Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов Ta2O5La2O3

• Автор: Лисеенко, Ольга Владимировна
• Шифр специальности: 05.17.11, 02.00.04
• Научная степень: Кандидатская
• Год защиты: 2006
• Место защиты: Томск
• Количество страниц: 168 с. : ил.

ГЛАВА 1. ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ПОЛУЧЕНИЯ И СВОЙСТВА ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ МАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ ОКСИДОВ Та205 И Ьа203
1.1. Наносистемы, содержащие тонкие пленки
1.2. Особенности тонкопленочного состояния вещества
1.2.1. Термодинамический аспект
1.2.2. Кинетический аспект
1.2.3. Структурный аспект
1.3. Методы получения тонких пленок оксидов тантала и лантана
1.3.1. Золь-гель метод получения тонких пленок
1.4. Тонкопленочные материалы на основе Ta2Os и Ьа20з
1.4.1. Физико-химические свойства Та205 и алкоголятов тантала
1.4.2. Физико-химические свойства Ьа20з
1.4.3. Система Та205 - Ьа20з
ГЛАВА 2. ИСХОДНЫЕ ВЕЩЕСТВА. МЕТОДИКА СИНТЕЗА И ИССЛЕДОВАНИЯ СВОЙСТВ МАТЕРИАЛОВ
2.1. Характеристика исходных веществ
2.2. Методика синтеза тонкопленочных материалов
2.2.1. Подготовка подложек
2.2.2. Методика синтеза тонких пленок
2.3. Физико-химические исследования пленкообразующих растворов
2.3.1. Исследования изменения вязкости пленкообразующих растворов
2.3.2. Электрофоретические исследования ПОР
2.4. Физико-химические исследования процессов формирования оксидных пленок
2.4.1. Рентгенофазовый анализ
2.4.2. Дифференциально-термический анализ и термогравиметрия
2.4.3. ИК-спектроскопия
2.5. Физико-химические исследования тонкопленочных материалов
2.5.1. Изучение оптических свойств тонких пленок. Эллипсометрия
2.5.2. Электрофизические исследования
2.5.3. Адгезия
2.5.4. Растровая электронная микроскопия
2.5.5. Трехмерная бесконтактная профилометрия
2.5.6. Исследование химической устойчивости
2.5.7. Исследования кислотно-основных свойств поверхности
ГЛАВА 3. ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ, ПРОТЕКАЮЩИЕ В ПЛЕНКООБРАЗУЮЩИХ РАСТВОРАХ
3.1. Пленкообразующие растворы на основе ТаС15
3.2. Пленкообразующие растворы на основе ТаСІ5 с добавками семиводного хлорида лантана
ГЛАВА 4. ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПРОЦЕССОВ ФОРМИРОВАНИЯ ТОНКИХ ОКСИДНЫХ ПЛЕНОК
4.1. Процесс формирования Та205 из ПОР на основе ТаС15
4.2. Термическое исследование разложения исходной соли ЬаС1з-7Н20 и высушенного спиртового раствора соли семиводного хлорида лантана
4.3. Процесс формирования пленок системы Та205 - Ьа20з
4.3.1. Формирование химических соединений
4.3.2. Формирование двойных оксидов Та2С>5 и Ьа20з в точках эвтектиках
ГЛАВА 5. ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА И СТРУКТУРА ПЛЕНОК ДВОЙНЫХ ОКСИДОВ ТАНТАЛА (V) И ЛАНТАНА (III)
5.1. Фазовый состав, структура и свойства пленок системы Та205 - Ьа20з
5.2.Исследование кислотно-основных свойств чистых оксидов и двойных соединений Та205 и Ьа20з

5.2.1. Кислотно-основные свойства порошков системы Та205 - Ьа203
5.2.2. Диаграмма состав - кислотность для системы Та205 - Ьа203
5.3. Основные стадии формирования тонких пленок системы Та205 — Ьа203
ГЛАВА 6. ТЕХНОЛОГИЯ ПОЛУЧЕНИЯ И РЕКОМЕНДАЦИИ ПО ПРАКТИЧЕСКОМУ ПРИМЕНЕНИЮ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ МАТЕРИАЛОВ
НА ОСНОВЕ СИСТЕМЫ Та205 - Ьа203
ОБЩИЕ ВЫВОДЫ
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ
ПРИЛОЖЕНИЕ

Рисунок 1.8 - Методологическая схема исследований