щелочных металлов. Дикетопаты натрия или калия получают взаимодействием рдикетона с соответствующим гидроксидом в этаноле. Таким способом получены МЬас4 4, 5, Мс1Ьт4 6, 7, МИх 8. Реакции Рдикетонов с алкоксидами металлов. Реакции проводят в инертной атмосфере. Так синтезированы ггЮс, 7гИ1с выход 5, ЖЙ1с выход , ггШ4 . Все Рдикетонатные комплексы М1У представляют собой белые или кремовые твердые кристаллы, легко растворимые в органических растворителях. Таким образом, для синтеза рдикетонатов 2г1У и НОТУ используют разные подходы в зависимости от типа лиганда и его кислотности. Большинство реакций между безводными тетрахлоридами металлов и рдикетонами проводят в инертной атмосфере с использованием сухих растворителей, чтобы избежать гидролиза, в результате которого в присутствии воды образуются стабильные оксои гидроксосоединения М1У, препятствующие образованию Рдикетонатов М1У. НГасас2с1Ьт2 6, 1Щ1с и НГКс 3. Показано, что рдикетонатные лиганды связаны с металлом бидентатно, приведено подробное отнесение частот для Масас4 и М1Гас4. Авторами 0 было установлено, что при хранении комплекс НГЬГас4 взаимодействует с влагой воздуха, в результате чего его состав изменяется и приближается к НГОМЬРас3, о чем свидетельствует появление в ИКспсктре полос поглощения в области и см1, относящихся к валентным колебаниям ОНгруппы и связи МО соответственно. В свежевозогнанном соединении эти полосы отсутствуют. Электронные спектры поглощения Масас4, М1Гас4, НГЙ1гас4, НГ1епас4, ШЛн1Гас4, НГ1егас4, Н1ртгГас4 представлены в 0, Н, Б, 3С ЯМРспектры хелатов 2г1У и Ш1У в , , 1, 5, 9, 0, 3, 2. Хим. Н ЯМРспсктров приведены для НГЫас4 6, НГЩс 9, НГЙ1с , , ,9Б ЯМРспектр для НДМас4 в 0, С ЯМРспектр для Шасас4 в 2. Анализ массспектров Шасас4 2, Н1Йас4 2, НГЬГас4 0, НГ1Ьс , 1ЩЮс 3 показал, что все соединения в паровой фазе являются мономерными. Наиболее интенсивный пик соответствует иону НАЬз. В паровой фазе массспектров 2гасас4, 7. НГ1У зарегистрированы мономерные молекулы, за исключением 7гасас4, который сублимируется в незначительной степени в виде димерных молекул 7,гасас, па что указывает присутствие в массспектре иона 7г2асас5. Таким образом, практически все перечисленные здесь Рдикетонатные производные 7г1У и ЬЩУ достаточно полно охарактеризованы физикохимическими методами. Для восьмикоординированных Рдикетонагов 7г1У и НДУ по результатам обзора литературы и проделанного поиска в Кембриджском банке структурных данных СБИВ имеется восемь работ 0, 3, 8, 3, . Па момент начала наших исследований проведен реитгенофазовый анализ и определены параметры ячейки для теноилтрифторацетонатов 7г1У и Ш1У, М1етГас4 8, Щасас4 3 описаны кристаллические структуры 7гасас4 3, 4, 5, ггаЬт4 6, 7гЫас4 7, МЛ и МЮс 3. В ЮЗ показана изосруктурность ацетилацетоната НДУ ацетилацетонатному комплексу 7г1У р7гасас4, структура которого решена и описана в 5 пр. С2с, 4 а ,, Ь 8,, с , А, Р 6,2, V А3 для Щасас4 3 а ,, Ь 8,, с , А, р 6,, V ,1 А3, 1,9 гсм3 для ггасас4 5. В 7 проведено кристаллохимическое исследование комплекса 7г1Гас4. Комплекс кристаллизуется в моноклинной сингонии с пространственной группой Р2п со следующими параметрами элементарной ячейки а ,, Ь ,, с , А, Р 4,1, V ,6 А3, г 4, с1еш. В получены две полиморфные модификации 7гМ4 7г1 и 7г2, первая из которых изоструктурна Ш1к4 и кристаллизуется в моноклинной сингонии Р2с, 7 4, а вторая в триклинной Р1, а ,, Ь ,, с , А, р 6,, V 2 А3 ШЬс4 а ,, Ь ,, с , А, р 6,, V 2 А3 гг1 а ,, Ь ,4, с , А, а , , р ,3 , у 5, , V А3 ХЛ.

Рекомендуемые диссертации данного раздела

28.06.2016

+ 100 бесплатных диссертаций

Дорогие друзья, в раздел "Бесплатные диссертации" добавлено 100 новых диссертаций. Желаем новых научных ...

15.02.2015

Добавлено 41611 диссертаций РГБ

В каталог сайта http://new-disser.ru добавлено новые диссертации РГБ 2013-2014 года. Желаем новых научных ...


Все новости

Время генерации: 0.198, запросов: 121