Исследование и разработка технологии производства высокочастотных кварцевых резонаторов

• Автор: Миленин, Павел Павлович
• Шифр специальности: 05.11.14
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2010
• Место защиты: Москва
• Количество страниц: 143 с. : ил.

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. АНАЛИЗ СОВРЕМЕННОГО СОСТОЯНИЯ
ТЕХНОЛГИИ ПРОИЗВОДСТВА КВАРЦЕВЫХ РЕЗОНАТОРОВ И
ЕЕ ЭКОНОМИЧЕСКОЕ ОБОСНОВАНИЕ
1Л Анализ типов резонаторов и современных технологий их производства
1.2 Экономический анализ технологии производства кварцевых резонаторов
Выводы
ГЛАВА 2. РАЗРАБОТКА МЕТОДИК РАСЧЕТА И
КОНСТРУИРОВАНИЯ КВАРЦЕВОГО РЕЗОНАТОРА
2Л Выбор угла среза кристаллического элемента
2.2 Выбор геометрии кристаллического элемента
2.3 Выбор электрода пьезоэлемента
2.4 Расчет припуска под металлизацию
2.5 Разработка конструкции кварцевого резонатора
Выводы
ГЛАВА 3. РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРИЕМОВ СЕРИЙНОГО ПРОИЗВОДСТВА ВЫСОКОЧАСТОТНЫХ
КВАРЦЕВЫХ РЕЗОНАТОРОВ
3.1 Технология производства кристаллических элементов и способы формирования обратной мезаструктуры

3.2 Технология формирования защитных и электродных покрытий. Настройка блока резонатора на частоту
3.3 Монтаж пьезоэлемента в держатель и герметизация.
3.4 Применение разработанных технологических приемов в технологическом процессе производства кварцевых резонаторов
Выводы
ГЛАВА 4. ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЙ ОПЫТНЫХ ОБРАЗЦОВ И СЕРИЙНЫХ ПАРТИЙ РЕЗОНАТОРОВ
ИЗГОТОВЛЕННЫХ ПО РАЗРАБОТАННОЙ ТЕХНОЛОГИИ
Выводы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА
ПРИЛОЖЕНИЕ!
ПРИЛОЖЕНИЕ II

ВВЕДЕНИЕ
Высокочастотные пьезоэлектрические резонаторы на объемных акустических волнах являются базовыми комплектующими элементами для создания новых видов радиоэлектронных систем и аппаратуры. Наибольшее применение они находят в современных видах сотовой телефонии, аппаратуре связи, навигации, высокоскоростных средствах вычислительной техники, микропроцессорных устройствах, системах кабельного телевидения. Известно, что прямая генерация высоких частот без
использования умножителей [70] позволяет повысить надежность аппаратуры, упростить схему генератора, улучшить габаритовесовые показатели аппаратуры, снизить потребляемую мощность, снизить фазовый шум и т.д..
Поэтому при проектировании аппаратуры СВЧ-диапазона большинство разработчиков радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) предпочитают для стабилизации и селекции частоты использовать
пьезоэлектрические резонаторы на объемных акустических волнах (ОАВ) с применением вибраторов, возбуждаемых на основной частоте.
Такие резонаторы обладают рядом преимуществ, особенно ценных для использования в управляемых по частоте генераторах, широкополосных фильтрах, генераторах ударного возбуждения, высокостабильных
термокомпенсированных генераторах и т.д.
Преимущества СВЧ-резонаторов, возбуждаемых на основной частоте:
- малое динамическое сопротивление (в 5-ИО раз меньше, чем на гармониках);
- в десятки раз меньшее значение динамической индуктивности;
возможности реализации более высокой температурной
стабильности частоты генераторов (ТКГ и ГУН);

Для сужения полосы частот резонатора его возбуждаю на гармониках. Такие резонаторы широко применяются в высокостабильных не перестраиваемых генераторах. ,
При создании фильтров применяют резонаторы с широкой полосой его возбуждения, что позволяет получить более гладкую и широкую, при необходимости, полосу пропускания фильтра.